Керамика од силицијум карбида

ВеТек Семицондуцтор је ваш иновативни партнер у области обраде полупроводника. Са нашим широким портфељем комбинација материјала силицијум карбидне керамике за полупроводнике, могућностима производње компоненти и услугама инжењеринга апликација, можемо вам помоћи да превазиђете значајне изазове. Инжењерско техничка керамика од силицијум карбида има широку примену у индустрији полупроводника због својих изузетних перформанси материјала. ВеТек Семицондуцтор-ова ултра чиста силицијум карбидна керамика се често користи током читавог циклуса производње и обраде полупроводника.

ДИФУЗИЈА И ЛПЦВД ОБРАДА

ВеТек Семицондуцтор обезбеђује пројектоване керамичке компоненте посебно дизајниране за серијску дифузију и ЛПЦВД захтеве укључујући:

• Преграде и држачи
• Ињектори
• Облоге и процесне цеви
• Конзола од силицијум карбида
• чамци и постоља

СиЦ конзолно весло СиЦ процесне цеви Процесна цев од силицијум карбида СиЦ вертикални чамац за плочице СиЦ хоризонтални чамац СиЦ хоризонтали куаре вафер боат СиЦ ЛПЦВД чамац за плочице СиЦ чамац са хоризонталним плочама СиЦ керамички заптивни прстен

КОМПОНЕНТЕ ПРОЦЕСА ЕТЦХ

Минимизирајте контаминацију и непланирано одржавање са компонентама високе чистоће пројектованим за строгу обраду плазма нагризања, укључујући:

Фокусни прстенови

Млазнице

Штитови

Сховерхеадс

Прозори / поклопци

Друге прилагођене компоненте

БРЗА ТЕРМИЧКА ОБРАДА И КОМПОНЕНТЕ ЕПИТАКСИЈАЛНОГ ПРОЦЕСА

ВеТек Семицондуцтор обезбеђује напредне материјалне компоненте прилагођене за апликације термичке обраде на високим температурама у индустрији полупроводника. Ове апликације обухватају РТП, Епи процесе, дифузију, оксидацију и жарење. Наша техничка керамика је дизајнирана да издржи топлотне ударе, пружајући поуздане и доследне перформансе. Са компонентама ВеТек Семицондуцтор-а, произвођачи полупроводника могу постићи ефикасну и висококвалитетну термичку обраду, доприносећи укупном успеху производње полупроводника.

• Дифузори

• Изолатори

• Сусцептори

• Друге прилагођене термичке компоненте

Физичка својства рекристализованог силицијум карбида
Имовина	Типична вредност
Радна температура (°Ц)	1600°Ц (са кисеоником), 1700°Ц (редуцирајућа средина)
Садржај СиЦ / СиЦ	> 99,96%
Си / Фрее Си садржај	< 0,1%
Насипна густина	2,60-2,70 г/цм3
Привидна порозност	< 16%
Снага компресије	> 600 МПа
Чврстоћа на хладно савијање	80-90 МПа (20°Ц)
Чврстоћа на топло савијање	90-100 МПа (1400°Ц)
Топлотна експанзија @1500°Ц	4,70 10-6/°Ц
Топлотна проводљивост @1200°Ц	23 В/м•К
Модул еластичности	240 ГПа
Отпорност на топлотни удар	Изузетно добро

View as

АРМ АРМ СИЛИЦОН ЦАРБИДЕ

Наша роботска рука Силицон Царбиде (СИЦ) дизајнирана је за руковање високим перформансама у напредној производњи полуводича. Направљен од силицијумног карбида високог чистоћа, ова роботска рука нуди изузетну отпорност на високе температуре, корозију у плазми и хемијском нападу, обезбеђујући поуздан рад у захтеву за захтевне окружења за чишћење. Његова изузетна механичка чврстоћа и димензионална стабилност омогућавају прецизно руковање вафлом, истовремено минимизирајући ризике за контаминације, чинећи га идеалним избором за моквд, епитаксу, ионску имплантацију и друге критичне апликације за руковање и решавање. Поздрављамо ваше упите.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Брод Силицон Царбиде Сиц Вафер

Ветексемицон СИЦ вафли Бродови се широко користе у критичним процесима високих температура у производњи полуводича, који послужују као поуздани носачи за оксидацију, дифузију и жарући процесе за интегрисане кругове на бази силицијума. Такође се одликују у сектору треће генерације полуводича, савршено погодни за захтевне процесе као што су епитаксијални раст (ЕПИ) и метално-органско-органски таложење хемијске паре (МОЦВД) за СИЦ и ГАН уређаје. Такође подржавају израду високих температура високе соларне ћелије у индустрији фотонапонске индустрије. Радујемо се вашим даљим консултацијама.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Сиц Цантилевер весла

Ветекстимицон Сиц Цантилевер Падсдлес су високе чистоће Силицон Царбиде Армс Дизајниране за руковање вафлом у хоризонталним дифузијским пећима и епитаксијалним реакторима. Са изузетном топлотном проводљивошћу, отпорношћу на корозију и механичка чврстоћа, ови весла осигуравају стабилност и чистоћу у захтевању полуводичких окружења. Доступно у прилагођеним величинама и оптимизовано за дуг радни век.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Сички блок

СИЦ блок Ветекстимимица дизајниран је за брушење високог ефикасности и стањивање силицијума и сафирних вафера. Уз одличну топлотну проводљивост (≥120 В / м · к), висока топлотна отпорност на ударце и врхунско отпорност на хабање (МОСС ≥9), наши блокови побољшавају стабилност процеса и смањењу фреквенције промјене алата. Доступно у величинама од 120 мм до 480 мм, са прилагођеним опцијама и брзом испоруком како би се задовољиле различите производне потребе.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Сиц керамика мембрана

Мембране ВетекЕмицон Сиц Мембране су врста неорганске мембране и припадају солидним мембранским материјалима у технологији раздвајања мембране. Сиц мембране испаљене су на температури изнад 2000 ℃. Површина честица је глатка и округла. У носачу подршке нема затворених пора или канала и сваки слој. Обично се састоје од три слоја са различитим величинама пора.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Порозна сиц керамичка плоча

Наше порозне сиц керамичке плоче су порозне керамичке материјале израђене од силицијумског карбида као главне компоненте и обрађене посебним процесима. Они су неопходни материјали у производњи полуводича, хемијским таложењем паре (ЦВД) и другим процесима.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Као професионалац Керамика од силицијум карбида произвођач и добављач у Кини, имамо сопствену фабрику. Без обзира да ли су вам потребне прилагођене услуге да бисте испунили специфичне потребе вашег региона или желите да купите напредне и издржљиве Керамика од силицијум карбида направљене у Кини, можете нас оставити порука.

КР код

О нама

Производи

Контактирајте нас

Телефон
+86-18069220752
Фак
+86-579-87223657
Е-маил
anny@veteksemi.com
Адреса
Вангда Роад, Стреет Зијанг, округ Вуии, Град Јинхуа, провинција Зхејианг, Кина

Веб Мену

Претрага производа

Језик

Изађи из менија

Керамика од силицијум карбида

ДИФУЗИЈА И ЛПЦВД ОБРАДА

КОМПОНЕНТЕ ПРОЦЕСА ЕТЦХ

БРЗА ТЕРМИЧКА ОБРАДА И КОМПОНЕНТЕ ЕПИТАКСИЈАЛНОГ ПРОЦЕСА

АРМ АРМ СИЛИЦОН ЦАРБИДЕ

Брод Силицон Царбиде Сиц Вафер

Сиц Цантилевер весла

Сички блок

Сиц керамика мембрана

Порозна сиц керамичка плоча

Пошаљи упит

КР код

О нама

Производи

Контактирајте нас

Телефон

Фак

Е-маил

Адреса