Производи
ТаЦ прстен за премазивање
  • ТаЦ прстен за премазивањеТаЦ прстен за премазивање

ТаЦ прстен за премазивање

ТаЦ Цоатинг Ринг је компонента високих перформанси дизајнирана за употребу у полупроводничким процесима, ВеТек полупроводнички ТаЦ Цоатинг Ринг има високу термичку стабилност, отпорност на хемијску корозију и одличну механичку чврстоћу и посебно се користи за држање и подршку СиЦ плочица током процеса јеткања, где су прецизна контрола и издржљивост од суштинског значаја за постизање висококвалитетних плочица. радујемо се вашим даљим консултацијама.

Прстен за семицондуцтор ВЕТЕК-а је израђен од висококвалитетног графита и пресвучен са танталум карбидом (ТАЦ), материјал познатим по супериорним својствима, је неопходна компонента у полуводичкој преради.


Кључне карактеристике и предности ВеТек полупроводничког ТаЦ прстена за облагање:


Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

●  Висока термичка стабилност: Једна од истакнутих карактеристика прстена за премазивање од тантал карбида је његова способност да издржи високе температуре, што је критични фактор у полупроводничком нагризању. Процес нагризања СиЦ укључује излагање повишеним температурама и реактивним гасовима, а премаз тантал карбида осигурава да прстен остаје стабилан и задржава свој структурни интегритет чак и под овим тешким условима. Ова топлотна отпорност осигурава да компонента настави да ради оптимално током дужег периода.


●  Побољшана механичка чврстоћа: Комбинација графита високе чврстоће и ТаЦ премаза резултира компонентом са побољшаним механичким својствима, чинећи ТаЦ обложени прстен високо отпорним на хабање и хабање. Његова механичка чврстоћа је кључна за чврсто држање СиЦ плочица на месту, обезбеђујући прецизно нагризање и спречавајући било какву деформацију током процеса.


● Хемијска отпорност на корозију: У полупроводничким процесима као што је јеткање СиЦ, компоненте су често изложене агресивним хемикалијама и реактивним гасовима. Тантал карбид премаз пружа одличну заштиту од корозије, значајно продужавајући век трајања прстена и минимизирајући потребу за честим заменама. Ова отпорност је посебно важна у процесу јеткања, где су компоненте у сталном контакту са хемијски реактивним супстанцама.


● Супериорни Цотитац Цоатингснг за побољшане перформансе: Танталум Царбиде превлака на графитном прстену пружа робусну површину која повећава укупне перформансе компоненте. Танталум Царбиде је познат по својој високој тачки топљења (приближно 3.880 ° Ц) и његова одлична отпорност на хемијске реакције, посебно у агресивним окружењима која се обично сусрећу током процеса производње полуводича. Овај тантални карапски премаз значајно побољшава животни век производа, пружајући врхунску трајност у поређењу са необрађеним графитним прстенима.


●  Побољшана механичка чврстоћа: Комбинација графита високе чврстоће и ТаЦ премаза резултира компонентом са побољшаним механичким својствима, чинећи ТаЦ обложени прстен високо отпорним на хабање и хабање. Његова механичка чврстоћа је кључна за чврсто држање СиЦ плочица на месту, обезбеђујући прецизно нагризање и спречавајући било какву деформацију током процеса.


Као водећи добављач, произвођач и фабрика ТаЦ Цоатинг Ринг у Кини, ВеТек Семицондуцтор је дуго посвећен пружању напредних ТаЦ Цоатинг Ринг производа и техничких решења за индустрију прераде полупроводника, и подржава прилагођене услуге производа. ВеТекСеми се искрено радује што ће постати ваш дугорочни партнер у Кини.


Физичка својства ТаЦ превлаке

Физичка својства ТаЦ превлаке
ТаЦ густина премаза
14,3 (г/цм³)
Специфична емисивност
0.3
Коефицијент топлотног ширења
6,3*10-6
ТАЦ-ова тврдоћа премате (ХК)
2000 ХК
Отпорност
1 × 10-5Охм * цм
Топлотна стабилност
<2500℃
Промена величине графите
-10 ~ -20ум
Дебљина премаза
≥20ум типична вредност (35ум ± 10ум)

ТАЦ Семицондуцтор'с ТАЦ превлака РИНГ ТРГОВИНЕ ПРОИЗВОДА

SiC Coating Graphite substrateTaC Coating Ring testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment


Хот Тагс: ТаЦ прстен за премазивање
Пошаљи упит
Контакт информације
  • Адреса

    Вангда Роад, Стреет Зијанг, округ Вуии, Град Јинхуа, провинција Зхејианг, Кина

  • Е-маил

    anny@veteksemi.com

За упите о премазу од силицијум карбида, премазу од тантал карбида, специјалном графиту или ценовнику, оставите нам своју е-пошту и ми ћемо вас контактирати у року од 24 сата.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept