Графитни прстен обложен порозним тантал карбидом (ТаЦ).

Карактеристике производа

• Основна опрема:Намењен за пећи за раст монокристала СиЦ које раде са ПВТ технологијом.
• Примарна примена:Погодан за системе термичких поља у расту кристала СиЦ полупроводника треће генерације.
• Стабилност на високим температурама:ТаЦ премаз задржава структурни интегритет под ултрависоким температурама, подржавајући продужени рад у захтевним термичким окружењима.
• Заштита од корозије:Густи ЦВД ТаЦ слој штити графитну подлогу од силицијумске паре, гасова који садрже угљеник и других корозивних врста које се сусрећу током раста СиЦ.
• Перформансе термичког поља:Порозна графитна база помаже у дистрибуцији топлоте и транспорту паре, што помаже у одржавању стабилних услова раста.
• Ниска контаминација:Почетни материјали високе чистоће и густа превлака ограничавају ослобађање нечистоћа и осипање честица, што доприноси квалитету кристала.
• Продужени животни век:ТаЦ слој побољшава отпорност на оксидацију, површинску тврдоћу и укупну издржљивост на повишеним температурама.
• Адхезија премаза:ЦВД процес даје јаку везу између ТаЦ филма и графитне подлоге.
• Прилагођене опције:Димензије, детаљи структуре и спецификације премаза могу се подесити да одговарају различитим захтевима пећи за раст СиЦ.

Техничке спецификације

Апликације

ВЕТЕК порозни ТаЦ обложен графитни прстен се првенствено користи у:

• Раст монокристала СиЦ преко ПВТ-а
• Производња полупроводника треће генерације
• Производња СиЦ супстрата
• Системи топлотног поља у пећима за раст кристала
• Високотемпературна обрада полупроводника
• Напредне графитне компоненте вруће зоне

ФАК

1. Шта је порозни графитни прстен обложен ТаЦ?

То је компонента термичког поља за пећи за раст кристала СиЦ. Комбинује порозну графитну структуру са ЦВД ТаЦ премазом за испоруку управљања топлотом и заштиту од корозије при високим температурама.

2. Зашто користити ТаЦ премаз за раст кристала СиЦ?

ТаЦ обезбеђује стабилност на високим температурама и хемијску отпорност. Штити графит од напада силицијумске паре и помаже у одржавању чистог, стабилног окружења за раст.

3. Шта нуди структура порозног графита?

Порозни дизајн подржава дистрибуцију топлоте и транспорт гаса унутар пећи, што доприноси стабилним условима раста кристала СиЦ.

4. Може ли ВЕТЕК произвести прилагођене графитне прстенове обложене ТаЦ-ом?

Да. ВЕТЕК нуди прилагођавање на основу цртежа купаца, дизајна пећи и потреба процеса, укључујући димензије, конфигурацију подлоге и параметре премаза.