Порозни тантал карбид: Нова генерација материјала за раст кристала СиЦ

Са постепеном масовном производњом проводних СиЦ подлога, постављају се већи захтеви за стабилност и поновљивост процеса. Конкретно, контрола дефеката, незнатна подешавања или померања у термичком пољу у пећи ће довести до промена у кристалу или повећања дефеката.

У каснијој фази ћемо се суочити са изазовом "Расте брже, дебље и дуже". Поред побољшања теорије и инжењеринга, потребни су напреднији топлотни материјали као подршка. Користите напредне материјале за узгајање напредних кристала.

Неправилна употреба материјала као што су графит, порозни графит и прах тантал карбида у лончићу у термичком пољу довешће до дефеката као што су повећане инклузије угљеника. Поред тога, у неким применама, пропустљивост порозног графита није довољна, и потребно је отворити додатне рупе да би се повећала пропустљивост. Порозни графит са високом пропусношћу суочава се са изазовима као што су обрада, губитак праха и јеткање.

Недавно је ВеТек Семицондуцтор лансирао нову генерацију материјала термичког поља за раст кристала СиЦ,порозни тантал карбид, по први пут у свету.

Тантем Царбиде има велику чврстоћу и тврдоћу и још је изазовније да то учини порозним. Још је изазовније да се порозни карбид танталума пуне великом порозном и великом чистоћом. Семицондуктор Ветек је покренуо пробој порозног карбида танталума са великом порозном,са максималном порозношћу од 75%, достижући међународни водећи ниво.

Поред тога, може се користити за филтрирање компоненте гаса, прилагођавање локалних градијената температуре, водећих смера протока материјала, контролу цурења итд.; Може се комбиновати са другим чврстим танталомским карбидом (густом) или танталом карбидном премазом се полуводичког полуводича да формира компоненте са различитим перформансима локалног протока; Неке компоненте се могу поново користити.

Технички параметри

Порозност ≤75% Међународно водеће

Облик: пахуљица, цилиндрична Међународна водећи

Уједначена порозност

ВеТек полупроводник Порозни тантал карбид (ТаЦ) има следеће карактеристике производа

● Порозност за свестране апликације

Порозна структура ТаЦ-а пружа мултифункционалност, омогућавајући његову употребу у специјализованим сценаријима као што су:

Дифузија гаса: Олакшава прецизну контролу протока гаса у полупроводничким процесима.

Филтрација: Идеално за окружења која захтевају одвајање честица високих перформанси.

Контролисано одвођење топлоте: Ефикасно управља топлотом у системима високих температура, унапређивање укупне топлотне регулације.

●   Екстремна отпорност на високе температуре

Са тачком топљења отприлике 3,880 ° Ц, танталум карбид одликује у ултра-температурним апликацијама. Ова изузетна отпорност топлоте осигурава доследне перформансе у условима у којима већина материјала не успе.

●   Врхунска тврдоћа и издржљивост

Рангирање 9-10 на скали ММС Тврдоћа, слично дијамантском, Пороус ТАЦ показује неуспоредиво отпорност на механичко хабање, чак и под екстремним стресом. Ова издржљивост чини га идеалним за апликације које су изложене абразивном окружењу.

●   Изузетна термичка стабилност

Тантал карбид задржава свој структурни интегритет и перформансе на екстремним врућинама. Његова изузетна термичка стабилност осигурава поуздан рад у индустријама које захтевају конзистентност на високим температурама, као што су производња полупроводника и ваздухопловство.

●   Одлична топлотна проводљивост

Упркос својој порозној природи, Пороус ТаЦ одржава ефикасан пренос топлоте, омогућавајући његову употребу у системима где је брзо одвођење топлоте критично. Ова карактеристика побољшава применљивост материјала у процесима који захтевају топлоту.

●   Ниска термичка експанзија за стабилност димензија

Са ниским коефицијентом топлотног ширења, тантал карбид је отпоран на промене димензија изазване температурним флуктуацијама. Ово својство минимизира топлотни стрес, продужава животни век компоненти и одржава прецизност у критичним системима.

У производњи полуводича, порозни танталум карбид (ТАЦ) игра следеће специфичне кључне улоге

● У процесима високих температура као што су ЕТЦХИНГ ПЛАСМА и ЦВД, Ветек полуводич порозна танталум карбида често се користи као заштитни премаз за прераду опреме. То је због снажне отпорности на корозију ТАЦ премаза и његове стабилности високог температура. Ова својства осигуравају да ефикасно штити површине изложене реактивним гасовима или екстремним температурама, чиме се обезбеђују нормална реакција процеса високих температура.

●  У процесима дифузије, порозни тантал карбид може да послужи као ефикасна дифузиона баријера која спречава мешање материјала у процесима на високим температурама. Ова карактеристика се често користи за контролу дифузије додатака у процесима као што су имплантација јона и контрола чистоће полупроводничких плочица.

● Порозна структура ветекова полуводича Порозног танталума Царбиде је веома погодна за окружење за обраду полуводича за које је потребно прецизно управљање или филтрацију протока гаса. У овом процесу Пороус ТАЦ углавном игра улогу филтрације и дистрибуције гаса. Његова хемијска инертност осигурава да се током процеса филтрације не уносе никакав контаминант. То ефикасно гарантује чистоћу обрађеног производа.

О полуводичкој компензацији

Као кинески професионални произвођач порозног тантал карбида, добављач, фабрика, имамо сопствену фабрику. Било да су вам потребне прилагођене услуге да бисте задовољили специфичне потребе вашег региона или желите да купите напредан и издржљив порозни тантал карбид произведен у Кини, можете нам оставити поруку.

Ако имате било каквих питања или су вам потребни додатни детаљи оПорозни тантал карбид、Порозни графит обложен тантал карбидоми другоКомпоненте обложене танталум карбидом, Молим вас, не устручавајте се да ступите у контакт са нама.

☏☏☏Моб / Вхатсапп: + 86-180 6922 0752

☏☏☏Емаил: анни@ветексеми.цом