Производи

Тантал-карбид премаз

ВеТек семицондуцтор је водећи произвођач тантал карбидних премаза за индустрију полупроводника. Наша главна понуда производа укључује делове премаза од ЦВД тантал карбида, делове синтерованог ТаЦ премаза за раст кристала СиЦ или процес епитаксије полупроводника. Прошао ИСО9001, ВеТек Семицондуцтор има добру контролу квалитета. ВеТек Семицондуцтор је посвећен да постане иноватор у индустрији премаза тантал карбида кроз текуће истраживање и развој итеративних технологија.


Главни производи суВодећи прстен са премазом ТаЦ, ЦВД ТаЦ обложен прстен за вођење са три латице, Танталум Царбиде ТаЦ Цоатед Халфмоон, ЦВД ТаЦ премаз планетарни СиЦ епитаксијални сусцептор, Прстен за премазивање од тантал карбида, Порозни графит обложен тантал карбидом, ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор, Прстен од танталовог карбида, ТаЦ премаз Ротациона плоча, ТаЦ обложена вафера, ТаЦ обложен дефлектор прстен, ЦВД ТаЦ Цоатинг Цоатинг Цовер, ТаЦ Цоатед Цхуцкитд., чистоћа је испод 5ппм, може задовољити захтеве купаца.


ТаЦ премаз графит се ствара премазивањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД). Предност је приказана на слици испод:


Excellent properties of TaC coating graphite


Превлака од тантал карбида (ТаЦ) је привукла пажњу због своје високе тачке топљења до 3880°Ц, одличне механичке чврстоће, тврдоће и отпорности на термичке ударе, што га чини атрактивном алтернативом за сложене процесе епитаксије полупроводника са вишим температурним захтевима, као што је Аиктрон МОЦВД систем и ЛПЕ СиЦ процес епитаксије. Такође има широку примену у ПВТ методи процеса раста кристала СиЦ.


Кључне карактеристике:

 ●Температурна стабилност

 ●Ултра висока чистоћа

 ●Отпорност на Х2, НХ3, СиХ4, Си

 ●Отпорност на топлоту

 ●Јака адхезија на графит

 ●Конформна покривеност премаза

 Величина до пречника 750 мм (једини произвођач у Кини достиже ову величину)


Апликације:

 ●Носач вафла

 ● Индуктивни грејни пријемник

 ● Отпорни грејни елемент

 ●Сателитски диск

 ●Глава за туширање

 ●Водећи прстен

 ●ЛЕД Епи пријемник

 ●Млазница за убризгавање

 ●Прстен за маскирање

 ● Топлотни штит


Тантал карбид (ТаЦ) премаз на микроскопском попречном пресеку:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Параметар ВеТек Семицондуцтор Танталум Царбиде Цоатинг:

Физичка својства ТаЦ превлаке
Густина 14,3 (г/цм³)
Специфична емисивност 0.3
Коефицијент топлотног ширења 6.3 10-6
Тврдоћа (ХК) 2000 ХК
Отпор 1×10-5Охм*цм
Термичка стабилност <2500℃
Промена величине графита -10~-20ум
Дебљина премаза ≥20ум типична вредност (35ум±10ум)


ТаЦ премаз ЕДКС подаци

EDX data of TaC coating


Подаци о кристалној структури превлаке ТаЦ:

Елемент Атомски проценат
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Просечно
Ц К 52.10 57.41 52.37 53.96
Тхе М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Порозни графит обложен тантал карбидом

Порозни графит обложен тантал карбидом

Тантем Царбиде обложени порозни графит је неопходан производ у поступку за обраду полуводича, посебно у процесу раста система СИЦ-а. После континуираних трошкова за истраживање и развој и технологије, ТАЦ пресвучен порозни порозни квалитет производа је освојио велике похвале европских и америчких купаца. Добродошли на ваше даље консултације.
ЦВД ТАЦ премаз Планетарни СИЦ ЕпитакАксијачки суцептор

ЦВД ТАЦ премаз Планетарни СИЦ ЕпитакАксијачки суцептор

Планетарни СиЦ епитаксијални сусцептор са ЦВД ТаЦ премазом је једна од кључних компоненти МОЦВД планетарног реактора. Кроз ЦВД ТаЦ премаз планетарног СиЦ епитаксијалног сусцептора, орбите великог диска и мали диск се ротирају, а модел хоризонталног тока је проширен на машине са више чипова, тако да има и висококвалитетно управљање униформношћу епитаксијалне таласне дужине и оптимизацију дефекта код појединачних -машине за чипове и предности у погледу трошкова производње машина са више чипова. ВеТек Семицондуцтор може да пружи купцима високо прилагођене ЦВД ТаЦ премаз планетарни СиЦ епитаксијални сусцептор. Ако и ви желите да направите планетарну МОЦВД пећ као што је Аиктрон, дођите код нас!
Тац пресвучен прстен

Тац пресвучен прстен

Као водећи произвођач и добављач пресвучених прстенастих производа у Кини, Сетек Семицондуцтор се фокусирао на истраживање и развој и производњу различитих производа ТАЦ премаза. Као главни купци производа за превлачење ТАЦ-а, европски и амерички произвођачи дали су велику похвалу на нашем производима премаза. Добродошли на ваше даље консултације.
Ган Епитакки Ундертакер

Ган Епитакки Ундертакер

Семицондуктор Ветек је кинеска компанија која је произвођач светске класе и добављач суцептора ГАН ЕПИТАКСИ. Радимо у индустрији полуводича као што је дуже време силицијум карбида и суцепт ГАН епитакксија. Можемо вам пружити одличне производе и повољне цене. Ветек полуводич се радује вашем дугорочном партнеру.
ТАЦ прекривени суцептор

ТАЦ прекривени суцептор

Ветек полуводич ТАЦ прекривени суцепт је графитни лежиште пресвучен танталом карбидом за цитаксијски раст силицијум-карбида да би се побољшао квалитет и перформансе решетка. Ветек је изабран због напредне технологије премаз и трајна решења како би се осигурало одличне резултате суштине и проширени живот суцептора, добродошли на ваше даље упите.
Водич за превлачење ТАЦ-а

Водич за превлачење ТАЦ-а

Као водећи произвођач водича ТАЦ-а у Кини у Кини, Ветек Семицондуцтор ТАЦ пресвучени водич су важне компоненте у МОЦВД опреми, обезбеђујући тачну и стабилну испоруку гаса током епитаксијалног раста, а неопходан је материјал. Добродошли да се консултујете са нама.
Као професионалац Тантал-карбид премаз произвођач и добављач у Кини, имамо сопствену фабрику. Без обзира да ли су вам потребне прилагођене услуге да бисте испунили специфичне потребе вашег региона или желите да купите напредне и издржљиве Тантал-карбид премаз направљене у Кини, можете нас оставити порука.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept