ЦВД силицијум карбид(СиЦ) обложен РТП пријемник

Карактеристике

• Тхерма Уједначеност - Висока термичка својства материјала дифузивност омогућава брз, просторно уједначен пренос топлоте, подржавајући поновљиве температурне профиле плочице.
• Висок ниво чистоће – ЦВД СиЦ премаз постиже чистоћу од 99,99995%, ефикасно смањујући ризик од контаминације мобилним јонима и металом у критичним корацима процеса.
• Хемијска издржљивост – Премаз показује јаку отпорност на корозивне врсте, укључујући гасове на бази халогена, под повишеним температурама. Продужени сервисни интервали – Побољшана отпорност на оксидацију и хабање доводи до мање замена и смањеног времена застоја алата.
• Флексибилност дизајна – Димензије и конфигурације се могу прилагодити тако да одговарају специфичним геометријама РТП коморе и величинама плочице.

Апликације

• Брза термичка обрада (РТП)
• Брзо термичко жарење (РТА)
• Активација допанта Кораци оксидације и жарења
• Производња интегрисаног кола (ИЦ).
• Израда енергетских уређајаТехничка
  
  

Спецификације

Зашто одабрати ВеТек Семицондуцтор?

• Ин-хоусе ЦВД СиЦ процес премазивања развијен посебно за захтеве за полупроводнике.
• Интегрисане могућности за пречишћавање графита, прецизну машинску обраду и контролу дебљине премаза.
• Доказана адхезија премаза и уједначеност слоја у серијској производњи.
• Инжењерска подршка за прилагођене дизајне носача компатибилних са главним платформама РТП алата.
• Ригорозна инспекција улазног материјала, праћење у току процеса и коначно квалификационо тестирање осигуравају конзистентност од серије до серије.