Фокус прстен од силицијум карбида

Опште информације о производу

Услови пословања производа

Апликација: У полупроводничким процесима сувог јеткања, фокусни прстен је кључна компонента која обезбеђује униформност процеса. Чврсто окружује плочицу и, прецизно контролишући дистрибуцију плазме на ивицама плочице, директно одређује уједначеност и конзистентност процеса нагризања, чинећи га незаменљивим делом гарантовања приноса чипова.

Услуге које се могу пружити: анализа сценарија апликације корисника, упаривање материјала, техничко решавање проблема.

Профил компаније: Ветексемицон има 2 лабораторије, тим стручњака са 20 година искуства у материјалима, са могућностима истраживања и развоја, производње, тестирања и верификације.

Тецхницал Параметерс

Предности језгра Ветексемицон фокусног прстена

1. Изузетна наука о материјалима, рођена за тешка окружења

Наш одабрани материјал од силицијум карбида високе чистоће и високе густине може лако да издржи интензивно бомбардовање плазмом и хемијску гасну корозију која садржи флуор током процеса нагризања СиЦ. Његова одлична отпорност на корозију директно се преводи у дужи радни век и нижу учесталост замене компоненти, не само да смањује време застоја опреме, већ и значајно смањује ризик од контаминације честицама узрокованих хабањем компоненти, пружајући вам дугорочну и стабилну свеобухватну исплативост.

2. Прецизан инжењерски дизајн обезбеђује конзистентан процес

Сваки Ветексемицон фокусни прстен се подвргава ултра-прецизној ЦНЦ машинској обради како би се осигурало да кључне димензије као што су равност, унутрашњи пречник и висина корака постижу тачност на нивоу микрона, обезбеђујући савршено подударање са произвођачем оригиналне опреме (ОЕМ). Наш инжењерски тим даље оптимизује профил користећи симулацију плазме. Овај дизајн ефикасно усмерава електрично поље, смањујући абнормално нагризање на ивицама плочице и на тај начин контролишући униформност нагризања целе плочице до екстремног нивоа.

3. Поуздане перформансе побољшавају ефикасност производње

У захтевним окружењима масовне производње остварује се пуна вредност наших производа. Обезбеђивањем концентрисане и стабилне дистрибуције плазме, Ветексемицон фокусни прстен директно доприноси побољшаној униформности брзине нагризања и оптимизованој поновљивости процеса од серије до серије. То значи да ваша производна линија може доследно да испоручује производе високог приноса, док такође има користи од дужих циклуса одржавања, ефективно смањујући трошкове потрошног материјала по плочици и дајући вам значајну конкурентску предност.

4. Потврда верификације еколошког ланца

Верификација еколошког ланца Ветексемицон фоцус ринг-а покрива сировине до производње, прошла је сертификат међународног стандарда и има низ патентираних технологија које осигуравају његову поузданост и одрживост у областима полупроводника и нових енергија.

За детаљне техничке спецификације, беле књиге или аранжмане за тестирање узорака, контактирајте наш тим за техничку подршку да бисте истражили како Ветексемицон може побољшати ефикасност вашег процеса.

Ветексемицон продавница производа