ТАЦ премаз подсер

ТАЦ пресцепт ТАЦ пресцепт иТац пресвученпрстенРадите заједно у ЛПЕ Силицон Царбиде реактор раста Царбиде:

● Отпорност на високу температуру: ТхеПревлака на тацСуцептор има одличну отпорност на високу температуру, у стању да издржи екстремне температуре до 1500 ° Ц уЛПЕ Реацтор. То осигурава да опрема и компоненте не деформишу или се оштете током дугорочне операције.

● Хемијска стабилност: Супцептор ТАЦ премаз делује изузетно добро у окружењу раста корозивног силиконског карбида, ефективно очујући компоненте реактора из корозивног хемијског напада, чиме је продужавајући свој радни живот.

● Топлотна стабилност: Супцептор ТАЦ премаза има добру топлотну стабилност, одржавајући површинску морфологију и храпавост како би се осигурала уједначеност температурног поља у реактору, што је корисно за висококвалитетни раст типичних слојева високог квалитета карабида.

● Анти-контаминација: Глатки ТАЦ пресвучени површински и супериорни ТПД (Програмирано десорпција температуре) Могу да минимизирају акумулацију и адсорпцију честица и нечистоће унутар реактора, спречавајући контаминацију епитаксијалних слојева.

Укратко, ТАЦ превучени суцептор и прстен играју критичну заштитну улогу у реактору раста ЛПЕ Силицон Царбиде, обезбеђивање дугорочног стабилног рада опреме и висококвалитетног раста епитаксијачких слојева.