Керамичка електростатичка Цхуцк

Производни процеси полуводича, посебно прерада ливе, врше се у вакум окружењу, а механички стезаљни вафли превозе 

одређени ризици. Када је сила концентрисана на тачку стезаљке, крхки силицијумски вафли могу пролити малене фрагменте, узрокујући озбиљну штету да се производи од лифе.

У овом случају, керамичка електростатичка Цхуцк постаје бољи избор, који одликује резину електростатичком силом. Електростатичка сила делује равномерно на реф-у, тако да се вафли може решити равномерно, побољшавајући тачност процеса.

Према релевантним истраживачким новинама, керамичка електростатичка стезаљка има јаче усисавање од осталих електростатичких Цхуцкс-а. На пример, керамичка електростатичка Цхуцк има много јаче усисавање од филма за кућне љубимце електростатичке Цхуцка.

Цхуцк керамике је обично направљен од керамичких материјала високих перформанси, као што су АЛ2О3, Алн или СИЦ, који има високу отпорност на топлоту, изолацију и отпорност на корозију. Порозни сиц керамички Цхуцк није само стабилан на екстремним температурама, већ и ефикасно спречава да је керамички е-цхуцк деградацију због хемијских реагенса и јеткања плазме током процеса производње.

Контрола температуре: Висока топлотна проводљивост и стабилна топлотна својства керамичких материјала омогућавају усисавање керамике Алумина да ефикасно контролише температуру, оптимизује расподелу температуре током процеса.

Прилагодљивост вакуум-а: Керамичка електростатичка Цхуцк је погодна за вакуумска окружења, посебно у процесима јеткања ниског притиска и високо прецизних.

Гредања ниске честице: Порозна сић керамика Е-Цхуцк има глатку површину, која може смањити контаминацију честица током причвршћивања и помоћи у побољшању приноса производа.

Примена: Углавном се користи у производњи полуводича, одвојив керамички електростатички Цхуцк који пружа прецизно позиционирање и стабилност, што је веома корисно за литографију, јеткање и друге полуводичке процесе прераде. Уверите се да је вафли нетакнут током обраде и побољша квалитет производње чипова.

То полуводичПродавнице за производњу керамичких е-цхуцка: