Производи
Цхуцк ТАЦ премаз
  • Цхуцк ТАЦ премазЦхуцк ТАЦ премаз

Цхуцк ТАЦ премаз

ТАЦ Цхуцк Семицондуцтор'с Цхуцк има висококвалитетни премаз површине, познат по изванредном отпорности на високом температуру и хемијску иностртност, посебно у процесима епитаксије (ЕПИ) Силицијум Царбиде (СИЦ). Са својим изузетним карактеристикама и супериорним перформансама, наш Цхуцк ТАЦ премаз нуди неколико кључних предности. Залажемо се да пружимо квалитетне производе у конкурентним ценама и радујемо се вашем дугорочном партнеру у Кини.

ТАЦ Семицондуцтор'с Цхуцк Цхуцк Цхуцк је идеално решење за постизање изузетних резултата у СИЦ ЕПИ процесу. Својим прекривањем карбида танталум, високим температурама и хемијском инертност, наш производ омогућава вам да производите висококвалитетне кристале са прецизношћу и поузданошћу. Изгледати нас.



ТАЦ ТАНТАЛУМ ЦАРБИДЕ је материјал који се обично користи за преласку површине унутрашњих делова епитакјске опреме. Има следеће карактеристике:


Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section

● Одлична отпорност на високу температуру: Танталум Царбиде Цоатион може да издржи температуре до 2200 ° Ц, чинећи их идеалним за апликације у окружењу високих температура као што су Епитаксијачке реакције комора.


● Велика тврдоћа: Тврдоћа карбида ТАНЛАЛУМ-а достиже око 2000 ХК, што је много теже него што је обично коришћено нехрђајући челик или алуминијумска легура, што може ефикасно спречити да се површински трошење може ефикасно спречити.


● Јака хемијска стабилност: Танталум Царбиде Цоатинг се добро сналази у хемијски корозивним окружењима и може увелико продужити радни век компоненти епитаксијалне опреме.


● Добра електрична проводљивост: Површина премаза има добру електричну проводљивост, која погодује електростатичкој издавању и топлотном проводљивости.


Ова својства чине ТАЦ танталум карбидном премазом идеалног материјала за производњу критичних делова као што су унутрашњи чахури, зидови реакције и грејне елементе за епитаксијалну опрему. Превлачењем ових компоненти са ТАЦ-ом може се побољшати укупни живот перформанси и радни век епитаксијске опреме.


За епитаксу силицијум карбида, ТАЦ ЦОАТИНГ ЦХЕБ такође може да игра важну улогу. Површински премаз је глатка и густа, која погодује формирању висококвалитетних филмских филмова силицијума. Истовремено, одлична топлотна проводљивост ТАЦ-а може помоћи побољшању уједначености дистрибуције температуре унутар опреме, на тај начин побољшање тачности температуре контроле епитаксијалног процеса и на крају постизање вишег квалитетаЕпитаксија са силицијум-карбидомРаст слоја.


Параметар производа ТАЦ ТАНЛАЛУМ ЦАРБИДЕ ЦОАТИНГ ЦХОК

Физичка својства ТАЦ премаза
Густина премаза 14.3 (Г / цм³)
Специфична емисивност 0.3
Коефицијент термичке експанзије 6.3 * 10-6/ К
Тврдоћа (ХК) 2000 ХК
Отпорност 1 × 10-5Охм * цм
Топлотна стабилност <2500 ℃
Промена величине графите -10 ~ -20ум
Дебљина премаза ≥20ум типична вредност (35ум ± 10ум)


Продавнице производа ВЕТЕК Полуцондуцтор:

SiC Coating Wafer CarrierSemiconductor process equipmentCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment


Пошаљи упит
Контакт информације
  • Адреса

    Вангда Роад, Зиианг Стреет, Вуии Цоунти, Јинхуа Цити, Зхејианг Провинце, Кина

  • Емаил

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Користимо колачиће да бисмо вам понудили боље искуство прегледања, анализирали саобраћај на сајту и персонализовали садржај. Коришћењем овог сајта прихватате нашу употребу колачића. Политика приватности
ОдбитиПрихвати