Тантал-карбид премаз

ВеТек семицондуцтор је водећи произвођач тантал карбидних премаза за индустрију полупроводника. Наша главна понуда производа укључује делове премаза од ЦВД тантал карбида, делове синтерованог ТаЦ премаза за раст кристала СиЦ или процес епитаксије полупроводника. Прошао ИСО9001, ВеТек Семицондуцтор има добру контролу квалитета. ВеТек Семицондуцтор је посвећен да постане иноватор у индустрији премаза тантал карбида кроз текуће истраживање и развој итеративних технологија.

Главни производи суВодећи прстен са премазом ТаЦ, ЦВД ТаЦ обложен прстен за вођење са три латице, Танталум Царбиде ТаЦ Цоатед Халфмоон, ЦВД ТаЦ премаз планетарни СиЦ епитаксијални сусцептор, Прстен за премазивање од тантал карбида, Порозни графит обложен тантал карбидом, ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор, Прстен од танталовог карбида, ТаЦ премаз Ротациона плоча, ТаЦ обложена вафера, ТаЦ обложен дефлектор прстен, ЦВД ТаЦ Цоатинг Цоатинг Цовер, ТаЦ Цоатед Цхуцкитд., чистоћа је испод 5ппм, може задовољити захтеве купаца.

ТаЦ премаз графит се ствара премазивањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД). Предност је приказана на слици испод:

Excellent properties of TaC coating graphite

Превлака од тантал карбида (ТаЦ) је привукла пажњу због своје високе тачке топљења до 3880°Ц, одличне механичке чврстоће, тврдоће и отпорности на термичке ударе, што га чини атрактивном алтернативом за сложене процесе епитаксије полупроводника са вишим температурним захтевима, као што је Аиктрон МОЦВД систем и ЛПЕ СиЦ процес епитаксије. Такође има широку примену у ПВТ методи процеса раста кристала СиЦ.

Кључне карактеристике:

●Температурна стабилност

●Ултра висока чистоћа

●Отпорност на Х2, НХ3, СиХ4, Си

●Отпорност на топлоту

●Јака адхезија на графит

●Конформна покривеност премаза

● Величина до пречника 750 мм (једини произвођач у Кини достиже ову величину)

Апликације:

●Носач вафла

● Индуктивни грејни пријемник

● Отпорни грејни елемент

●Сателитски диск

●Глава за туширање

●Водећи прстен

●ЛЕД Епи пријемник

●Млазница за убризгавање

●Прстен за маскирање

● Топлотни штит

Тантал карбид (ТаЦ) премаз на микроскопском попречном пресеку:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметар ВеТек Семицондуцтор Танталум Царбиде Цоатинг:

Физичка својства ТаЦ превлаке
Густина	14,3 (г/цм³)
Специфична емисивност	0.3
Коефицијент топлотног ширења	6.3 10^-6/К
Тврдоћа (ХК)	2000 ХК
Отпор	1×10^-5Охм*цм
Термичка стабилност	<2500℃
Промена величине графита	-10~-20ум
Дебљина премаза	≥20ум типична вредност (35ум±10ум)

ТаЦ премаз ЕДКС подаци：

EDX data of TaC coating

Подаци о кристалној структури превлаке ТаЦ:

Елемент	Атомски проценат
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Просечно
Ц К	52.10	57.41	52.37	53.96
Тхе М	47.90	42.59	47.63	46.04

ТаЦ Цоатинг Цхуцк ТаЦ премаз планетарни диск
ТаЦ обложена плоча ТаЦ премаз Ротациона плоча ТаЦ пријемник премаза ЦВД ТаЦ премаз Поклопац ЦВД ТаЦ прстен за премазивање ТаЦ плоча за премазивање

View as

ЦВД ТаЦ обложен графитни прстен

ЦВД ТаЦ обложен графитни прстен компаније Ветексемицон је пројектован да задовољи екстремне захтеве обраде полупроводничких плочица. Користећи технологију хемијског таложења паром (ЦВД), густ и уједначен премаз тантал карбида (ТаЦ) се наноси на графитне подлоге високе чистоће, постижући изузетну тврдоћу, отпорност на хабање и хемијску инертност. У производњи полупроводника, ЦВД ТаЦ обложен графитни прстен се широко користи у МОЦВД коморама за јеткање, дифузију и епитаксијалну раст, служећи као кључна структурна или заптивна компонента за носаче плочица, пријемнике и заштитне склопове. Радујемо се вашим даљим консултацијама.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Графитни прстен са порозним ТаЦ слојем

