Цвд ТАЦ прекривач за превлачење

Током процеса производње полуводича, Ветек полуводичиЦвд ТАЦ прекривач за превлачењеје ладица која се користи за ношење вафера. Овај производ користи процес таложења за хемијску пару (ЦВД) да преузме слој ТАЦ премаза на површиниВафер Царриер Супстрат. Овај премаз може значајно да побољша отпорност на оксидацију и корозију носача, уз смањење контаминације честица током прераде. То је важна компонента у полуводичкој обради.

Понуде полуводичуЦвд ТАЦ прекривач за превлачењесастоји се од подлоге и аТанталум Царбиде (ТАЦ) премаз.

Дебљина танталум Царбиде премаза је обично у опсегу од 30 микрона, а ТАЦ има топљење као 3,880 ° Ц, а истовремено је одличне отпорности на корозију и хабање, између осталих својстава.

Основни материјал носача израђен је од високе чистоће графита илиСилицијум карбида (СИЦ), а затим је слој ТАЦ-а (Тврдоћа Кнооп до 2000ХК) пресвучена на површини кроз процес ЦВД-а за побољшање њене корозијске отпорности и механичке снаге.

Током процеса вафла, Ветек полуводичиЦвд ТАЦ прекривач за превлачењеМоже да игра следеће важне улоге:

1. Заштита вафла

Физичка заштита Носач служи као физичка баријера између резина и спољних механичких извора оштећења. Када се вафли преносе између различите опреме за прераду, као што су између коморе хемијских паре (ЦВД) и алата за јеткање, они су склони огреботинама и утицајима. ЦВД ЦВД ТАЦ превлака носила је релативно тврду и глатку површину која може да издржи нормално руковање силама и спречи директан контакт између резине и грубих или оштрих објеката, смањујући на тај начин ризик од физичког оштећења мамара.

Хемијска заштита ТАЦ има одличну хемијску стабилност. Током разних корака хемијских третмана у процесу вафла, као што су мокри и хемијско чишћење, ЦВД ТАЦ премаз може спречити да хемијска средства да дођу у директан контакт са носачем. Ово штити носач од лифера и хемијски напада, осигуравајући да се не отпусте нечистоће од превозника на вафле, и на тај начин одржавају интегритет површинске хемије на лифе.

2 Подршка и поравнање

Стабилна подршка Носадни носач пружа стабилну платформу за вафле. У процесима где су вафли подвргнути третману високог температура или окружењима високог притиска, као што су висока температура за жарење, носач мора равномерно да подржи решетку како би се спречило да се реше резине да спречи или пукнуће вафру. Правилан дизајн и висококвалитетни ТАЦ премаз носача осигурава уједначен расподели стреса преко реф-а, одржавајући његову равност и структурни интегритет.

Прецизно усклађивање Тачно поравнање је пресудно за различите литографије и поступке одлагања. Носадниј преносник је дизајниран са прецизним функцијама поравнања. ТАЦ премаз помаже у одржавању димензионалне тачности ових карактеристика поравнања током времена, чак и након вишеструких употреба и изложености различитим условима обраде. Ово осигурава да се вафли прецизно постављају у оквиру прерађене опреме, омогућавајући прецизно узорковање и слојеви се полуводичких материјала на површини резета.

3. Пренос топлоте

Јединствена дистрибуција топлоте у многим процесима важења, као што су топлотна оксидација и ЦВД, прецизна контрола температуре је од суштине. ЦВД ТАЦ превлака за превлачење има добра својства топлотне проводљивости. Може равномерно пренијети топлоту на резину током грејних операција и уклонити топлоту током процеса хлађења. Овај јединствени пренос топлоте помаже да се смањи градијенти температуре преко реф-а, минимизирајући топлотне напрезате који би могли проузроковати недостатке у сенидским уређајима који се изливају на лифе.

Побољшана ефикасност преноса топлоте ТАЦ премаз може побољшати укупне карактеристике преноса топлоте преноса носача. У поређењу са необученим превозницима или носачима са другим премазима, површина превлачења ТАЦ може имати повољнију површину - енергију и текстуру за размену топлоте са околним окружењем и самом самопоуздањем. То резултира ефикаснијим преносом топлоте, који може да скрати време за обраду и побољшава ефикасност производње прерађивачког процеса вафла.

4. Контрола контаминације

Својства ниске оутгассинг ТАЦ премаз обично показује ниско понашање које је пресудно, што је пресудно у чистом окружењу процеса израде вафла. Одржавање испарљивих материја из носача од лима може да контаминира површину од резине и окружење за прераду, што доводи до квара уређаја и смањене приносе. Ниска природа ЦВД ТАЦ премаза осигурава да превозник не уноси нежељени контаминант у процес, одржавајући захтеве високих чистоћих произвођача полуводича.

Површина без честица Глатка и једнако уједначена природа ЦВД ТАЦ премаза смањује вероватноћу стварања честица на површини носача. Честице се могу придржавати резина током обраде и изазвати оштећења у полуводичким уређајима. Минимизирањем генерације честица, превлака за превлачење ТАЦ-а помаже да се побољша чистоћа процеса производње маштања и повећате принос производа.

Танталум Царбиде (ТАЦ) премаз на микроскопском пресек:

Основна физичка својства ЦВД ТАЦ премаза：

То полуводичЦВД ТАЦ ЦОАТИНГ ВЕФЕР ТРГОВИНЕ ПРОИЗВОДНЕ ТРГОВИНЕ: