Цев за кварцну пећ за дифузиону пећ

1. Кључне карактеристике и предности

• Дехидроксиловани топљени кварц ултра високе чистоће (СиО₂ ≥ 99,999%) са металним нечистоћама контролисаним на нивоима ппб и изузетно ниским садржајем хидроксила

• Дуготрајна радна температура до 1100 °Ц; краткотрајна вршна отпорност до 1200 °Ц

• Одлична отпорност на термички удар након жарења за потпуно ослобађање од напрезања—отпорна на пуцање при брзим променама температуре

• Изузетна хемијска инертност против оксидирајућих, редукционих и процесних гасова који садрже халогене; погодан за плазму и корозивне атмосфере

• Веома ниско вакуумско испуштање гасова; глатки унутрашњи зид минимизира накупљање нуспроизвода и подржава поновљивост процеса

• Једноделно обликовање са уједначеном дебљином зида, високом коаксијалношћу и прецизно обрађеним крајевима за поуздано заптивање

• Прилагодљиве структуре: равне цеви, редукторске цеви, цеви са прирубницом, продужене дужине и специјалне крајње конфигурације за вертикалне или хоризонталне пећи

2. Типичне примене

ВеТек цеви за кварцне пећи се широко користе као реакциона комора језгра у:

• Пећи за термичку оксидацију (сува/мокра оксидација)

• Дифузионе пећи за увођење допанта (Б, П, Ас, итд.)

• ЛПЦВД системи за таложење танког филма

• Вакуумско жарење и други процеси топлотне обраде на високим температурама

• Компатибилан са 4-инчним, 6-инчним, 8-инчним и 12-инчним вафер платформама (Си, СиЦ, ГаН, сафирне подлоге)

Подржавају логику, меморију, уређај за напајање, МЦУ, ЛЕД, МЕМС и производне линије полупроводника са широким појасом који захтевају стабилну уједначеност температуре, контролу протока гаса и ултра-чиста процесна окружења.

3. Кључни технички параметри

• Материјал: полупроводнички дехидроксиловани топљени кварц (СиО₂ ≥ 99,999%), ниско хидроксил, мало металних нечистоћа

• Компатибилност плочица: 4 / 6 / 8 / 12 инча

• Дуготрајна радна температура: −20 °Ц до 1100 °Ц; краткотрајни максимум до 1200 °Ц

• Процес: једноделно термичко обликовање, хомогенизација зида, завршна обрада, жарење за ублажавање напрезања, тест цурења хелијума, ултра чисто чишћење

• Доступне структуре: равна цев, редукторска цев, цев са прирубницом, цев продужене / прилагођене дужине, конфигурације са посебним крајевима

• Прилагођавање: унутрашњи/спољни пречник, дужина, дебљина зида, спецификације прирубница и специјалне геометрије по цртежима купца

4. Зашто одабрати ВеТек цеви за кварцне пећи?

Као професионални произвођач полупроводничких кварцних компоненти, ВеТек Семицондуцтор нуди:

• Цеви за кварцне пећи високе чистоће пројектоване за опрему за оксидацију, дифузију, ЛПЦВД и жарење

• Строга контрола чистоће, тачност димензија и чистоћа погодна за производњу чистих соба класе 10 / класе 100

• Потпуно прилагођавање и ОЕМ-компатибилни дизајн за вертикалне и хоризонталне цевне пећи

• Комплементарни полупроводнички кварцни производи укључујући чамце за вафле, лончиће, кошуљице и друге компоненте процеса

Наше цеви за кварцне пећи помажу у одржавању стабилних термичких услова и услова протока гаса, минимизирају контаминацију честицама и металима и продужавају радни век под сталним циклусима на високим температурама—подржавајући већи принос и ниже трошкове поседовања у термичкој обради полупроводника.