ТаЦ обложен графитним облатни прстен

Основне техничке предности

• Изузетна хемијска отпорност: Дизајниран да издржи оштре гасове за нагризање (Х₂, НХ3, ХЦл) на температурама између 1200°Ц и 2000°Ц.

• Усклађивање термичке експанзије: Наш власнички ЦВД процес обезбеђује да ТаЦ премаз има оптимизован ЦТЕ (коефицијент термичке експанзије) подударање са графитном подлогом, спречавајући љуштење или пуцање током брзог термичког циклуса.

• Супериорна контрола честица: Потпуно заптивање порозног графита, ТаЦ слој елиминише осипање честица, директно повећавајући принос ваше плочице и смањујући време застоја реактора.

• Продужени радни век: Површина високо отпорна на хабање која издржава поновљене циклусе чишћења, нудећи знатно нижу цену власништва (ЦоО) у поређењу са алтернативама без премаза или са СиЦ.

Тантал карбид (ТаЦ) премаз на микроскопском попречном пресеку

Параметар производа ТаЦ Цоатед Грапхите Вафер Цовер Ринг

Зашто одабрати наше ТаЦ поклопце?

Разумемо да је у производњи полупроводника поузданост једнака профитабилности. Наши ТаЦ обложени графитни облатни прстенови су серијски тестирани на густину и чистоћу премаза. Без обзира да ли прелазите са производње вафера од 6 инча на 8 инча или оптимизујете МОЦВД процес на високој температури, наши прстенови обезбеђују термичку и хемијску заштиту неопходну за епитаксију светске класе.