Оксидациона и дифузиона пећ

Оксидационе и дифузионе пећи се користе у различитим областима као што су полупроводнички уређаји, дискретни уређаји, оптоелектронски уређаји, енергетски електронски уређаји, соларне ћелије и производња интегрисаних кола великих размера. Користе се за процесе укључујући дифузију, оксидацију, жарење, легирање и синтеровање плочица.

ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач специјализован за производњу компоненти графита, силицијум карбида и кварца високе чистоће у оксидационим и дифузионим пећима. Посвећени смо обезбеђивању висококвалитетних компоненти пећи за полупроводничку и фотонапонску индустрију, и налазимо се на челу технологије површинских премаза, као што су ЦВД-СиЦ, ЦВД-ТаЦ, пироугљеник, итд.

Предности ВеТек Семицондуцтор компоненти од силицијум карбида:

Отпорност на високе температуре (до 1600 ℃)

Одлична топлотна проводљивост и термичка стабилност

Добра отпорност на хемијску корозију

Низак коефицијент топлотног ширења

Висока чврстоћа и тврдоћа

Дуг радни век

У оксидационим и дифузионим пећима, због присуства високе температуре и корозивних гасова, многе компоненте захтевају употребу материјала отпорних на високе температуре и корозију, међу којима је силицијум карбид (СиЦ) често коришћен избор. Следе уобичајене компоненте силицијум карбида које се налазе у оксидационим и дифузионим пећима:

Вафер Боат

Чамац од силицијум карбида је контејнер који се користи за ношење силицијумских плочица, који могу да издрже високе температуре и неће реаговати са силицијумским плочицама.

Фурнаце Тубе

Цев пећи је главна компонента дифузионе пећи, која се користи за смештај силицијумских плочица и контролу реакционог окружења. Цијеви пећи од силицијум карбида имају одличне перформансе отпорности на високе температуре и корозију.

Преградне Плоче

Користи се за регулисање протока ваздуха и дистрибуције температуре унутар пећи

Заштитна цев термоелемента

Користи се за заштиту термопарова за мерење температуре од директног контакта са корозивним гасовима.

Цантилевер Паддле

Конзолне лопатице од силицијум карбида су отпорне на високе температуре и корозију и користе се за транспорт силицијумских чамаца или кварцних чамаца који носе силицијумске плочице у цеви дифузионе пећи.

Гас Ињецтор

Користи се за увођење реакционог гаса у пећ, мора бити отпоран на високе температуре и корозију.

Боат Царриер

Носач за чамце од силицијум карбида се користи за фиксирање и подршку силицијумских плочица, које имају предности као што су висока чврстоћа, отпорност на корозију и добра структурна стабилност.

Врата пећи

Превлаке или компоненте од силицијум карбида се такође могу користити на унутрашњој страни врата пећи.

Грејач

Грејни елементи од силицијум карбида су погодни за високе температуре, велику снагу и могу брзо да подигну температуру до преко 1000 ℃.

СиЦ Линер

Користи се за заштиту унутрашњег зида цеви пећи, може помоћи у смањењу губитка топлотне енергије и издржати оштра окружења као што су висока температура и високи притисак.