Силицон Нитрид

1. Одлична хемијска стабилност

Силицијум нитрида керамика има одличну хемијску стабилност и може да издржи разне снажне киселине, алкалије и корозивне гасове. У процесу производње полуводича често се мора бавити корозивним хемикалијама, керамика силицијума нитрида може пружити дугорочно стабилно гарантовање перформанси.

2 Одлична механичка својства

Силицијум нитрида керамика има велику тврдоћу, одличну отпорност на притисак и хабање, способна да издржи механичко стрес и површински трошење, није лако деформација или руптура. Ова механичка својина чини је врло погодним као материјал за структурне и процесне делове у полуводичкој опреми.

3. Стабилност високог температуре

Силицијум нитрида керамика може да одржава стабилност у окружењу са високим температурама, а није лако ублажити или се топити и може да издржи прераду и руковање са високим температурама у поступку производње полуводича. Ово омогућава да се користи у производњи кључних компоненти велике температуре велике температуре, као што су грипери, компоненте реакције и тако даље.

4. Одлична изолациона својства

Изолациона некретнина су критична у производњи полуводичких уређаја. Силицијум нитрида керамика има добре изолационе својства, које могу ефикасно изоловати и заштитити компоненте круга од струје од цурења или електромагнетног уплитања, помажући побољшању стабилности и поузданости уређаја.

5. Термална проводљивост и топлотна проводљивост

Керамика Силицон Нитрида има високу топлотну проводљивост, може ефикасно да спроведу и расипа топлоту коју генерише уређај, помажући да се температурно стабилност уређаја у оперативном процесу. Ово је пресудно за рад високих перформанси полуводичких уређаја.

1. Електростатичке ЦХУЦКЕ И ЦОМПОНЕНТЕ ЦОМПАНИЈЕ ЕКТИНГА

Силицијум нитрида керамика се често користи као материјали за електростатичке Цхуцкс и етоминг коморне компоненте у производњи полуводича због њихове одличне хемијске стабилности и високе температурне отпорности. Електростатички стезави се користе за поправљање и стабилизацију вафера или подлога, док се компоненте за суштине коморе користе се за издржавање корозивних гасова и окружења високог температура.

2. Плочице и рефлектори за дистрибуцију гаса

Керамика Силицон Нитрида се такође користи у производњи полуводичке опреме у плочама за дистрибуцију гаса и рефлекторима. Плочице за дистрибуцију гаса користе се за једнолико дистрибуирање реактивних или заштитних гасова у реакциону комору, док се рефлектори користе за оптимизацију дистрибуције и одраз светла у реакционом комору да побољшају ефикасност и униформност реакција.

3. Држачи и термичке компоненте

Керамика Силицијум нитрида често се користе као власници и компоненте термичке управљања у производној опреми полуводича. Ове компоненте морају имати добру механичку чврстоћу, отпорност на хабање и топлотну проводљивост како би се осигурала стабилна опрема и тачност обраде уређаја.

4. Хемијски механички полирање (ЦМП) јастучићи

Силицијум нитрида керамика се широко користи као материјал подлоге у процесу хемијског механичког полирања (ЦМП). Има одличну резистенцију за равност и хабање и може пружити стабилну подршку током поступка полирања како би се осигурала равност и прецизност површине полуводичке резине.