Знате ли за Суцептор Моцвд?

У процесу таложења од метала-органског хемијског паре (МОЦВД) Стецептор је кључна компонента одговорна за подршку резини и осигуравање уједначености и прецизне контроле процеса таложења. Избор материјала и карактеристике производа директно утичу на стабилност епитаксијалног процеса и квалитета производа.

Моцвд подршка(Депоновање металне органске паре) је компонента кључне процесе у производњи полуводича. Углавном се користи у МОЦВД (метал-органски хемијски талог паре) поступак за подршку и загревање резина за танколошку талогу. Избор дизајна и материјала Суцептора су пресудни за униформност, ефикасност и квалитет коначног производа.

Врста производа и избор материјала:

Дизајн и материјални избор суцептора МОЦВД је разнолик, обично се одређују процесним захтевима и реакционим условима.Следеће су уобичајене врсте производа и њихови материјали:

СИЦ пресвлачени суцептор(СИЛИЦОН ЦАРБИДЕ НОТХЕРТЕЦТЕР):

Опис: Суцептор са СИЦ премазом, са графитом или другим материјалима са високим температурама као супстрат и ЦВД СИЦ премаз (ЦВД СИЦ премаз) на површини како би се побољшао отпорност на хабање и отпорност на хабање и отпорност на корозију.

Примена: Широко се користи у МОЦВД процесима у високим температурама и високо корозивно гасово окружени, посебно у силицијумској епитаксној таложишту и сложеним поремедним таложењима.

ТАЦ пресвучени:

Опис: Суцептор са ТАЦ премазом (ЦВД ТАЦ премаз), јер главни материјал има изузетно велику тврдоћу и хемијску стабилност и погодан је за употребу у изузетно корозивним окружењима.

Примена: користи се у МОЦВД процесима који захтевају већу отпорност на корозију и механичку чврстоћу, као што су таложење галијум нитрида (ГАН) и галијум арсенид (ГАИ).

Силицон Царбиде обложени графички суцептор за моквд:

Опис: Подлога је графит, а површина је прекривена слојем ЦВД СИЦ премаза како би се осигурала стабилност и дуг живот на високим температурама.

Примена: Погодно за употребу у опреми као што је Аиптрон Моцвд реактори за производњу висококвалитетних једињења полуводичких материјала.

ЕПИ подршка (епитаксни присталица):

Опис: Суцептор посебно дизајниран за процес раста епитаксија, обично са СИЦ премазом или ТАЦ премазом да би побољшао његову топлотну проводљивост и издржљивост.

Примена: у силицијумској епитаксији и јединственом полуводичкој епитакци, користи се за осигурање једноличног грејања и таложење вафла.

Главна улога суцептора за МОЦВД у полуводичкој обради:

Подршка за резање и једнолично гријање:

Функција: Суцептор се користи за подршку вафловима у МОКВД реакторима и пружају јединствену дистрибуцију топлоте кроз индукцијско гријање или друге методе како би се осигурало јединствено таложење филма.

Топлотни проводљивост и стабилност:

Функција: Топлотна проводљивост и топлотна стабилност материјала за суцептивке су пресудне. СИЦ пресвлачени суцептор и суцептор ТАЦ превучени могу да одржавају стабилност у процесима високе температуре због високе термичке проводљивости и отпорности на високу температуру, избегавајући филмске недостатке узроковане неравном температуром.

Отпорност на корозију и дуг живот:

Функција: У процесу МОЦВД-а, Суцептор је изложен различитим хемијским прекурсорским гасовима. Сићев премаз и тачки премаз пружају одличну отпорност на корозију, смањују интеракцију између материјалне површине и реакционог гаса и проширити радни век суцептора.

Оптимизација реакционог окружења:

Функција: Коришћењем висококвалитетних суцептора, оптимизоване су поље протока гаса и температуре у мокту реактор, осигуравајући јединствени поступак таложења и побољшање приноса и перформанси уређаја. Обично се користи у суцепторима за МОКВД реакторе и опрему Аиктрон МоцВД.

Карактеристике производа и техничке предности：

Висока топлотна проводљивост и топлотна стабилност:

Карактеристике: СИЦ и ТАЦ прескуптери имају изузетно високу топлотну проводљивост, могу брзо и равномерно распоредити топлоту и одржавати структурну стабилност на високим температурама како би се осигурало уједначено грејање вафла.

Предности: Погодно за процесе МОЦВД-а који захтевају прецизну контролу температуре, као што је епитаксијални раст јединствених полуводича као што су галијум нитрид (ГАН) и галијум арсенид (гаас).

Одлична отпорност на корозију:

Карактеристике: ЦВД СИЦ премаз и ЦВД ТАЦ премаз имају изузетно високу хемијску инострност и могу се одупријети корозији из високо корозивних гасова, попут хлорида и флуорида, штитећи супстрат подлопаца од оштећења.

Предности: Проширите радни век суцептора, смањите фреквенцију одржавања и побољшати укупну ефикасност процеса МОЦВД-а.

Висока механичка чврстоћа и тврдоћа:

Карактеристике: Висока тврдоћа и механичка чврстоћа СИЦ-а и ТАЦ премаза омогућавају суцепцепт да издржи механички стрес у окружењу високих температура и под високим притиском и одржава дугорочну стабилност и прецизност.

Предности: Посебно је погодно за поступке производње полуводича који захтевају велику прецизност, као што је епитаксијални раст и хемијски таложење паре.

ТРЖИШТА ПРИЈАВА И РАЗВОЈСКИ ПРОСПЕКТИ

Моцвд СуцепторШироко се користе у производњи ЛЕД индикатора високог светла, електроничких уређаја снаге (као што су Хемтс на бази ГАН-а), соларних ћелија и других оптоелектронских уређаја. Са све већом потражњом за веће перформансе и доње полуводичке уређаје за потрошњу енергије, МОЦВД технологија и даље напредује, возећи иновације у суцепцијском материјалу и дизајну. На пример, развијање технологије СИЦ-а са вишом чистоћом и нижом густином оштећења и оптимизацију структурног дизајна суцептора да се прилагоди већим ваферима и сложеним вишеслојним епитаксијским процесима.

Ветек Семицондуцтор Тецхнологи Цо, Лтд је водећи провајдер напредних материјала за превлачење за индустрију полуводича. Наша компанија се фокусира на развој врхунске решења за индустрију.

Наша главна понуда производа укључују ЦВД Силицон Царбиде (СИЦ) премазе, танталум Царбиде (ТАЦ) премазе, СИЦ-и СИЦ-а, и високо чистоће СИЦ материјале, СИЦ-ов системски графички суцепт, прекривени прстен за пресвлачење, прекривени диверзијски прстен, итд. Чистоћа је испод 5 ппм.

Семицондуктор Ветек фокус на развоју врхунске технологије и решења за развој производа за индустрију полуводича. Искрено се надамо да ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.