Веб Мену

Претрага производа

Језик

Производи

Керамика од силицијум карбида

ВеТек Семицондуцтор је ваш иновативни партнер у области обраде полупроводника. Са нашим широким портфељем комбинација материјала силицијум карбидне керамике за полупроводнике, могућностима производње компоненти и услугама инжењеринга апликација, можемо вам помоћи да превазиђете значајне изазове. Инжењерско техничка керамика од силицијум карбида има широку примену у индустрији полупроводника због својих изузетних перформанси материјала. ВеТек Семицондуцтор-ова ултра чиста силицијум карбидна керамика се често користи током читавог циклуса производње и обраде полупроводника.


ДИФУЗИЈА И ЛПЦВД ОБРАДА

ВеТек Семицондуцтор обезбеђује пројектоване керамичке компоненте посебно дизајниране за серијску дифузију и ЛПЦВД захтеве укључујући:

• Преграде и држачи
• Ињектори
• Облоге и процесне цеви
• Конзола од силицијум карбида
• чамци и постоља


КОМПОНЕНТЕ ПРОЦЕСА ЕТЦХ

Минимизирајте контаминацију и непланирано одржавање са компонентама високе чистоће пројектованим за строгу обраду плазма нагризања, укључујући:

Фокусни прстенови

Млазнице

Штитови

Сховерхеадс

Прозори / поклопци

Друге прилагођене компоненте


БРЗА ТЕРМИЧКА ОБРАДА И КОМПОНЕНТЕ ЕПИТАКСИЈАЛНОГ ПРОЦЕСА

ВеТек Семицондуцтор обезбеђује напредне материјалне компоненте прилагођене за апликације термичке обраде на високим температурама у индустрији полупроводника. Ове апликације обухватају РТП, Епи процесе, дифузију, оксидацију и жарење. Наша техничка керамика је дизајнирана да издржи топлотне ударе, пружајући поуздане и доследне перформансе. Са компонентама ВеТек Семицондуцтор-а, произвођачи полупроводника могу постићи ефикасну и висококвалитетну термичку обраду, доприносећи укупном успеху производње полупроводника.

• Дифузори

• Изолатори

• Сусцептори

• Друге прилагођене термичке компоненте


Физичка својства рекристализованог силицијум карбида
Имовина Типична вредност
Радна температура (°Ц) 1600°Ц (са кисеоником), 1700°Ц (редуцирајућа средина)
Садржај СиЦ / СиЦ > 99,96%
Си / Фрее Си садржај < 0,1%
Насипна густина 2,60-2,70 г/цм3
Привидна порозност < 16%
Снага компресије > 600 МПа
Чврстоћа на хладно савијање 80-90 МПа (20°Ц)
Чврстоћа на топло савијање 90-100 МПа (1400°Ц)
Топлотна експанзија @1500°Ц 4,70 10-6/°Ц
Топлотна проводљивост @1200°Ц 23  В/м•К
Модул еластичности 240 ГПа
Отпорност на топлотни удар Изузетно добро


View as  
 
Вакуумска врућа пресована пећ за спајање кристала силицијум карбида

Вакуумска врућа пресована пећ за спајање кристала силицијум карбида

Технологија везивања СиЦ семена је један од кључних процеса који утичу на раст кристала. ВЕТЕК је развио специјализовану вакуумску врућу пресу пећ за везивање семена на основу карактеристика овог процеса. Пећ може ефикасно да смањи различите дефекте настале током процеса везивања семена, чиме се побољшава принос и коначни квалитет кристалног ингота.
Погледај још >> Пошаљи упит >>
Силиконски касетни чамац

Силиконски касетни чамац

Силицијумски касетни чамац из Ветексемицон-а је прецизно конструисан носач за плочице развијен посебно за примене у високотемпературним полупроводничким пећима, укључујући оксидацију, дифузију, дриве-ин и жарење. Произведен од силицијума ултра-високе чистоће и завршен према напредним стандардима за контролу контаминације, обезбеђује термички стабилну, хемијски инертну платформу која се у потпуности поклапа са својствима самих силицијумских плочица. Ово поравнање минимизира топлотни стрес, смањује клизање и формирање дефеката и обезбеђује изузетно уједначену дистрибуцију топлоте у целој серији
Погледај још >> Пошаљи упит >>
Конзолна лопатица од силицијум карбида за обраду плочица

