Превозни носач за суширање СИЦ-а

Основна примјена носача одвезаног од стране СИЦ-а за процес јеткања

1. ГАН ФИЛМ РАСТ и ЕТЦХИНГ у ЛЕД производњи

Превозни превозници (попут ПСС Етцхинг Царриер) користе се за подршку Саппхире подлозима (узорка Саппхире супстрат, ПСС) у ЛЕД производњи и врши хемијску таложење паре (МОЦВД) галијум нитрида (ГАН) филмова на високим температурама. Превозник се затим уклања влажним струготинама да би се формирала површинска микроструктура за побољшање ефикасности вађења светлости.

Кључна улога: Носач вафла мора да издржи температуре до 1600 ° Ц и хемијску корозију у окружењу у плазми. Висока чистоћа (99.99995%) и густина СИЦ премаза спречавају контаминацију метала и осигуравају униформност ГАН филма.

2 Посемичка плазма / сухог процеса

УИЦП (индуктивно повезано у плазми), СИЦ пресвучени носачи постижу уједначену дистрибуцију топлоте оптимизованим дизајном протока ваздуха (као што је начин ламинарног протока), избегавајте дифузију нечистоће и побољшати тачност јеткања. На пример, ВЕТЕКСЕМЕМИЧКИ ДРЖАЈСКИ ДРЖАЧИ ИЦП носач може да издржи сублимацију температуру од 2700 ° Ц и погодан је за високоенергетско у плазми у плазми.

3. Производња соларних и уређаја за напајање

Превозници СИЦ-а добро се сналазе у дифузији високог температура и јеткање силицијума вафера у пољу фотонапонских. Њихов низак коефицијент топлотног експанзије (4.5 × 10⁻⁶ / к) смањује деформацију узроковану термичким стресом и продужава радни век.

Физичка својства и предности носача одвезеног одвајања СИЦ-а

1. Толеранција у екстремно окружење:

Стабилност високе температуре:ЦВД СИЦ премазМоже радити на 1600 ° Ц ваздух или 2200 ° Ц вакум окружењу на дуже време, што је много више од традиционалних кварцних или графичних носача.

Отпорност на корозију: СИЦ има одличну отпорност на киселине, алкалије, соли и органски растварачи и погодни је за линије за производњу полуводича са честим хемијским чишћењем.

2 Термална и механичка својства:

Висока топлотна проводљивост (300 В / МК): Брзо расипање топлоте смањује топлотне градијете, осигурава температуру стражара и избегава деликацију дебљине филма.

Висока механичка чврстоћа: Снага са флексибилношћу достиже 415 МПа (собну температуру), а и даље одржава више од 90% чврстоће на високом температури, избегавајући пуцање или делавање носача.

Површинска завршна обрада: ССИЦ (силитонски силицијум притиска) има ниску храпавост површине (<0,1 μм), смањујући контаминацију честица и побољшање приноса резина.

3. Оптимизација подударања материјала:

Разлика са ниским термичким ширењем између графитног подлоге и СИЦ премаза: Подешавањем поступка премаза (као што је таложење градијента), стрес је смањен и премаз се спречава љуштењем.

Високе чистоће и ниске недостатке: ЦВД процес осигурава чистоћу премаза> 99.9999%, избегавање металних јона контаминације осетљивих процеса (као што је производња уређаја СИЦ уређаја).

ОндаЦ Физичка својства ЦВД СИЦ премаза

ЦВД СИЦ ЦОАТИНГ ФИЛМ ЦРИСТАЛ Структура

ВЕТ Секемицон продавнице