ЦВД тантал карбид(ТаЦ) пресвучени суцептор

Кључне карактеристике

Апликације

Типичне апликације укључују:

• СиЦ епитаксијални раст

• ГаН МОЦВД епитаксија

• АлН епитаксијални раст

• Производња полупроводника треће генерације

• Електроника велике снаге

• РФ уређаји

• МицроЛЕД производња

• Системи истраживања и пилот производње

Компатибилна опрема

Компатибилне платформе укључују:

• Аиктрон

• ЛПЕ

• Веецо

• АМЕЦ

• НуФларе

• Прилагођени ЦВД & МОЦВД реактори

Такође доступно:

• Носачи плочица

• Планетарни сусцептори

• Баррел Сусцепторс

• Ротациони дискови

• Делови полумесеца

• Покривне плоче

• Графитни склопови

• Прилагођене компоненте термичког поља

Техничке спецификације

Често постављана питања

1. Шта је ЦВД ТаЦ обложен сусцептор?

Графитна компонента високе чистоће заштићена густим ЦВД ТаЦ премазом који се користи као носач плочице током епитаксијалног раста.

2. Зашто користити ТаЦ какаотинг уместо СиЦ премаза?

ТаЦ нуди већу температурну отпорност, супериорну хемијску стабилност и дужи радни век.

3.Који полупроводнички процеси користе ТаЦ-цоатед суцепторс?

СиЦ епитаксија, ГаН МОЦВД, АлН епитаксија и други процеси раста кристала на високој температури.

4. Да ли ВЕТЕК може да производи држаче по мери?

Да. Пружамо прилагођене дизајне засноване на цртежима купаца и захтевима процеса.

5. Које марке реактора су подржане?

Аиктрон, ЛПЕ, Веецо, АМЕЦ, НуФларе и други маинстреам системи.