Премаз од силицијум карбида

ЦВД СИЦ пресвучен графички туш од ВетеКсемицон-а је компонента високе перформансе посебно дизајниране за поступке хемијске паре (ЦВД) хемијског паре (ЦВД). Произведено од графита високог чистоћа и заштићен хемијским таложењима паре (ЦВД) Силиконским карбидом (СИЦ), овај туш кабине пружа изванредну издржљивост, топлотну стабилност и отпорност на корозивне процесне гасове. Радујемо се вашим даљим консултацијама.

Држач маштава за превлачење силицијумског карбида од стране Ветексемицон-а је пројектован за прецизност и перформансе у напредним поступцима полуводича, као што су МОЦВД, ЛПЦВД и жањеве високог температуре. С обзиром на јединствени ЦВД СИЦ премаз, овај носач на резину осигурава изузетну топлотну проводљивост, хемијску иностру и механичку чврстоћу - битно за обраду важера од високе приноса.

ВЕТЕКСЕМЕМИЦОН СИЦ ивице високог чистоће, посебно дизајнирани за опрему за полуводичу, садрже изванредну отпорност на корозију и топлотну стабилност, значајно побољшање приноса вафери

Као водећи кинески произвођач и добављач производа за превлачење силицијумског карбида, носач ветексемицковог обложеног вафер-а за ексцланс игра незамјењиву основну улогу у процесу јеткања са својом одличном стабилношћу високог температура, изванредну отпорност на корозију и високу топлотну проводљивост.

ЦВД СИЦ пресцепт СИЦ-а је врхунско решење за полу-високу чистоћу (≤100ППБ, ИЦП-Е10 сертификовану) и изузетну топлотну / хемијску стабилност за раст отпоран на контаминацију, епи-слојеви отпоран на контаминацију. Пројектовани са прецизном ЦВД технологијом, подржава 6 "/ 8" / 12 "вафла, осигурава минималан термички стрес и издржава екстремне температуре до 1600 ° Ц.

Наш СИЦ обложени Планетарни суцептор је основна компонента у процесу високотемпондуцторског производње полуводича. Његов дизајн комбинује графитску подлогу са силиконским карбидом премазом да би се постигла свеобухватна оптимизација перформанси топлотног управљања, хемијску стабилност и механичку чврстоћу.