Порозни танталумски карбид

Семицондуцтор ВЕТЕК Пороус Танталум Царбиде (ТАЦ) је керамички материјал високих перформанси који комбинује својства танталума и угљеника. Порозна структура је веома погодна за одређене примене у високим температурама и екстремним окружењима. ТАЦ комбинује одличну тврдоћу, топлотну стабилност и хемијску отпорност, чинећи га идеалним избором материјала у се полуводичкој обради.

Порозни танталум карбид (ТАЦ) састоји се од танталума (ТА) и угљеника (Ц), у којем танталум формира снажну хемијску везу са атомима угљеника, дајући материјал изузетно високу издржљивост и отпорност на хабање. Порозна структура порозног ТАЦ-а креира се током производног процеса материјала, а порозност се може контролисати у складу са специфичним потребама апликације. Овај производ обично производиХемијска таложење паре (ЦВД)Метода, обезбеђивање прецизне контроле његове величине и дистрибуције пора.

Молекуларна структура карбида танталума

Ветек полуводичка порозна танталум карбида (ТАЦ) има следеће карактеристике производа

● Порозност: Порозна структура даје различите функције у одређеним сценаријима апликације, укључујући дифузију гаса, филтрацију или контролисану расипање топлоте.

● Висока тачка топљења: Танталум Царбиде има изузетно високу тачку топљења од око 3,880 ° Ц, што је погодно за изузетно окружење високе температуре.

● Одлична тврдоћа: Пороус ТАЦ има изузетно велику тврдоћу од око 9-10 у скали тврдоће Мохс, слично дијаманту. и може се одупријети механичком хабању под екстремним условима.

● Топлотна стабилност: ТАНЛАЛУМ ЦАРБИДЕ (ТАЦ) Материјал може остати стабилан у окружењима високих температура и има снажну топлотну стабилност, обезбеђујући своје конзистентне перформансе у окружењу високих температура.

● Висока топлотна проводљивост: Упркос порозности, порозни танталум карбид и даље задржава добру топлотну проводљивост, осигуравајући ефикасан пренос топлоте.

● Низак коефицијент топлотне експанзије: Ниска коефицијент топлотног експанзије танталум карбида (ТАЦ) помаже материјалу да остане димензионално стабилна под значајним флуктуацијама температуре и смањује утицај топлотног стреса.

Физичка својства ТАЦ премаза

У производњи полуводича, порозни танталум карбид (ТАЦ) игра следећу специфичну кључну улогуs

У процесима високог температуре као што сујеткање плазмеи ЦВД, Ветек полуводичи Порозни танталум карбид се често користи као заштитни премаз за прераду опреме. То је због снажне отпорности на корозијуПревлака на таци његова стабилност високог температуре. Ова својства осигуравају да ефикасно штити површине изложене реактивним гасовима или екстремним температурама, чиме се обезбеђују нормална реакција процеса високих температура.

У дифузњим процесима, порозни карбид танталум може послужити као ефикасна дифузијска баријера за спречавање мешања материјала у процесима високих температура. Ова функција се често користи за контролу дифузије допаната у процесима као што су ИОН имплантација и контрола чистоће полуводичких вафера.

Порозна структура полуводичког порозног танталума је врло погодна за окружење за обраду полуводича за које је потребно прецизно управљање или филтрацију протока гаса. У овом процесу Пороус ТАЦ углавном игра улогу филтрације и дистрибуције гаса. Његова хемијска инертност осигурава да се током процеса филтрације не уносе никакав контаминант. То ефикасно гарантује чистоћу обрађеног производа.

Танталум Царбиде (ТАЦ) премаз на микроскопском пресек