Резање роботичке руке

Ветек Семицондуцтор је професионална роботска рука за руковање плочицама направљена технологијом термичког прскања.

1. Технологија прскања технологија може ефикасно побољшати отпорност на хабање робота. Резање робота робота често контактира вафла и другу опрему током рада. Овај високофреквентни контакт и кретање лако могу изазвати хабање механичких делова. Списак материјала отпорних на хабање на површини руке робота, хабање делова може се знатно смањити, услуга се може продужити сервисни век робота робота, а трошкови одржавања могу се смањити.

2. Побољшање отпорности на корозију је такође значајна предност технологије термичког прскања. У процесу производње полупроводника, рука робота треба да ради у окружењу пуном корозивних гасова и хемијских реагенаса. Ове хемикалије могу кородирати роботску руку, утичући на њене перформансе и прецизност. Технологија термичког прскања може да формира густ антикорозивни премаз на површини руке робота, ефикасно спречавајући инвазију корозивних супстанци, чиме се обезбеђује стабилан рад роботске руке у тешким окружењима.

3. Темељна технологија прскања такође може побољшати топлотну стабилност руке робота. У поступку производње полуводича, неки процеси ће створити високе температуре, а роботска рука мора да одржи прецизну радњу у окружењу високе температуре. Термилна технологија прскања осигурава да робот рука не деформише или не деградира на високим температурама превлачењем површине робота са материјалима са високом температурном стабилношћу, побољшавајући на тај начин побољшање поузданости и прецизности укупне производне линије.

4. Примена антистатичког премаза додатно побољшава перформансе руке робота. Облатне су веома осетљиве на статички електрицитет, а акумулација статичког електрицитета може изазвати контаминацију површине плочице или оштећење електронских уређаја. Кроз технологију термичког прскања, на површини руке робота може се формирати антистатички премаз, који ефикасно смањује стварање статичког електрицитета, штити плочицу од оштећења статичким електрицитетом и осигурава квалитет и сигурност производа.

5. Технологија топлотне прскање такође може да смањи контаминацију честица робота током рада. У производњи полуводича, било која ситна контаминација честица може утицати на квалитет вафла. Коришћењем термичке технологије прскања, на површини робота може се формирати глатко и густо премазивање, смањујући проливање честица, одржавајући чистоћу производног окружења и на тај начин побољшавајући принос производа.