Семицондуцтор керамичка млазница

Семицондуцтор керамичка млазница игра важну улогу уХДП-ЦВД процес, користи се за прецизно контролу тока гаса и осигуративисококвалитетни таложење филма. Спреј за млазницу керамике прецизно је пројектован да би се осигурало доследне и контролене стопе протока гаса, минимизирање могућих турбуленција када гас уђе у реакциону комору.

Техничке спецификације:

1.Материал Цомпоситион:

Семицондуцтор Ветек, пешчана пешчана пешчана пешчана млазница је обично направљена од полуводичке керамике као што су алуминијум оксид (АЛ2О3),Силицијум карбида (СИЦ)или цирконијум оксид (ЗрО2), ови материјали имају одлична својства:

    • Висока топлотна стабилност (може да издржи температуре изнад 1000 ℃)

    • отпорност на корозију реактивним гасовима који се користе уЦВД процеси(као што је Силане, амонијак)

    • отпорност на континуирано излагање плазми.

2 Структурни дизајн:

    • Величина отвора: Отвор полупроводничке керамичке млазнице је научно дизајниран да омогући прецизну контролу протока гаса, што заузврат утиче на униформност и дебљину филма.

    • углови и геометрије: прецизно дизајнирани да обезбеде јединствену дистрибуцију гаса у подлози, минимизирајући недостатке у депонотом слоју.

У полуводичкој индустрији полуводичка керамичка млазница играју кључну улогу првенствено у процесу ХДП-ЦВД ЦВД. Такође се користе за депоновање танких филмова за производњу микроелектронике, осигуравајући висококвалитетне површинске премазе које су уједначене и без контаминанта.

Ветек полуводичка керамичка млазница Трговине: