Усисивач

Примена: 

Високо ефикасно вакуум Цхуцк израђен је за прецизно адсорпцију и чврст фиксирање трупа и ингота. Добро је прилагођено за ситуације, укључујући производњу полуводича, резање резања, прецизну обраду, високу епитакксију, јеткање и имплантацију ионске ион.

Основни параметри:

● Подесива порозност (у распону од 10 до 200 ум).
● Способан за ултра - високе температуре (до ≤1600 ° Ц) и приказује одличну топлотну отпорност на ударце.
● Вакуум адсорпције: Стандард је - 90КПА (прилагодљиво за достизање 100КПА).

● Димензије усисне чаше: Може да подржи 4/6/8/12 - инча вафла, а величина ингота може се прилагодити специфичним потребама.

Ⅰ. Опис

ВетекЕктимицон керамичка вакуум Цхуцк користи комбиновану структуру порозног керамика и металног спољног прстена. Кроз персонализовани дизајн ваздушних канала и пора, реализује чак и дистрибуцију адсорпционих снага и високу стабилност. Овај Цхуцк се поставља за производњу полуводича, резање резања, прецизну обраду итд. Може да ради у високим и брзим подешавањима покрета и испуњава захтеве компатибилности вафла / инготи у различитим величинама.

Ⅱ. Основна структура и материјалне предности

Вишеслојни слој композита:

✔ Површински слој: Направљен од порозне керамике (можете бирати између порозног силицијум-карбида или порозног графита). Пречник Поре може се прилагодити (10 - 200 ум), што гарантује да се адсорпциона сила равномерно пребацују на површину од стране, чиме се спречава накупљање локалног напона.

✔ Матрик: Састоји се од високо крута металног оквира (било од нехрђајућег челика или алуминијумске легуре) да понуди структуралну подршку и непропусност.

✔ Аирваис и поре: Тактуелно обрађено унутрашње дисајне путеве формирају мрежу, заједно са равномерно распоређеним микропорима. Ово подешавање подржава брзо вакуум екстракцију (адсорпција може достићи до - 90КПА) и тренутног пуштања.

Ⅲ . Поређење МАТеријера

1. Поређење материјалних својстава

2 Сценарији и случајеви апликације

✔ Семицондуцтор Фабрицатио

Епитаксијални раст: може чврсто да адсорбује СИЦ вафла на високим температурама, спречавајући да вафлови из прања и да се контаминирају.

ЛИФООГРАФИЈА И ЕТЦХИНГ: Омогућава прецизно позиционирање на платформама за кретање високих брзих (убрзање ≤10г), обезбеђивање тачности графичког поравнања.

✔ Прерада ингота

Сечење и брушење: Може се адсорбирати тешким инготима (као што су Саппхире и силицијум - карапски инготи), смањујући ивицу пуцање због вибрације.

✔ Научна истраживања и специјалне технологије

Високо-температура: Порозни силицијум - Царбидне усисне шоље могу континуирано радити на 1600 ° Ц без деформације или загађења за одзрачивање.

Вакуумски премаз: са дизајном високог ваздуха, може се прилагодити окружењу ПВД / ЦВД у возилу.

3. Прилагођена услуга

✔ Нудимо прилагођавање за величину и оптерећење.

✔ Стомата и дисајни пут се могу оптимизовати да испуне посебне захтеве.

✔ Може се прилагодити посебним окружењима.

Ⅳ. ФАК:

Како вакуумски Цхуцкс постижу компатибилност са више величина (нпр. 12/8/6 ")?

П: Како се истовремено уклапа у 12-инчни, 8-инчни и 6-инчни резиденција? Да ли је потребно физичко реструктурирање?

О:Вишедимензионална компатибилност путем адаптивне дисајне путеве и стоматалне партиције:

✔ Динамична стоматална контрола: Стомата на површини сиса дистрибуира се у прстену, а ваздушни круг у различитим областима контролише спољни вентил.

На пример, приликом упијања 8-инчне вафла, само су поре у централном подручју омогућене и спољни поре су затворени (како би се избегло цурење адсорпционе силе).

✔ Флексибилан дизајн дисајних путева: Порт Мрежа има модуларни изглед који одговара ивицама ивицама вафла различитих величина како би се осигурало уједначене покривеност адсорпција. и Предности су на следећи начин:

ЗЕЛО ЗАМЕНА ХАРДВАРЕ: Нема потребе за уклањањем или заменом усисне чаше, путем софтвера или прекидача гаса може се прилагодити различитим величинама.

Уштеда трошкова: Смањите трошкове обнове опреме и време застоја и повећајте флексибилност производне линије.