Порозни графитни прстен обложен ТаЦ-ом који производи ВЕТЕК користи лагану порозну графитну подлогу и обложен је премазом од тантал карбида високе чистоће, одликује се одличном отпорношћу на високе температуре, корозивне гасове и ерозију плазме

Погледај још >> Пошаљи упит >>

ТАЦ пресвучен графички водич

Наш ПАЦ-пресвучен графитни водич су прецизне основне компоненте за производњу полуводича. Они имају велику чистоћу графитску подлогу обложену превлачењем отпоран на хабање и хемијски инертну танталум Царбиде (ТАЦ). Дизајниран за захтевне процесе као што су епитаксија и јеткање плазме, они осигуравају прецизно подешавање и стабилност прецизних валица, ефикасно контролирати контаминацију и значајно проширити компонентни живот. ВетекЕктимицон нуди услуге прилагођавања да се савршено одговарају вашој опреми и захтевима процеса.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

ТАЦ пресвучен прстен за ПВТ раст СИЦ појединачног кристала

Као један од водећих добављача производа ТАЦ премаз у Кини, Семицондуцтор Ветек је у могућности да купцима пружи висококвалитетну прилагођену делове ТАЦ прекривене. ТАЦ пресвучен прстен за ПВТ раст СИЦ појединачног кристала један је од најистакнутијих и зрелих производа Ветек полуводиче. Игра важну улогу у расту ПВТ раста поступка СИЦ-а и може помоћи купцима да узгају висококвалитетне СИЦ кристале. Радујемо се вашем упиту.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

ЦВД ТАЦ пресвучен три-петални водич

Семицондуктор Ветек је доживео вишегодишњу технолошку развоја и савладао је водећу процесу технологије ЦВД ТАЦ премаза. ЦВД ТАЦ пресвучен Тро-Петални водич је један од најнезграничних ЦВД ТАЦ-ових производа ТАЦ-а и је важна компонента за припрему кристала на ПВТ методу. Помоћу полуводича ВЕТЕК-а, верујем да ће ваша производња СИЦ-а кристала бити глађа и ефикаснија.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Прстен за превлачење карбида танталум

Семицондуцтор ВетекДундуцтор Танталум Царбиде Прстен је неопходна компонента у индустрији полуводича, посебно у јеткању сичких вафера. Његова комбинација графитне базе и ТАЦ премаза осигурава врхунске перформансе на високом температуру и хемијски агресивним окружењима. Својим унапређеним топлотним стабилношћу, отпорношћу на корозију и механичкој снази, прстен премазани карбида Тантем помаже произвођачима полуводича да постигну прецизност, поузданост и квалитетне резултате у својим производним процесима.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Као професионалац Тантал-карбид премаз произвођач и добављач у Кини, имамо сопствену фабрику. Без обзира да ли су вам потребне прилагођене услуге да бисте испунили специфичне потребе вашег региона или желите да купите напредне и издржљиве Тантал-карбид премаз направљене у Кини, можете нас оставити порука.

КР код

О нама

Производи

Контактирајте нас

Телефон
+86-15988690905
Фак
+86-579-87223657
Е-маил
anny@veteksemi.com
Адреса
Вангда Роад, Зиианг Стреет, Вуии Цоунти, Јинхуа Цити, Зхејианг Провинце, Кина

Веб Мену

Претрага производа

Језик

Изађи из менија

Тантал-карбид премаз

Кључне карактеристике:

Апликације:

Тантал карбид (ТаЦ) премаз на микроскопском попречном пресеку:

Параметар ВеТек Семицондуцтор Танталум Царбиде Цоатинг:

ТаЦ премаз ЕДКС подаци：

Подаци о кристалној структури превлаке ТаЦ:

ЦВД ТаЦ обложен графитни прстен

Графитни прстен са порозним ТаЦ слојем

ТАЦ пресвучен графички водич

ТАЦ пресвучен прстен за ПВТ раст СИЦ појединачног кристала

ЦВД ТАЦ пресвучен три-петални водич

Прстен за превлачење карбида танталум

Пошаљи упит

КР код

О нама

Производи

Контактирајте нас

Телефон

Фак

Е-маил

Адреса