Порозни графит обложен тантал карбидом

ВеТек полупроводнички порозни графит обложен тантал карбидом постао је кристал силицијум карбида (СиЦ) због своје отпорности на супер високе температуре (тачка топљења око 3880°Ц), одличне термичке стабилности, механичке чврстоће и хемијске инертности у окружењима са високим температурама. Неопходан материјал у процесу раста. Посебно, његова порозна структура пружа многе техничке предности заПроцес раста кристала. 

У наставку следи детаљна анализаТанталум Царбиде обложени порозни графитглавна улога:

● Побољшати ефикасност протока гаса и тачне параметре процеса контроле

Микропорозна структура порозног графита може да унапреди равномерну дистрибуцију реакционих гасова (као што су гас карбида и азота), чиме се оптимизује атмосфера у реакционој зони. Ова карактеристика може ефикасно да избегне проблеме локалног акумулације гаса или турбуленције, обезбеди да су кристали СиЦ равномерно оптерећени током процеса раста, а стопа дефекта је знатно смањена. У исто време, порозна структура такође омогућава прецизно подешавање градијената притиска гаса, додатно оптимизујући стопе раста кристала и побољшавајући конзистентност производа.

●  Смањите акумулацију топлотног стреса и побољшати интегритет кристала

У операцијама на високим температурама, еластична својства порозног тантал карбида (ТаЦ) значајно ублажавају концентрације термичког напрезања узроковане температурним разликама. Ова способност је посебно важна када се узгајају СиЦ кристали, смањујући ризик од формирања термичких пукотина, чиме се побољшава интегритет кристалне структуре и стабилност обраде.

●  Оптимизирајте дистрибуцију топлоте и побољшати ефикасност коришћења енергије

Танталум карбидни премаз не само да даје порозну графитну већу топлотну проводљивост, већ и њене порозне карактеристике могу равномерно распоредити топлоту, осигуравајући високо досебну расподелу температуре унутар реакционог подручја. Ово једнолично топлотно управљање је основно стање за производњу сичког кристала високог чистоће. Такође може значајно побољшати ефикасност грејања, смањити потрошњу енергије и да производ производње учини економичнијим и ефикаснијим.

●  Повећајте отпорност на корозију и продужите животни век компоненти

Гасови и нуспроизводи у окружењу на високом температуру (као што су парна паре водоника или силицијума карбида) могу проузроковати озбиљне корозије на материјале. ТАЦ премаз пружа одличну хемијску баријеру порозном графиту, значајно смањујући стопу корозије компоненте, чиме је продужавајући свој радни век. Поред тога, премаз осигурава дугорочну стабилност порозне структуре, осигуравајући да неквој својства транспорта гаса не утиче.

●  Ефикасно блокира дифузију нечистоћа и обезбеђује кристалну чистоћу

Некорани графит матрица може ослободити трагове количине нечистоћа и ТАЦ премаз делује као изолациона баријера како би се спречило да ове нечистоће дифузне у сички кристал у окружењу на високом температуру. Овај заштитни ефекат је пресудан за побољшање кристалне чистоће и помагање у испуњавању строжих захтева индустрије полу-квалитета за висококвалитетне СИЦ материјале.

ВеТек полупроводнички порозни графит обложен тантал карбидом значајно побољшава ефикасност процеса и квалитет кристала оптимизујући проток гаса, смањујући термички стрес, побољшавајући топлотну униформност, повећавајући отпорност на корозију и инхибирајући дифузију нечистоћа током процеса раста кристала СиЦ. Примена овог материјала не само да обезбеђује високу прецизност и чистоћу у производњи, већ и значајно смањује оперативне трошкове, што га чини важним стубом у савременој производњи полупроводника.

Још је још важније, ВетеКСЕМИ је дуго посвећен пружању напредне технологије и производа за производњу полуводича и подржава прилагођене услуге прекривене порозним графичним производима Тантем Царбиде. Искрено се радујемо што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Физичка својства превлаке од тантал карбида

Семицондуцтор Ветек Семицондуцтор танталум Царбиде обложена порозним графитским производним продавницама