КР код

О нама
Производи
Контактирајте нас
Телефон
Фак
+86-579-87223657
Е-маил
Адреса
Вангда Роад, Стреет Зијанг, округ Вуии, Град Јинхуа, провинција Зхејианг, Кина
ВеТек Семицондуцтор је ваш иновативни партнер у области обраде полупроводника. Са нашим широким портфељем комбинација материјала силицијум карбидне керамике за полупроводнике, могућностима производње компоненти и услугама инжењеринга апликација, можемо вам помоћи да превазиђете значајне изазове. Инжењерско техничка керамика од силицијум карбида има широку примену у индустрији полупроводника због својих изузетних перформанси материјала. ВеТек Семицондуцтор-ова ултра чиста силицијум карбидна керамика се често користи током читавог циклуса производње и обраде полупроводника.
ВеТек Семицондуцтор обезбеђује пројектоване керамичке компоненте посебно дизајниране за серијску дифузију и ЛПЦВД захтеве укључујући:
• Преграде и држачи
• Ињектори
• Облоге и процесне цеви
• Конзола од силицијум карбида
• чамци и постоља
СиЦ конзолно весло
СиЦ процесне цеви
Процесна цев од силицијум карбида
СиЦ вертикални чамац за плочице
СиЦ хоризонтални чамац
СиЦ хоризонтали куаре вафер боат
СиЦ ЛПЦВД чамац за плочице
СиЦ чамац са хоризонталним плочама
СиЦ керамички заптивни прстен
Минимизирајте контаминацију и непланирано одржавање са компонентама високе чистоће пројектованим за строгу обраду плазма нагризања, укључујући:
Фокусни прстенови
Млазнице
Штитови
Сховерхеадс
Прозори / поклопци
Друге прилагођене компоненте
ВеТек Семицондуцтор обезбеђује напредне материјалне компоненте прилагођене за апликације термичке обраде на високим температурама у индустрији полупроводника. Ове апликације обухватају РТП, Епи процесе, дифузију, оксидацију и жарење. Наша техничка керамика је дизајнирана да издржи топлотне ударе, пружајући поуздане и доследне перформансе. Са компонентама ВеТек Семицондуцтор-а, произвођачи полупроводника могу постићи ефикасну и висококвалитетну термичку обраду, доприносећи укупном успеху производње полупроводника.
• Дифузори
• Изолатори
• Сусцептори
• Друге прилагођене термичке компоненте
Физичка својства рекристализованог силицијум карбида | |
Имовина | Типична вредност |
Радна температура (°Ц) | 1600°Ц (са кисеоником), 1700°Ц (редуцирајућа средина) |
Садржај СиЦ / СиЦ | > 99,96% |
Си / Фрее Си садржај | < 0,1% |
Насипна густина | 2,60-2,70 г/цм3 |
Привидна порозност | < 16% |
Снага компресије | > 600 МПа |
Чврстоћа на хладно савијање | 80-90 МПа (20°Ц) |
Чврстоћа на топло савијање | 90-100 МПа (1400°Ц) |
Топлотна експанзија @1500°Ц | 4,70 10-6/°Ц |
Топлотна проводљивост @1200°Ц | 23 В/м•К |
Модул еластичности | 240 ГПа |
Отпорност на топлотни удар | Изузетно добро |
+86-579-87223657
Вангда Роад, Стреет Зијанг, округ Вуии, Град Јинхуа, провинција Зхејианг, Кина
Цопиригхт © 2024 Ветек Семицондуцтор Тецхнологи Цо, Лтд. Сва права задржана.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |