КР код

О нама
Производи
Контактирајте нас
Телефон
Фак
+86-579-87223657
Е-маил
Адреса
Вангда Роад, Стреет Зијанг, округ Вуии, Град Јинхуа, провинција Зхејианг, Кина
Семицондуктор Ветек је водећи произвођач порозних СИЦ керамика за индустрију полуводича. Прошло је ИСО9001, полуводич ветека има добру контролу квалитета. Семицондуктор Ветек је одувек био посвећен да постане иноватор и лидер у порозној индустрији СИЦ-а.
Порозни сички керамички диск
Порозна сиц керамика су керамички материјал који се испаљују на високим температурама и изнутра имају велики број међусобно повезаних или затворених пора. Такође је познат и као микропорозна усисна усисна чаша, са величина пора која се крећу од 2 до 100ум.
Порозна сиц керамика широко се користи у металургији, хемијској индустрији, заштити животне средине, биологији, полуводичком и другим пољима. Порозна сиц керамика може се припремити методом пењене, сол гел методом, методом ливења траке, чврсти метод синтеровања и методом импрегнације пиролизе.
Припрема порозне сиц керамике методом синтеровања
Својства порозног керамике силицијум карбида припремљена различитим методама као функција порозности
Порозна сиц керамика усисне шоље у полуводичкој линији
Порозна сичка керамике Ветек полуводиче играју улогу стезања и ношења вафла у производњи полуводича. Они су густи и уједначени, високи јачи, добре у пропуштености ваздуха и униформи у адсорпцији.
Они се ефикасно баве многим тешким проблемима као што су резентирање и чипове електростатичке слојеве и помоћи у постизању прераде изузетно висококвалитетних вафла.
Радни дијаграм порозне сиц керамике:
Принцип рада порозног сиц керамике: Силицијум резина је фиксиран принципом вакуумског адсорпције. Током прераде, мале рупе на порозној сичкој керамици користе се за извлачење ваздуха између силицијума и керамичке површине, тако да су силиконски резини и керамичка површина на ниском притиску, чиме се причвршћују на тај начин фиксирајући силицијум резину.
Након прераде, плазма вода тече из рупа како би се спречило да се силицијум решете да се придржава керамичке површине, а истовремено се чисте силицијум резина и керамичка површина.
Микроструктура порозне сиц керамике
Означите предности и карактеристике:
● Отпорност на високу температуру
● Отпорност на хабање
● Хемијска отпорност
● Висока механичка чврстоћа
● Лако регенерисање
● Одлична топлотна отпорност на ударце
артикал
јединица
Порозна сиц керамика
Пречник поре
један
10 ~ 30
Густина
Г / цм3
1.2 ~ 1.3
Површински ружанхенст
један
2.5 ~ 3
Вредност апсорпције ваздуха
Кпа
-45
Снага савијања
МПА
30 Диелектрична константа
1МХз
33 Топлотна проводљивост
В / (м · к)
60 ~ 70
Постоји неколико високих потреба за порозном СИЦ керамиком:
1. јака вакуум адсорпција
2 Равност је веома важна, иначе ће бити проблема током рада
3. Нема деформације и не уклањања металних нечистоћа
Због тога је вредност апсорпције ваздуха порозног сиц керамике ВЕТЕК полуслака достигла -45кпа. У исто време, у каледу се на 1200 ℃ током 1,5 сата пре него што напусте фабрику да уклоне нечистоће и пакују се у вакуумске кесе.
Порозна сиц керамика се широко користи у технологији преноса, преноса и другим везама. Сјајно су постигли велика достигнућа у лепљењем, приређивању, монтажи, полирањем и другим везама.
Order precision-engineered Porous SiC ceramics from Veteksemicon—ideal for thermal uniformity and gas control in semiconductor systems.
Veteksemicon’s porous silicon carbide (SiC) components are engineered for high-temperature plasma processes and advanced gas flow control. Ideal for PECVD, ALD, vacuum chucks, and gas distribution plates (showerheads), these components offer excellent thermal conductivity, thermal shock resistance, and chemical stability.
Our porous SiC features a controlled pore structure for consistent gas permeability and uniform temperature distribution, reducing defect rates and enhancing yield. It is widely used in wafer handling platforms, temperature equalizing plates, and vacuum holding systems. The material ensures mechanical durability under corrosive and high-load thermal conditions.
Contact Veteksemicon today to request custom Porous SiC solutions or detailed engineering parameters.
+86-579-87223657
Вангда Роад, Стреет Зијанг, округ Вуии, Град Јинхуа, провинција Зхејианг, Кина
Цопиригхт © 2024 Ветек Семицондуцтор Тецхнологи Цо, Лтд. Сва права задржана.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |