ВеТек семицондуцтор је водећи произвођач тантал карбидних премаза за индустрију полупроводника. Наша главна понуда производа укључује делове премаза од ЦВД тантал карбида, делове синтерованог ТаЦ премаза за раст кристала СиЦ или процес епитаксије полупроводника. Прошао ИСО9001, ВеТек Семицондуцтор има добру контролу квалитета. ВеТек Семицондуцтор је посвећен да постане иноватор у индустрији премаза од тантал карбида кроз текуће истраживање и развој итеративних технологија.
Главни производи су ТаЦ обложени водећи прстен, ЦВД ТаЦ обложен водећи прстен са три латице, тантал карбид ТаЦ обложен Халфмоон, ЦВД ТаЦ премаз планетарни СиЦ епитаксијални сусцептор, тантал карбид премазани прстен, порозни графит обложен тантал карбидом, ТаЦ премаз обложен тантал сусцептор, Р ТаЦ Цоатинг Ротатион, Р Таби Цоатинг ТаЦ обложена ваферна подлога, ТаЦ обложен дефлекторски прстен, ЦВД ТаЦ поклопац премаза, ТаЦ обложена стезна глава итд., чистоћа је испод 5ппм, може задовољити захтеве купаца.
ТаЦ премаз графит се ствара премазивањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД). Предност је приказана на слици испод:
Превлака од тантал карбида (ТаЦ) је привукла пажњу због своје високе тачке топљења до 3880°Ц, одличне механичке чврстоће, тврдоће и отпорности на термичке ударе, што га чини атрактивном алтернативом за сложене полупроводничке епитаксијске процесе са вишим температурним захтевима, као што су Аиктрон МОЦВД систем и ЛПЕ СиЦ метода епитаксије у процесу раста кристала П такође има широку примену у процесу раста кристала П. Ит П.
Кључне карактеристике
● Температурна стабилност до 2500°Ц са одличном отпорношћу на термички удар.
● Ултра-висока чистоћа (<5ппм) и јака адхезија на графит за минимално стварање честица.
● Врхунска отпорност на испарења Х₂, НХ₃, СиХ₄ и Си у тешким процесним окружењима.
● Конформна покривеност премаза са могућношћу величине до пречника 750 мм, јединствено доступна у Кини.
Спецификација производа
Параметар ВеТек Семицондуцтор Тантал Карбида премаза:
| Физичка својства ТаЦ превлаке |
| Густина |
14,3 г/цм³ |
| Тврдоћа |
2000 ХК |
| Топлотно ширење |
6,3×10⁻⁶/К |
| Отпор |
1×10⁻⁵ Охм·цм |
| Термичка стабилност |
<2500°Ц |
| Дебљина премаза |
≥20μм (типично 35±10μм) |
карбидни (ТаЦ) премаз на микроскопском попречном пресеку:
ТаЦ премаз ЕДКС подаци:
Подаци о кристалној структури премаза ТаЦ:
| Елемент |
Атомски проценат |
|
|
Пт. 1 |
Пт. 2 |
Пт. 3 |
Просечно |
| Ц К |
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
| Та М |
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
Апликације
Да би задовољио различите потребе полупроводничких процеса, ВеТек нуди циљане производе премаза од тантал карбида. Следећа табела их класификује по главним областима примене, наводећи типичне компоненте и применљиве процесе:
| Поље апликације |
Типични производи |
Опис апликације |
| СиЦ Епитаки |
ЦВД ТаЦ обложен планетарни сусцептор,ТаЦ обложен вафер суцептор,Водећи прстен обложен ТаЦ
|
Погодно за високотемпературне СиЦ епитаксијалне процесе (нпр. ЛПЕ метода), обезбеђујући високу термичку стабилност и интерфејс са малом контаминацијом како би се обезбедила униформност филма. |
| ГаН / ЛЕД епитаксија (МОЦВД) |
Глава туша, сателитски диск, маскирни прстен, топлотни штит, млазница за убризгавање |
Погодан за Аиктрон МОЦВД системе, отпоран на Х₂/НХ₃ корозију, смањује контаминацију честицама и побољшава принос ЛЕД епитаксија. |
| Раст кристала СиЦ (ПВТ метода) |
Порозни графит обложен ТаЦ,ТаЦ обложен полумесец,водећи прстен,поклопац,цхуцк
|
Користи се у расту ингота ПВТ СиЦ, издржава до 2500°Ц, спречава реакције графита и обезбеђује кристалну чистоћу. |
| Високотемпературно грејање и пратеће компоненте |
Индуктивни грејни пријемник,отпорни грејни елемент, носач плочице
|
Погодно за индукционе или отпорне системе грејања, нудећи високу тврдоћу и отпорност на топлотни удар, продужавајући животни век компоненти за 3-5 пута. |
За детаљнија решења за усклађивање процеса, погледајтеЕпитаксија силицијум карбидомповезана страница апликације.
Подржавамо прилагођене услуге на основу захтева купаца. Прошао ИСО9001 са добром контролом квалитета.
Добродошли да нас контактирате за даље консултације или оставите поруку
