Експецтор решења за руковање

Брзо руковање екрецтор-ом је врста робота дизајнирана посебно за полуводичку индустрију, која се обично користи за руковање и преносвафла. Производно окружење вафла захтева изузетно велику чистоћу, јер ситне честице или нечистоће могу проузроковати да се чипови не успеју током обраде. 

Керамички материјали се широко користе у производњи ових руку због њихових одличних физичких и хемијских својстава.

Чистоћа и састав

Чистоћа Алумина је обично ≥99,9%, а металне нечистоће (као што су МГО, ЦАО, СиО₂) контролише се у року од 0,05% до 0,8% да би се побољшало отпорност на сеткање плазме.

Алумина α-фаза (корундум структура) је главна, врста кристала је стабилна, густина је 3,98 г / цм³, а стварна густина након синтеровања је 3,6 ~ 3,9 г / цм.

Механичка имовина

Тврдоћа: МОХС Тврдоћа 9 ~ 9.5, Вицкерс Тврдоћа 1800 ~ 2100 ХВ, виша од нехрђајућег челика и легура.

Снага савијања: 300 ~ 400 МПа, што може да издржи механички стрес високог брзинског руковања вафром.

Еластични модул: 380 ~ 400 ГПА, како би се осигурало да је рукова крута и није лако деформисати.

Термална и електрична својства

Топлотна проводљивост: 20 ~ 30 в / (м · к), и даље одржава стабилну изолацију (отпорност> 10¹⁴ Ω · цм).

Отпорност на температуру: Дугорочна употреба Температура може достићи 850 ~ 1300 ℃, погодна за вакуум окружење високог температура.

Површински карактеристика

Храпавост површине: Ра≤ 0,2μм (након полирања) да бисте избегли огреботине

Порозност вакуумског адсорпције: Шупља структура која се постиже изостатском пресовањем, порозност <0,5%.

Друго, карактеристике структурних дизајна

Оптимизација лагане и снаге

Користећи интегрисани процес ливења, тежина је само 1/3 металне руке, смањујући грешку позиционирања узроковане инерцијом.

Крајњи ефектор је дизајниран као причврсник или вакуум апсорбер, а контактна површина је пресвучена антистатичким премазом да би се спречило да се вафли загађују од 710 електростатичког адсорпције.

Отпорност на загађење

Висока чистоћа Алумина је хемијски инертна, не ослобађа металне јоне и испуњава се полу Ф47 стандард чистоће (загађење честица <10 ппм).

Трећи, захтеви за производњу процеса

Формирање и синтеровање

Изостатско прешање (притисак 200 ~ 300 МПа) како би се осигурала густина материјала> 99,5%.

Синтеринг високе температуре (1600 ~ 1800 ℃), контрола величине зрна у 1 ~ 5μм за уравнотежење снаге и жилавости.

Прецизна обрада

Дијамантна млечна обрада, димензијска тачност ± 0,01 мм, равналности ≤ 0,05 мм / м

Получилац Продавнице производа: