Шта је ТАЦ премаз? - Ветек полуводич

ТАЦ премаз (Танталум Царбиде Цоатинг) је материјал за превлачење високих перформанси произведени поступком хемијског таложења (ЦВД). Због одличних својстава ТАЦ премаза под екстремним условима, он се широко користи у процесу производње полуводича, посебно у опреми и компонентама који захтевају високу температуру и снажно корозивно окружење. ТАЦ премаз се обично користи за заштиту подлога (као што је графит или керамика) од оштећења високе температуре, корозивне гасове и механичко хабање.

Физичка својства ТАЦ премаза

Функције производа и предности

● Изузетно висока топлотна стабилност:

Опис означавања: Тац премаз има тачку топљења више од 3880 ° Ц и може да одржава стабилност без распадања или деформације у изузетно окружењу високе температуре.

Предност: То га чини неопходним материјалом у полуводичкој опреми високотемпеум температура, као што је ЦВД ТАЦ прекривач и ТАЦ пресвлачен суцептор, посебно за апликације у МОКВД реакторима, као што је Аиктрон Г5 опрема.

● Одлична отпорност на корозију:

Опис карактеристика: ТАЦ има изузетно снажну хемијску иностру и може се ефикасно одупријети ерозији корозивних гасова попут хлорида и флуорида.

Предности: У полуводичким процесима који укључују високо корозивне хемикалије, ТАЦ премаз штити компоненте опреме из хемијског напада, продужавају радни век и побољшава стабилност процеса, посебно у примени бијежа и других кључних компоненти.

● Одлична механичка тврдоћа:

Опис карактеристика: Тврдоћа ТАЦ премаза је висока као и 9-10 месеци, што је отпорно на механичко хабање и стрес високе температуре.

Предност: Имовина високе тврдоће чини ТАЦ премаз посебно погодним за употребу у окружењима са високим хабањем и високим стресом, обезбеђујући дугорочну стабилност и поузданост опреме под оштрим условима.

● Ниска хемијска реактивност:

Опис карактеристика: Због хемијске инертности, ТАЦ премаз може да одржи ниску реактивност у окружењу високих температура и избегне непотребне хемијске реакције са реактивним гасовима.

Предност: Ово је посебно важно у процесу производње полуводича, јер осигурава чистоћу процесора животне средине и висококвалитетног таложења материјала.

Улога ТАЦ премаза у полуводичкој обради

● Заштита компоненти кључне опреме:

Опис функције: ТАЦ премаз се широко користи у кључним компонентама производне опреме полуводича, као што је ТАЦ пресвлачен суцептор, који треба да ради под екстремним условима. Премазом са ТАЦ-ом, ове компоненте могу радити дуже временске периоде у окружењу високих температура и корозивног гаса без оштећења.

● Проширите живот опреме:

Опис функције: У МОЦВД опреми као што је Аиктрон Г5, ТАЦ премаз може значајно побољшати трајност компоненти опреме и смањити потребу за одржавањем и заменом опреме због корозије и хабања.

● Побољшање стабилности процеса:

Опис функције: У полуводичкој производњи ТАЦ премаз осигурава униформност и доследност поступка таложења пружајући стабилну високу температуру и хемијско окружење. Ово је посебно важно у процесима раста епитаксија, као што су силицијум епитакксија и галијум нитрид (ГАН).

● Побољшати ефикасност процеса:

Опис функције: Оптимизацијом премаза на површини опреме, ТАЦ премаз може побољшати укупну ефикасност процеса, смањити брзину оштећења и повећати принос производа. Ово је пресудно за производњу висококвалитетних, полу-чистоћи полуводичким материјалима.

Висока топлотна стабилност, одлична отпорност на корозију, механичка тврдоћа и ниска хемијска реактивност изложена ТАЦ премазом током оперативне опектора, чине га идеалним избором за заштиту компоненти за производњу полуводича. Како је потражња полуводичке индустрије за високу температуру, висока чистоћа и ефикасна производна процеса и даље повећава, ТАЦ премаз има широке перспективе примене, посебно у опреми и процесима који укључују ЦВД ТАЦ премаз, ТАЦ превучени суцептор и Аиктрон Г5.

Ветек Семицондуцтор Тецхнологи Цо, Лтд је водећи провајдер напредних материјала за превлачење за индустрију полуводича. Наша компанија се фокусира на развој врхунске решења за индустрију.

Наше главне понуде производа укључујуЦВД Силицон Царбиде (Сиц) премази, Танталум Царбиде (ТАЦ) премази, Булк Сиц, Сићев прашкови и високих чистоћих материјала, СИЦ пресвучени графички суцептор, прекривени прстенови, ТАЦ прекривени диверзијски прстен, полумодне делове итд., Чистоћа је испод 5 ппм, може да испуни захтеве купаца.

Семицондуктор Ветек фокус на развоју врхунске технологије и решења за развој производа за индустрију полуводича.Искрено се надамо да ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.