Шта је куартз брод?

Куартз Боат је кључна компонента лежаја која се користи у процесу производње полуводича, која се углавном користи за прераду вафла високе температуре, попут дифузије, оксидације и жарења. Његова одлична топлотна стабилност, мале карактеристике загађења и отпорност на корозију чине га неопходним материјалом у полуводичкој индустрији. Овај чланак ће разрадити материјал, физичка својства, класификацију, сценарије апликације и разлика између кварцног брода и пекара графитног чамца.

Ⅰ. Материјал куартз чамца

Главна компонента кварцног носача је високи чистоћи силицијум диоксид (сиод), а чистоћа обично треба да достигне више од 99,99% (класе полуводича). Овај кварцни материјал са високим чистоћима осигурава да крвачки носач неће увести нечистоће током процеса производње полуводича како би се смањила контаминација металних нечистоћа на лиферу.

Према процесу припреме, кварцни материјали могу се поделити у две категорије:

● Природни кварц: израђен од кристалног пречишћавања, са високим хидроксилним садржајем (око 100-200 ппм), ниске трошкове, али слаба толеранција на наглих промена на високим температурама.

● Синтетички кварц: Синтетизовано одлагањем хемијских паре (ЦВД) или електрофикација, са ниским хидроксил (-ОХ) садржајем (<1 ппм), бољом топлотном стабилношћу и погодно за високе температуре (попут оксидације и дифузије).

Поред тога, неки кварцни бродови допирају се металима као што су титанијум (ТИ) или алуминијум (ал) да би се побољшала отпорност на деформацију или прилагођавање светлосних преноса како би задовољили потребе УВ процеса.

Ⅱ. Која су главна физичка својства кварцних чамаца?

● Отпорност на високу температуру: Тачка топљења кварца је висока као 1713 ° Ц, а може радити стабилно на 1200 ° Ц током кратког времена и за кратко време.

● Низак коефицијент топлотне експанзије: Коефицијент топлотне експанзије је само 0,55 × 10⁻⁶ / ° Ц. Ова одлична перформанса осигурава димензионалну стабилност на високим температурама и избегава пуцање због топлотног стреса.

● Хемијска инертност: Осим хидрофлуоричне киселине (ХФ) и вруће фосфорне киселине, кварцно може одупријети јаким киселинама, снажним алкалијима и већином корозивних гасова (као што је ЦЛ₂, О₂).

● Електрична изолација: Отпорност је висока као 10¹⁶Ω · цм, избегавајући сметње у дистрибуцију електричног поља у плазми у плазми.

● Лагана преданак: Одлична преноси у ултраљубичастој на инфрацрвени опсег (> 90%), погодно за процесе потпомогнуте лаганим (као што је ултраљубичасто очвршћивање).

ИИИ. Класификација кварцних чамаца

Према различитим дизајнерским структурама и сценаријима употребе, куартз чамци могу се поделити у следеће категорије:

● Хоризонтални кварцни брод

Применљиви на хоризонталне цеви (хоризонтална дифузијска пећ), која се користи за оксидацију, дифузију, жарење и друге процесе.

Карактеристике: Може да носи 100-200 вафла, обично са отвореним или полу-приложеним дизајном.

● Вертикални кварцни брод

Применљиво на вертикалне пећи (вертикална пећ), које се користе за процесе ЛПЦВД, оксидације и жарења.

Карактеристике: Компактнија структура, може повећати пренос капацитета и смањити контаминацију честица током процеса.

● Прилагођени кварцни брод

Дизајниран у складу са различитим захтевима процеса, појединачна подршка од стране или посебна структура стезања могу се користити за оптимизацију ефеката прераде вафла.

Као водећи квартз произвођач брода и добављач у Кини,ВетекЕктимицон може да дизајнира и израђује прилагођене кварцне носаче производе у складу са вашим стварним потребама. За више детаља о производу потражите на:

ИВ. Који су апликацијски сценарији кварцног чамца у производњи полуводича?

Куартз бродови се широко користе у многим кључним процесним линковима производње полуводича, углавном, укључујући следеће сценарије пријаве:

4.1 Термално оксидација

● Опис процеса: Ваффе се загрева у високотемпродукцијском окружењу кисеоника или водене паре да би се формирао филм силицијум диоксида (сили).

● Карактеристике кварцног брода:

1) Висока отпорност на топлоту може да издржи високе температуре од 1000 ~ 1200 ° Ц.

2) Хемијска инертност, кварцни бродови отпорни су на јаке киселине, снажне алкалије и већине корозивних гасова, тако да могу да избегну утицај на квалитет оксидног филма.

4.2 Процес дифузије

● Опис процеса: нечистоће (попут фосфора и бора) диффицирају се у силицијум од високих температура да формирају допинг слој.

● Квартске карактеристике бродица:

1) Ниска контаминација, спречавање контаминације метала да утиче на дистрибуцију концентрације допинга.

2) Висока топлотна стабилност, са коефицијентом топлотног експанзије од само 0,55 × 10⁻⁶ / ° Ц, осигуравајући јединствени процес дифузије.

4.3 Процес жарења

● Опис процеса: Третман високе температуре користи се за уклањање стреса, побољшати структуру материјалне кристалне структуре или активирати ионски слој имплантације.

● Квартске карактеристике бродица:

1) Познака топљења чак 1713 ° Ц, може да издржи брзо грејање и хлађење да не би дошло до пуцања узрокованог топлотним стресом.

2) Прецизна контрола величине да би се осигурало једнолично гријање.

4.4 Хемијска паралошка паре ниског притиска (ЛПЦВД)

● Опис процеса: У окружењу ниског притиска, уједначен танки филм као што је силицијум нитрида (Си₃н₄) формиран је кроз реакцију гасне фазе.

● Карактеристике кварцног брода:

1) Погодно за вертикалне цеви за пећи, могу оптимизирати униформу таложења на филм.

2) Ниска контаминација честица, побољшање квалитета филма.

Ⅴ. Које су разлике између кварцног брода и чамца Пецвд графит?

Типичне сценарије разлике:

● Процес ПЕЦВД-а: Графитни бродови могу оптимизирати униформу у плазми због своје проводљивости, а не захтевају перформансе високог температуре кварцног окружења у ниским температурама (300-400 ° Ц).

● Пећ за оксидацију високог температура: Ветексемицон кварцни бродови су незаменљиви за високу температуру отпорност, док се графит лако оксидира да би се генерисало ко / цо₂ на високим температурама у окружењу кисеоника, који загађује већу.