Порозни сички керамички стезари

Порозни сички керамички стезави који нуди ВетекСемицон направљен је од високе чистоће порозног силицијум-карбида (СИЦ), овај керамички Цхуцк осигурава једнолични проток гаса, одлична равност и топлотна стабилност под високим вакуумским и температурним условима. Идеалан је за вакуумске системе за стезање, где је не-додир, руковање вафром и честица је критично.

Ⅰ. КЉУЧНИ МАТЕРИЈАЛНИ Својства и бенефиције за перформансе

1. Одлична топлотна проводљивост и отпорност на температуру

Силицијум карбида нуди високу топлотну проводљивост (120-200 В / м · к) и може да издржи радну температуру изнад 1600 ° Ц, чинећи Цхуцка идеалног за јеткање плазме, прераде ионске греде и процесе одлагања на високе температуре.

Улога: Осигурава једнолично расипање топлоте, смањујући вафли ратовање и побољшање процесне уједначености.

2 Врхунска механичка снага и отпорност на хабање

Густа микроструктура СИЦ-а даје Цхуцк изузетну тврдоћу (> 2000 ХВ) и механичко издржљивост, неопходно за поновљене циклусе за утовар / истовар репетитора и оштре процесне окружења.

Улога: продужава Цхуцков животни век током одржавања димензијске стабилности и прецизности површине.

3. Контролисана порозност за униформну дистрибуцију вакуум-а

Фино подешена порозна структура керамике омогућава доследно усисавање вакуума преко површине лифе, осигуравајући сигурну постављање вафла са минималном контаминацијом честица.

Улога: побољшава компатибилност чистоћне собе и осигурава прераду лифе на оштећењу.

4. Одлична хемијска отпорност

СИЦ-ова инертност корозивним гасовима и у плазмима штити Цхуцка из разградње током реактивног јонског јеткања или хемијског чишћења.

Улога: минимизира фреквенцију прекида и чишћења, смањење оперативних трошкова.

Ⅱ. Услуге прилагођавања и подршке за прилагођавање ветекЕктимика

У Ветексемимимима пружамо потпуни спектар прилагођених услуга како бисмо испунили захтевне захтеве произвођача полуводича:

● Прилагођена дизајн геометрије и величине пора: Нудимо Цхуцкс у различитим величинама, дебљинама и густини порама на ваше спецификације опреме и вакуумским захтевима.

● Прототипи за брзо преокретање: Кратка времена вођења и ниска производна подршка за производњу и развој и пилот линија.

● Поуздана услуга након продаје: Од смерница за инсталацију на надгледање животног циклуса, осигуравамо дугорочну стабилност перформанси и техничку подршку.

Ⅲ. Апликације

● Опрема за прераду јеткања и плазме

● ИОН Имплантација и жарући коморе

● Хемијски механички полирање (ЦМП) системи

● Метролошке и инспекцијске платформе

● Вакуумски холдинг и системи за стезање у окружењима за чишћење

Векекемеицон Продуцтс Схоп: