Премаз од силицијум карбида

ЦВД СИЦ пресцепт СИЦ-а је врхунско решење за полу-високу чистоћу (≤100ППБ, ИЦП-Е10 сертификовану) и изузетну топлотну / хемијску стабилност за раст отпоран на контаминацију, епи-слојеви отпоран на контаминацију. Пројектовани са прецизном ЦВД технологијом, подржава 6 "/ 8" / 12 "вафла, осигурава минималан термички стрес и издржава екстремне температуре до 1600 ° Ц.

Наш СИЦ обложени Планетарни суцептор је основна компонента у процесу високотемпондуцторског производње полуводича. Његов дизајн комбинује графитску подлогу са силиконским карбидом премазом да би се постигла свеобухватна оптимизација перформанси топлотног управљања, хемијску стабилност и механичку чврстоћу.

Наш сички заптивни прстен за епитакку је компонента за бртвљење високих перформанси на бази графита или угљеника-карбонских композита пресвужена високим силиконским карбидом (СИЦ) хемијским таложењем паре (ЦВД), која комбинује топлотну стабилност графита са екстремним отпорношћу на екстремном еколошку отпорност на Епитаксију окружења (нпр. Моцвд, МБЕ).

ВетекЕмимицон Сингле Вафер ЕПИ Графити Суцептор је дизајниран за високе перформансе силицијум-карбид (СИЦ), галијум нитрид (ГАН) и други трећи генерацијски полуводички епитаксијски процес, и је основна компонента епитаксијачког лима високо прецизности у масовној производњи. Изгледа ваше даље упите.

Важна компонента која се користи у процесу јеткања личења је у плазми заткани прстен, чија је функција да држите резину да би одржали густину плазме и спречавају контаминацију стразних страна.Ветек Семицондуцтор, наведите у плазми за иседну плочу са различитим материјалом попут монокристалне силицијум, силицијум карбиде и осталих керамичких материјала и осталих керамичких материјала.

Семицондуктор Ветек је водећи произвођач и добављач СИЦ обложених е-Цхуцкс-а у Кини. СИЦ пресвучен Е-Цхуцк је посебно дизајниран за процес јеткања ГАН-а, са одличним перформансама и дугом радником, да пружи свеобухватну подршку за вашу производњу полуводича. Наша снажна способност прераде омогућава нам да вам пружимо СИЦ керамички суцептор који желите. Радујемо се вашем захтеву.