Производи

Керамика од силицијум карбида

ВеТек Семицондуцтор је ваш иновативни партнер у области обраде полупроводника. Са нашим широким портфељем комбинација материјала силицијум карбидне керамике за полупроводнике, могућностима производње компоненти и услугама инжењеринга апликација, можемо вам помоћи да превазиђете значајне изазове. Инжењерско техничка керамика од силицијум карбида има широку примену у индустрији полупроводника због својих изузетних перформанси материјала. ВеТек Семицондуцтор-ова ултра чиста силицијум карбидна керамика се често користи током читавог циклуса производње и обраде полупроводника.


ДИФУЗИЈА И ЛПЦВД ОБРАДА

ВеТек Семицондуцтор обезбеђује пројектоване керамичке компоненте посебно дизајниране за серијску дифузију и ЛПЦВД захтеве укључујући:

• Преграде и држачи
• Ињектори
• Облоге и процесне цеви
• Конзола од силицијум карбида
• чамци и постоља


КОМПОНЕНТЕ ПРОЦЕСА ЕТЦХ

Минимизирајте контаминацију и непланирано одржавање са компонентама високе чистоће пројектованим за строгу обраду плазма нагризања, укључујући:

Фокусни прстенови

Млазнице

Штитови

Сховерхеадс

Прозори / поклопци

Друге прилагођене компоненте


БРЗА ТЕРМИЧКА ОБРАДА И КОМПОНЕНТЕ ЕПИТАКСИЈАЛНОГ ПРОЦЕСА

ВеТек Семицондуцтор обезбеђује напредне материјалне компоненте прилагођене за апликације термичке обраде на високим температурама у индустрији полупроводника. Ове апликације обухватају РТП, Епи процесе, дифузију, оксидацију и жарење. Наша техничка керамика је дизајнирана да издржи топлотне ударе, пружајући поуздане и доследне перформансе. Са компонентама ВеТек Семицондуцтор-а, произвођачи полупроводника могу постићи ефикасну и висококвалитетну термичку обраду, доприносећи укупном успеху производње полупроводника.

• Дифузори

• Изолатори

• Сусцептори

• Друге прилагођене термичке компоненте


Физичка својства рекристализованог силицијум карбида
Имовина Типична вредност
Радна температура (°Ц) 1600°Ц (са кисеоником), 1700°Ц (редуцирајућа средина)
Садржај СиЦ / СиЦ > 99,96%
Си / Фрее Си садржај < 0,1%
Насипна густина 2,60-2,70 г/цм3
Привидна порозност < 16%
Снага компресије > 600 МПа
Чврстоћа на хладно савијање 80-90 МПа (20°Ц)
Чврстоћа на топло савијање 90-100 МПа (1400°Ц)
Топлотна експанзија @1500°Ц 4,70 10-6/°Ц
Топлотна проводљивост @1200°Ц 23  В/м•К
Модул еластичности 240 ГПа
Отпорност на топлотни удар Изузетно добро


View as  
 
Носач за шим чистоће Сиц

Носач за шим чистоће Сиц

Семицондуцтор Ветек нуди прилагођени носач чамца високе чистоће СИЦ. Направљен од високог чистоће силицијум карбида, садржи прорезе да држе вафли на месту, спречавајући га да клизне током обраде. ЦВД СИЦ премаз је такође доступан ако је потребно. Као професионални и снажни произвођач и добављач полуводича, висока чистоће од вожња ветеком, погонским чистоћима је цени конкурентна и висока квалитета. Семицондуктор Ветек се радује вашем дугорочном партнеру у Кини.
Весло са високим чистоћима Сиц Цантилевер

Весло са високим чистоћима Сиц Цантилевер

Семицондуцтор Ветек је водећи произвођач и добављач веслача Сиц СИЦ Цантилевер у Кини. Веслачи са високим чистоћима СИЦ Цантилевер се обично користе у полуводичким дифузијским пећима као преношење или платформе за утовар или утоваривачи.
Вертикални чамац и петестал колоне

Вертикални чамац и петестал колоне

Вертикални колон вертикалног колона Ветека је направљен од високо-чистоће кварцно или силицијумним карбонским керамичким (СИЦ) материјалима, са одличним отпором на високом температуру, хемијској стабилности и механичкој чврстоће и неопходна је основна компонента у процесу производње полуводича. Добродошли на ваше даље консултације.
Брод са границом

Брод са границом

Ветек Полуцондуцтор Цонситеуд Вафер Боат је напредна опрема за обраду полуводича. Структура производа је пажљиво дизајнирана тако да обезбеди ефикасну обраду и производњу прецизних вафла. ВетеКСЕМИ подржава прилагођена решења производа и радује се вашој консултацији.
Силицијум на изолатору

Силицијум на изолатору

Семицондуктор Ветек је професионални кинески произвођач силицијума на изолатору. Силицијум на изолатору Ваффе је важан материјал за подлоге полуводича, а његова одлична карактеристика производа чине да игра кључну улогу у високим перформансама, ниским, високим интеграцијама и РФ апликацијама. Радујем се вашим консултацијама.
Хоризонтални СиЦ носач вафла

Хоризонтални СиЦ носач вафла

ВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач и добављач водећег прстена обложеног ТаЦ-ом, хоризонталног носача СиЦ плочице и СиЦ обложених носача у Кини. Посвећени смо пружању савршене техничке подршке и врхунских решења производа за индустрију полупроводника. Добродошли да нас контактирате.
Као професионалац Керамика од силицијум карбида произвођач и добављач у Кини, имамо сопствену фабрику. Без обзира да ли су вам потребне прилагођене услуге да бисте испунили специфичне потребе вашег региона или желите да купите напредне и издржљиве Керамика од силицијум карбида направљене у Кини, можете нас оставити порука.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept