Керамика од силицијум карбида

ВеТек Семицондуцтор је ваш иновативни партнер у области обраде полупроводника. Са нашим широким портфељем комбинација материјала силицијум карбидне керамике за полупроводнике, могућностима производње компоненти и услугама инжењеринга апликација, можемо вам помоћи да превазиђете значајне изазове. Инжењерско техничка керамика од силицијум карбида има широку примену у индустрији полупроводника због својих изузетних перформанси материјала. ВеТек Семицондуцтор-ова ултра чиста силицијум карбидна керамика се често користи током читавог циклуса производње и обраде полупроводника.

ДИФУЗИЈА И ЛПЦВД ОБРАДА

ВеТек Семицондуцтор обезбеђује пројектоване керамичке компоненте посебно дизајниране за серијску дифузију и ЛПЦВД захтеве укључујући:

• Преграде и држачи
• Ињектори
• Облоге и процесне цеви
• Конзола од силицијум карбида
• чамци и постоља

СиЦ конзолно весло СиЦ процесне цеви Процесна цев од силицијум карбида СиЦ вертикални чамац за плочице СиЦ хоризонтални чамац СиЦ хоризонтали куаре вафер боат СиЦ ЛПЦВД чамац за плочице СиЦ чамац са хоризонталним плочама СиЦ керамички заптивни прстен

КОМПОНЕНТЕ ПРОЦЕСА ЕТЦХ

Минимизирајте контаминацију и непланирано одржавање са компонентама високе чистоће пројектованим за строгу обраду плазма нагризања, укључујући:

Фокусни прстенови

Млазнице

Штитови

Сховерхеадс

Прозори / поклопци

Друге прилагођене компоненте

БРЗА ТЕРМИЧКА ОБРАДА И КОМПОНЕНТЕ ЕПИТАКСИЈАЛНОГ ПРОЦЕСА

ВеТек Семицондуцтор обезбеђује напредне материјалне компоненте прилагођене за апликације термичке обраде на високим температурама у индустрији полупроводника. Ове апликације обухватају РТП, Епи процесе, дифузију, оксидацију и жарење. Наша техничка керамика је дизајнирана да издржи топлотне ударе, пружајући поуздане и доследне перформансе. Са компонентама ВеТек Семицондуцтор-а, произвођачи полупроводника могу постићи ефикасну и висококвалитетну термичку обраду, доприносећи укупном успеху производње полупроводника.

• Дифузори

• Изолатори

• Сусцептори

• Друге прилагођене термичке компоненте

Физичка својства рекристализованог силицијум карбида
Имовина	Типична вредност
Радна температура (°Ц)	1600°Ц (са кисеоником), 1700°Ц (редуцирајућа средина)
Садржај СиЦ / СиЦ	> 99,96%
Си / Фрее Си садржај	< 0,1%
Насипна густина	2,60-2,70 г/цм3
Привидна порозност	< 16%
Снага компресије	> 600 МПа
Чврстоћа на хладно савијање	80-90 МПа (20°Ц)
Чврстоћа на топло савијање	90-100 МПа (1400°Ц)
Топлотна експанзија @1500°Ц	4,70 10-6/°Ц
Топлотна проводљивост @1200°Ц	23 В/м•К
Модул еластичности	240 ГПа
Отпорност на топлотни удар	Изузетно добро

View as

Силицијум карбида (Сиц) Цантилевер весло

Улога конзолне лопатице од силицијум карбида (СиЦ) у индустрији полупроводника је да подржава и транспортује плочице. У високотемпературним процесима као што су дифузија и оксидација, СиЦ конзолно весло може стабилно да носи чамце и плочице без деформација или оштећења услед високе температуре, обезбеђујући несметан напредак процеса. Уједначавање дифузије, оксидације и других процеса је кључно за побољшање конзистенције и приноса обраде вафла. ВеТек Семицондуцтор користи напредну технологију за израду СиЦ конзолне лопатице са силицијум карбидом високе чистоће како би осигурао да плочице неће бити контаминиране. ВеТек Семицондуцтор се радује дугорочној сарадњи са вама на производима Цантилевер Паддле од силицијум карбида (СиЦ).

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Кварцни лош

Семицондуктор Ветека је водећи кварцни трупни добављач и произвођач у Кини. Кварцни распели које производимо углавном се користе у полуводичкој и фотонапонским пољима. Имају својства чистоће и отпорност на високу температуру. А наш кварцни лонац за полуводичу подржавају производне процесе повлачења силицијумског штапа, утовара и истовара полисиликонских сировина у производном процесу производње семицондуцтор силицијума, а кључни су потрошни материјал за производњу силицијума. Семицондуктор Ветек је радује се вашем дугорочном партнеру у Кини.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Носач плочице од силицијум карбида

Као професионални добављач превозника силицијумског карбида у Кини, носач ВЕТЕК Полуцондуцтор Сиц Вафер је алат посебно који се користи за руковање и обрађивање полуводичких вафера, који игра незамјењујућу улогу у поступку полуводичке вафла. Добродошли на ваше даље консултације.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Силиконско постоље

Ветек Семицондуцтор Силицон Педестал је кључна компонента у дифузији полуводича и оксидационих процеса. Као наменска платформа за ношење силицијумних чамца у високим температурама, силиконски постопис има много јединствених предности, укључујући побољшану температуру уједначеност, оптимизовани квалитет резета и побољшане перформансе полуводичких уређаја. За више информација о производу слободно нас контактирајте.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Прстен за бртвљење сиц керамиком

Као фабрика великог обима и добављач прстенастих производа за бртвљење сиц керамичким заптивачем у Кини, ВЕТЕК полуводички прстен за бртвљење СИЦ има широк спектар апликација у индустријском пољу због своје одличне топлотне проводљивости, изванредне хемијске и корозијске отпорности и високе снаге и чврстоће и крутости. Добродошли на ваше даље упите.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

СИЦ дифузијска цев пећи

Као водећи произвођач и добављач опреме за дифузију у Кини, Ветек полуводичка цев за дифузију пећи, има значајно високу чврстоћу савијања, одлична отпорност на оксидацију, отпорност на корозију, високу отпорност на хабање и одлична механичка својства високог температуре. Што га чини неопходним материјалима опреме у апликацијама за дифузијске пећи. Семицондуктор Ветекузе је посвећен производњи и снабдевању висококвалитетној дифузијске цеви СИЦ дифузије и поздравља ваше даље упите.

Погледај још >> Пошаљи упит >>

Као професионалац Керамика од силицијум карбида произвођач и добављач у Кини, имамо сопствену фабрику. Без обзира да ли су вам потребне прилагођене услуге да бисте испунили специфичне потребе вашег региона или желите да купите напредне и издржљиве Керамика од силицијум карбида направљене у Кини, можете нас оставити порука.

КР код

О нама

Производи

Контактирајте нас

Телефон
+86-18069220752
Фак
+86-579-87223657
Е-маил
anny@veteksemi.com
Адреса
Вангда Роад, Стреет Зијанг, округ Вуии, Град Јинхуа, провинција Зхејианг, Кина

Веб Мену

Претрага производа

Језик

Изађи из менија

Керамика од силицијум карбида

ДИФУЗИЈА И ЛПЦВД ОБРАДА

КОМПОНЕНТЕ ПРОЦЕСА ЕТЦХ

БРЗА ТЕРМИЧКА ОБРАДА И КОМПОНЕНТЕ ЕПИТАКСИЈАЛНОГ ПРОЦЕСА

Силицијум карбида (Сиц) Цантилевер весло

Кварцни лош

Носач плочице од силицијум карбида

Силиконско постоље

Прстен за бртвљење сиц керамиком

СИЦ дифузијска цев пећи

Пошаљи упит

КР код

О нама

Производи

Контактирајте нас

Телефон

Фак

Е-маил

Адреса