Конзолна лопатица од силицијум карбида за обраду плочица

Конзолна лопатица од силицијум карбида из Ветексемицон-а је пројектована за напредну обраду плочица у производњи полупроводника. Направљен од СиЦ високе чистоће, пружа изванредну термичку стабилност, супериорну механичку чврстоћу и одличну отпорност на високе температуре и корозивна окружења. Ове карактеристике обезбеђују прецизно руковање плочицама, продужени радни век и поуздане перформансе у процесима као што су МОЦВД, епитаксија и дифузија. Добродошли на консултације.
Погледај још >> Пошаљи упит >>
АРМ АРМ СИЛИЦОН ЦАРБИДЕ

АРМ АРМ СИЛИЦОН ЦАРБИДЕ

Наша роботска рука Силицон Царбиде (СИЦ) дизајнирана је за руковање високим перформансама у напредној производњи полуводича. Направљен од силицијумног карбида високог чистоћа, ова роботска рука нуди изузетну отпорност на високе температуре, корозију у плазми и хемијском нападу, обезбеђујући поуздан рад у захтеву за захтевне окружења за чишћење. Његова изузетна механичка чврстоћа и димензионална стабилност омогућавају прецизно руковање вафлом, истовремено минимизирајући ризике за контаминације, чинећи га идеалним избором за моквд, епитаксу, ионску имплантацију и друге критичне апликације за руковање и решавање. Поздрављамо ваше упите.
Погледај још >> Пошаљи упит >>
Брод Силицон Царбиде Сиц Вафер

Брод Силицон Царбиде Сиц Вафер

Ветексемицон СИЦ вафли Бродови се широко користе у критичним процесима високих температура у производњи полуводича, који послужују као поуздани носачи за оксидацију, дифузију и жарући процесе за интегрисане кругове на бази силицијума. Такође се одликују у сектору треће генерације полуводича, савршено погодни за захтевне процесе као што су епитаксијални раст (ЕПИ) и метално-органско-органски таложење хемијске паре (МОЦВД) за СИЦ и ГАН уређаје. Такође подржавају израду високих температура високе соларне ћелије у индустрији фотонапонске индустрије. Радујемо се вашим даљим консултацијама.
Погледај још >> Пошаљи упит >>
Сиц Цантилевер весла

Сиц Цантилевер весла

Ветекстимицон Сиц Цантилевер Падсдлес су високе чистоће Силицон Царбиде Армс Дизајниране за руковање вафлом у хоризонталним дифузијским пећима и епитаксијалним реакторима. Са изузетном топлотном проводљивошћу, отпорношћу на корозију и механичка чврстоћа, ови весла осигуравају стабилност и чистоћу у захтевању полуводичких окружења. Доступно у прилагођеним величинама и оптимизовано за дуг радни век.
Погледај још >> Пошаљи упит >>
Као професионалац Керамика од силицијум карбида произвођач и добављач у Кини, имамо сопствену фабрику. Без обзира да ли су вам потребне прилагођене услуге да бисте испунили специфичне потребе вашег региона или желите да купите напредне и издржљиве Керамика од силицијум карбида направљене у Кини, можете нас оставити порука.
Невс Рецоммендатионс
Зашто је СИЦ премаз кључног основног материјала за раст епитаксија СИЦ-а?
Зашто је СИЦ премаз кључног основног материјала за раст епитаксија СИЦ-а?Погледај још >>
Историја развоја 3Ц СиЦ
Историја развоја 3Ц СиЦПогледај још >>
Који се материјали користе у полуводичким керамичким компонентама?
Који се материјали користе у полуводичким керамичким компонентама?Погледај још >>
Три технологије појединачних раста кристала
Три технологије појединачних раста кристалаПогледај још >>
Шта је Тантем Царбиде (ТАЦ)?
Шта је Тантем Царбиде (ТАЦ)?Погледај још >>
Зашто је премаз од тантал карбида (ТаЦ) супериорнији од премаза од силицијум карбида (СиЦ) у расту монокристала СиЦ? - ВеТек полупроводник
Зашто је премаз од тантал карбида (ТаЦ) супериорнији од премаза од силицијум карбида (СиЦ) у расту монокристала СиЦ? - ВеТек полупроводникПогледај још >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept