Силицијум Нитриде

ВеТек Семицондуцтор се фокусира на производњу силицијум нитрида и има тим за истраживање и развој састављен од виших стручњака и врхунских техничких талената. Керамика од силицијум нитрида има предности тврдоће, отпорности на топлоту, отпорности на хабање и отпорности на корозију општих керамичких материјала, и има предности добре отпорности на топлотни удар, отпорности на пузање на високим температурама, доброг самоподмазивања и добре хемијске стабилности и широко је заступљена. користи се у новој енергији, хемијској индустрији, ваздухопловству и полупроводницима.

Материјали од силицијум нитрида ВеТек Семицондуцтор-а имају следеће истакнуте предности:

1. Одлична хемијска стабилност

Керамика од силицијум нитрида има одличну хемијску стабилност и може да издржи разне јаке киселине, алкалије и корозивне гасове. У процесу производње полупроводника често треба да се носи са корозивним хемикалијама, керамика од силицијум нитрида може пружити дугорочну гаранцију стабилног учинка.

2. Одлична механичка својства

Керамика од силицијум нитрида има високу тврдоћу, одличну чврстоћу на притисак и отпорност на хабање, способна је да издржи механичка напрезања и површинско хабање, није лако деформирати или пуцати. Ово механичко својство га чини веома погодним као материјал за структурне и процесне делове у полупроводничкој опреми.

3. Стабилност при високим температурама

Керамика од силицијум нитрида може да одржи стабилност у окружењима са високом температуром, није лако омекшати или растопити, и може издржати високотемпературну обраду и руковање у процесу производње полупроводника. То му омогућава да се користи у производњи кључних компоненти процесне опреме за високе температуре, као што су хватаљке, компоненте реакционе коморе и тако даље.

4. Одлична изолациона својства

Изолациона својства су критична у производњи полупроводничких уређаја. Керамика од силицијум нитрида има добра изолациона својства, која могу ефикасно изоловати и заштитити компоненте кола од цурења струје или електромагнетних сметњи, помажући да се побољша стабилност и поузданост уређаја.

5. Топлотна проводљивост и топлотна проводљивост

Керамика од силицијум нитрида има високу топлотну проводљивост, може ефикасно да спроводи и расипа топлоту коју производи уређај, помажући да се одржи температурна стабилност уређаја у процесу рада. Ово је кључно за рад полупроводничких уређаја високих перформанси.

Примене ВеТек Семицондуцтор материјала од силицијум нитрида у соларној и полупроводничкој индустрији углавном укључују:

1. Електростатичке стезне главе и компоненте коморе за нагризање

Керамика од силицијум нитрида се често користи као материјал за електростатичке стезне главе и компоненте коморе за нагризање у производњи полупроводника због њихове одличне хемијске стабилности и отпорности на високе температуре. Електростатичке стезне главе се користе за фиксирање и стабилизацију плочица или подлога, док се компоненте коморе за нагризање користе да издрже корозивне гасове и окружења високе температуре.

2. плоче за развод гаса и рефлектори

Керамика силицијум нитрида се такође користи у производњи полупроводничке опреме у плочама за дистрибуцију гаса и рефлекторима. Плоче за дистрибуцију гаса се користе за равномерну дистрибуцију реактивних или заштитних гасова у реакционој комори, док се рефлектори користе за оптимизацију дистрибуције и рефлексије светлости унутар реакционе коморе како би се побољшала ефикасност и униформност реакције.

3. Држачи и термичке компоненте

Керамика од силицијум нитрида се често користи као држачи и компоненте за управљање топлотом у опреми за производњу полупроводника. Ове компоненте морају имати добру механичку чврстоћу, отпорност на хабање и топлотну проводљивост како би се осигурао стабилан рад опреме и тачност обраде уређаја.

4. Јастучићи за хемијско механичко полирање (ЦМП).

Керамика од силицијум нитрида се широко користи као материјал за подлогу у процесу хемијско-механичког полирања (ЦМП). Има одличну равност и отпорност на хабање и може пружити стабилну подршку током процеса полирања како би се осигурала равност и прецизност површине полупроводничке плочице.