РТА/РТП процес

ВеТек Семицондуцтор обезбеђује РТА/РТП Процесс носач вафла, направљен од графита високе чистоће и СиЦ премаза санечистоћа испод 5ппм.

Пећ за брзо жарење је врста опреме за обраду материјала иРТА/РТП процес, контролисањем процеса грејања и хлађења материјала, може побољшати кристалну структуру материјала, смањити унутрашњи стрес и побољшати механичка и физичка својства материјала. Једна од основних компоненти у комори пећи за брзо жарење је носач плочице/вафер пријемникза утовар вафла. Као грејач плочице у процесној комори, овоносећа плочаигра важну улогу у брзом загревању и третману за изједначавање температуре.

Силицијум карбид, алуминијум нитрид и графит силицијум карбид су доступни материјали за пећи за брзо жарење, а главни избор на тржишту је графит ипремаз од силицијум карбида као материјали. 

Следеће сукарактеристике и одличне перформансеВеТек Семицондуцтор СиЦ обложен РТА РТП процесни носач вафла:

-Стабилност на високим температурама: СиЦ премаз показује изузетну стабилност на високим температурама, обезбеђујући интегритет структуре и механичку чврстоћу чак и на екстремним температурама. Ова способност га чини веома погодним за захтевне процесе топлотне обраде.

-Одлична топлотна проводљивост: Слој премаза СиЦ поседује изузетну топлотну проводљивост, што омогућава брзу и равномерну дистрибуцију топлоте. Ово значи бржу топлотну обраду, значајно смањујући време загревања и повећавајући укупну продуктивност. Побољшањем ефикасности преноса топлоте доприноси већој ефикасности производње и врхунском квалитету производа.

-Хемијска инертност: Урођена хемијска инертност силицијум карбида пружа одличну отпорност на корозију од разних хемикалија. Наш носач плочице од силицијум карбида обложен угљеником може поуздано да ради у различитим хемијским окружењима без контаминације или оштећења плочица.

-Равност површине: ЦВД слој силицијум карбида обезбеђује веома равну и глатку површину, гарантујући стабилан контакт са плочицама током термичке обраде. Ово елиминише уношење додатних површинских дефеката, обезбеђујући оптималне резултате обраде.

-Лагана и висока чврстоћа: Наш РТП носач вафера обложен СиЦ-ом је лаган, али поседује изузетну снагу. Ова карактеристика олакшава погодно и поуздано утовар и истовар вафла.

Како користити РТА РТП Процесс вафер носач:

ВеТек Семицондуцтор'с СиЦ обложени вафер пријемник и поклопац пријемника

РТА РТП пријемник РТА РТП носач плочице РТП лежиште (за РТА брзи третман загревања) РТП лежиште (за РТА брзи третман загревања) РТП пријемник Подршка за РТП плочице