ВеТек семицондуцтор је водећи произвођач тантал карбидних премаза за индустрију полупроводника. Наша главна понуда производа укључује делове премаза од ЦВД тантал карбида, делове синтерованог ТаЦ премаза за раст кристала СиЦ или процес епитаксије полупроводника. Прошао ИСО9001, ВеТек Семицондуцтор има добру контролу квалитета. ВеТек Семицондуцтор је посвећен да постане иноватор у индустрији премаза тантал карбида кроз текуће истраживање и развој итеративних технологија.
Главни производи суВодећи прстен са премазом ТаЦ, ЦВД ТаЦ обложен прстен за вођење са три латице, Танталум Царбиде ТаЦ Цоатед Халфмоон, ЦВД ТаЦ премаз планетарни СиЦ епитаксијални сусцептор, Прстен за премазивање од тантал карбида, Порозни графит обложен тантал карбидом, ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор, Прстен од танталовог карбида, ТаЦ премаз Ротациона плоча, ТаЦ обложена вафера, ТаЦ обложен дефлектор прстен, ЦВД ТаЦ Цоатинг Цоатинг Цовер, ТаЦ Цоатед Цхуцкитд., чистоћа је испод 5ппм, може задовољити захтеве купаца.
ТаЦ премаз графит се ствара премазивањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД). Предност је приказана на слици испод:
Превлака од тантал карбида (ТаЦ) је привукла пажњу због своје високе тачке топљења до 3880°Ц, одличне механичке чврстоће, тврдоће и отпорности на термичке ударе, што га чини атрактивном алтернативом за сложене процесе епитаксије полупроводника са вишим температурним захтевима, као што је Аиктрон МОЦВД систем и ЛПЕ СиЦ процес епитаксије. Такође има широку примену у ПВТ методи процеса раста кристала СиЦ.
Кључне карактеристике:
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистоћа
●Отпорност на Х2, НХ3, СиХ4, Си
●Отпорност на топлоту
●Јака адхезија на графит
●Конформна покривеност премаза
● Величина до пречника 750 мм (једини произвођач у Кини достиже ову величину)
Апликације:
●Носач вафла
● Индуктивни грејни пријемник
● Отпорни грејни елемент
●Сателитски диск
●Глава за туширање
●Водећи прстен
●ЛЕД Епи пријемник
●Млазница за убризгавање
●Прстен за маскирање
● Топлотни штит
Тантал карбид (ТаЦ) премаз на микроскопском попречном пресеку:
Параметар ВеТек Семицондуцтор Танталум Царбиде Цоатинг:
|
Физичка својства ТаЦ превлаке
|
|
Густина
|
14,3 (г/цм³)
|
|
Специфична емисивност
|
0.3
|
|
Коефицијент топлотног ширења
|
6.3 10-6/К
|
|
Тврдоћа (ХК)
|
2000 ХК
|
|
Отпор
|
1×10-5Охм*цм
|
|
Термичка стабилност
|
<2500℃
|
|
Промена величине графита
|
-10~-20ум
|
|
Дебљина премаза
|
≥20ум типична вредност (35ум±10ум)
|
ТаЦ премаз ЕДКС подаци：
Подаци о кристалној структури превлаке ТаЦ:
|
Елемент
|
Атомски проценат
|
|
|
Пт. 1
|
Пт. 2
|
Пт. 3
|
Просечно
|
|
Ц К
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
Тхе М
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
