Веб Мену

Претрага производа

Језик

Услуге и ресурси

Материјали и дизајн

Одабир одговарајуће комбинације подлоге и премаза је кључ за спречавање прераног квара компоненти, смањење контаминације честицама и максимизирање приноса плочице. Пружамо решења за дизајн по мери материјала и конструкција око специфичног прозора процеса купца (радна температура, хемија реактивног гаса, рампе).

Наше основне могућности дизајна:

  • Ригорозно усклађивање ЦТЕ стреса:За брзи термички циклус (>100 °Ц/мин), ми прецизно усклађујемо ЦТЕ температурне криве графитних супстрата високе чистоће и ЦВД премаза, суштински смањујући ризик од раслојавања премаза и микро-пукотина.
  • Избор премаза специфичног за процесни сценарио:ЦВД СиЦ премаз за Си/СиЦ епитаксију (Епи), МОЦВД и окружења за јеткање плазмом; ЦВД ТаЦ премаз за високотемпературне и јако корозивне услове (нпр., СиЦ монокристални ПВТ раст).
  • Оптимизација отпорности и топлотне проводљивости која се може контролисати:Прецизна контрола отпорности масе и топлотне проводљивости подлоге и премаза како би се испунили специфични захтеви електричних и термичких поља за РФ, ЕСЦ електростатичке стезне главе или зоне грејања.
  • Контрола извора контаминације и смањење ЦоО:ЦВД слојеви за таложење високе чистоће густо затварају порозни графит, значајно смањујући осипање честица, дифузију ултра-трагова металних нечистоћа и ризик од испуштања гасова при високим температурама.

Типично поређење избора премаза (Водич на први поглед)

Цоатинг Типична упутства за примену Цоре Адвантагес
ЦВД СиЦ Си/СиЦ епитаксија (Епи), МОЦВД, парцијално јеткање плазмом Висока чистоћа, добра термичка стабилност, отпорност на хемијску корозију, висока укупна цена и перформансе
ЦВД ТаЦ Високотемпературни СиЦ раст монокристала (ПВТ), компоненте које носе екстремно високе температуре Виша температура (>1600 °Ц), јака отпорност на корозију, одлична отпорност на оксидацију

Стварни случај и предности за клијенте (искуство):

Водећи произвођач СиЦ епитаксије (Епи):Оригинална компонента користила је неусклађен ЦВД ТаЦ премаз, што је резултирало прекомерним напрезањем на међуфазној површини и честим микро-пукотинама на високој температури. Поново смо покренули термодинамичке симулације и прешли на аСпецијални графитни супстрат високе чистоће усклађен са ЦТЕ + тампон слој + ЦВД СиЦ премазрешење. Резултат: просечан животни век компоненте повећан са 200 сати на 850 сати; годишња учесталост замене по алату опала је са 40 на 9 пута; свеобухватна опрема О&М уштеде трошкова премашиле РМБ 650,000 годишње.

GDMS purity analysis report for TaC coating GDMS purity analysis report for SiC coating

Извештај о ГДМС анализи чистоће за ТаЦ и СиЦ премазе

ФАК

1. П: Како да бирам између ЦВД СиЦ премаза и ЦВД ТаЦ премаза?

▼

О:Погледајте температуру процеса и интензитет корозије у гасној фази. Ако је температура процеса испод 1000 °Ц и углавном укључује нагризање на бази Цл₂/Ф₂ или конвенционалну епитаксију, изаберитеЦВД СиЦза најбољу цену и перформансе; ако температура процеса прелази 1200 °Ц и укључује јако корозивну атмосферу (нпр. СиЦ ПВТ раст монокристала), препоручујемоЦВД ТаЦ, који нуди врхунску отпорност на температуру и корозију. Можемо да обезбедимо бесплатан извештај са препорукама за избор на основу ваших специфичних параметара процеса.

2. П: Да ли подржавате израду прототипа у једном комаду / малој серији? Које је време испоруке?

▼

О:Да! За прототипове реверзног инжењеринга,МОК је 1 комад. За конвенционалне једноставне делове, од пријема узорка до испоруке мапираног дела, најбрже време испоруке је приближно10–15 радних дана; за делове који укључују сложене процесе премазивања је приближно20–25 радних дана. Контактирајте наше инжењере за убрзану процену.

3. П: Шта узрокује раслојавање ЦВД премаза на графитним деловима током употребе? Може ли се то решити?

▼

О:90% случајева раслојавања је узроковано неусклађеношћу између коефицијента топлотног ширења (ЦТЕ) графитне подлоге и премаза, што доводи до љуштења од замора при брзом загревању/хлађењу. Наше решење: прво прецизно измерите ЦТЕ криву вашег оригиналног дела, а затим посебно подесите густину подлоге и градијент температуре таложења тако да су два ЦТЕ-а веома усклађена. Јачина везе се може побољшати на више од1,5 путаиндустријски конвенционални ниво.

4. П: Можете ли да обезбедите ЦоА (сертификат анализе) за производе? Које податке укључује?

▼

О:Сваки испоручени производ стандардно долази са ајединствени серијски број + пун извештај ЦоА. Извештај укључује: податке инспекције ЦММ критичних димензија, мапу дистрибуције дебљине премаза у више тачака, вредности храпавости површине (Ра) и закључке анализе чистоће материјала (ГДМС).

Започните своју ексклузивну услугу одмах

Контактирајте нас одмах Затражите понуду

Телефон: +86-18069220752(Тина);+86-15988690905(сера)

Емаил: анни@ветексеми.цом

Сампле МаппингМатеријали и дизајнОптимизација и масовна производњаКЦ & Логистицс
Невс Рецоммендатионс
Шта је ЦВД ТАЦ премаз? - Ветексеми
Шта је ЦВД ТАЦ премаз? - ВетексемиПогледај још >>
ПЗТ пиезоелектричне плочице: решења високих перформанси за МЕМС следеће генерације
ПЗТ пиезоелектричне плочице: решења високих перформанси за МЕМС следеће генерацијеПогледај још >>
Како премаз од тантал карбида (ТаЦ) постиже дугорочну услугу под екстремним термичким циклусом?
Како премаз од тантал карбида (ТаЦ) постиже дугорочну услугу под екстремним термичким циклусом?Погледај још >>
Шта је ЦМП процес припреме суспензије за полирање
Шта је ЦМП процес припреме суспензије за полирањеПогледај још >>
Пробој технологије танталума карбида, сић епитаксијално загађење смањено за 75%?
Пробој технологије танталума карбида, сић епитаксијално загађење смањено за 75%?Погледај још >>
Шта је прстен за облагање од тантал карбида и зашто је критичан у обради полупроводника
Шта је прстен за облагање од тантал карбида и зашто је критичан у обради полупроводникаПогледај још >>
X
Користимо колачиће да бисмо вам понудили боље искуство прегледања, анализирали саобраћај на сајту и персонализовали садржај. Коришћењем овог сајта прихватате нашу употребу колачића. Политика приватности
ОдбитиПрихвати