ЦВД СИЦ обложени ГРАФИТЕ ГЛАВНИ ГЛАВА

ВетекЕмимицон ЦВД СИЦ пресвучен ГРАПХИТЕ ГРАПХИТЕ ГРЕЈЕЊЕ, његова прецизна површина осигурава уједначену дистрибуцију гаса, која је критична за постизање доследне таложење филма широм вафла. ТхеСички премазНе само да повећава отпорност на хабање и отпорност на оксидацију, већ и продужени радни век у оквиру оштрих процесних услова.

Широко се примењује у полуводичкој фабрици за лифе, епитаксу и танкослојни депонирање, ЦВД СИЦ пресвучен графит туш за туширање је идеалан избор за произвођаче који траже поуздану, високу чистоћу и дуготрајне компоненте процеса које испуњавају потребе производње полуводичке производње сљедеће генерације.

Ветексеми ЦВД Силицон Царбиде Сховхеад је произведен од хемијске паре високе чистоће депонован силицијум карбида и оптимизован је за ЦВД и МОЦВД процесе у полуводичкој и напредној индустрији електронике. Његова изванредна топлотна стабилност, отпорност на корозију и уједначена дистрибуција гаса осигуравају дугорочно стабилно радно стање на високој температури, високо корозивно окружење, значајно побољшање процеса поновљивости и приноса.

ВетекЕмимицон ЦВД СИЦ пресвучени графит за туширање главних главних предности

● Ултра висока чистоћа и густина

ГРАФИТЕ ГРАФИТЕ ГРАФИТЕ ГРАПХИТЕ ГРАПХИТЕ ПРОИЗВОДИ СЕ КОРИ ГРОЧНОГ ЦВД ЦВД-а, обезбеђујући материјалну чистоћу ≥99,9995%, елиминише било какве металне нечистоће. Његова непорозна структура ефикасно спречава проређење гаса и проливање честица, што га чини идеалним за полуводичку епитаксију и напредне процесе амбалаже који захтевају изузетно високу чистоћу. У поређењу са традиционалним синтерованим сичким или графитним компонентама, наш производ одржава стабилне перформансе чак и након дужег рада високотемтем температуре, смањујући фреквенцију одржавања и трошкова производње.

● Одлична топлотна стабилност

У ЦВД-у високим температурама и МОЦВД процесима, конвенционални материјали су подложни деформацији или пуцању због топлотног стреса. ЦВД СИЦ Сховхеад избија температуре до 1600 ° Ц и садржи изузетно низак коефицијент топлотне експанзије, обезбеђујући структурну стабилност током брзог повећања и смањује се. Његова јединствена топлотна проводљивост додатно оптимизује расподелу температуре у оквиру реакционог комора, минимизирајући разлике од таложења између ивице и средишта одлагања и побољшање филмске униформности.

● Корозија против плазме

Током јеткања или поступка таложења, високо корозивне гасове (као што је ЦФ₄, Цл₂и ХБР) брзо еродирају конвенционалне кварцне или графитне компоненте. ЦВД СИЦ материјал показује изузетну отпорност на корозију у плазми окружењима, са животником од 3-5 пута од конвенционалних материјала. Стварно испитивање купца показало је да и после 2000 сати непрекидног рада, варијација величине пора остала у року од 1%, обезбеђујући дуготрајно стабилно дистрибуцију протока гаса.

● Дуг живот и низак трошак одржавања

Иако традиционалне графитне компоненте захтевају честу замену, глава за туширање ЦВД са СИЦ-ом обложеним стабилним перформансама чак и у оштрим окружењима. То смањује укупне трошкове за преко 40%. Поред тога, висока механичка чврстоћа материјала спречава случајно оштећење током руковања или уградње.

● Одобрење за верификацију еколошког ланца

ВетекЕмимицон ЦВД Силицон Царбиде СховЛеад 'Ецололошко верификација ланца покрива сировине до производње, проследила је међународну стандардну сертификацију и има низ патентираних технологија како би се осигурала његова поузданост и одрживост у полуводичу и новим енергетским пољима.

Технички параметри

Пројекат	Параметар
Материјал	ЦВД СИЦ (доступне опције премаза)
Распон пречника	100 мм-450 мм (прилагодљив)
Толеранција на дебљину	± 0,05 мм
Храпавост површине	≤0.2μм
Применљиви поступак	ЦВД / МОЦВД / ПЕЦВД / ЕТЦХИНГ / ЕПИТАКСИ

Главна поља апликација

Правац наношења	Типичан сценарио
Производња полуводича	Силицон Епитакки, Ган / Гаас уређаји
Електроника за напајање	Производња ливена сиц епитакксија
Вод	Моцвд Саппхире Депонирање подлоге
Научна истраживачка опрема	Високо прецизни систем танког фолије

Одобрење за верификацију еколошког ланца

ВетекЕмимицон ЦВД Силицон Царбиде СховЛеад 'Ецололошко верификација ланца покрива сировине до производње, проследила је међународну стандардну сертификацију и има низ патентираних технологија како би се осигурала његова поузданост и одрживост у полуводичу и новим енергетским пољима.

За детаљне техничке спецификације, бели радови или аранжмани за тестирање узорака, молим васКонтактирајте нашу техничку тиму за подршкуИстражити како ВетекЕктимицон може побољшати вашу ефикасност процеса.