Вакуумска врућа пресована пећ за спајање кристала силицијум карбида

Технологија везивања СиЦ семена је један од кључних процеса који утичураст кристала.ВЕТЕК је развио специјализованувакуум пећ за вруће пресовањеза везивање семена на основу карактеристика овог процеса. Пећ може ефикасно да смањи различите дефекте настале током процеса везивања семена, чиме се побољшава принос и коначни квалитет кристалног ингота.

Увести

1. Пећ се користи за везивање семена преРаст кристала СиЦ

2. Везано семе може остати чврсто причвршћено на температури од 2300℃, одржавајући 100% пријањање без мехурића ваздуха, са високом равношћу, чистом површином семена и без адсорбованих нечистоћа

3. Загрејана плоча је усвојена отпорност на загревање спиралног диска, уједначена зона грејања, савет је за употребу, једноставан за руковање

4. Дно плоче за оптерећење опремљено сензорима силе, сила притиска на радни комад да буде прецизно приказана 

Функција Увод

1. Водом хлађена метална комора двоструког зида ефикасно смањује температуру спољашње површине тела пећи, минимизира штету од високе температуре и смањује утицај на животну средину.

2. Може постићи аутоматско повећање силе притиска и држања силе, спору силу оптерећења и померање се може аутоматски контролисати.

3. Доступне су различите конфигурације вакуума, а различити нивои вакуума се могу одабрати у складу са процесом.

4.Јединствен притисак и тачност контроле високе температуре.

5. Структура потисне силе усваја прецизан дизајн механичког потиска, осигуравајући тачну и стабилну силу притиска, безбедну употребу и еколошку прихватљивост.

6. Доњи печат је повезан са потисном шипком на "универзални" начин. Осигурава се када је радни комад потиснут, да је површина доњег печата под адаптивном паралелом са површином загрејане плоче, осигуравајући да радни предмет носи уједначену силу притиска.

7. Доњи печат има функцију пуферовања силе притиска, обезбеђујући глатку и меку силу притиска без удара, чиме се спречава пуцање радног комада.

9. И загрејана плоча и печат потисне силе су опремљени термоизолационим штитом за смањење неефикасног губитка температуре.

Параметар

Феатуре

1.Споро вакуумско пумпање, брзина вакуумског пумпања подесива

2. Велика комора, велики простор за надоградњу

3. Доњи печат ради стабилно и ради аутоматски

4. Споро растерећење потисне силе и споро повећање, рампа потисне силе према аутоматској контроли према рецепту

5. Прецизно програмирана контрола температуре и потисне силе

6. Параметри вакуума, потисне силе и температуре могу се слободно подесити да одговарају различитим процесима везивања

7. Везивање је компактно и без мехурића

8. Стопа пукотина је изузетно ниска, готово да нема пукотина узрокованих проблемима са опремом

9. Компатибилан са везивањем семена од 6-12 инча

10.Макс. сила потиска: 1,6 Т

11. Крајњи вакуум: 5 Па (хладно)

12. Уједначеност температуре загрејане плоче: <±3℃,σ<4(200℃)

13. Флуктуација притиска: <0,5%