Сиц ивица

У области производње полуводича, прстенови ивица СИЦ-а, као основне компоненте опреме за прераду граница, револуционишу индустријски пејзаж својим својствима материјала. Вредност ове прецизне компоненте од појединачних кристала силицијума не само у свом високотехнолошког садржају, већ и у значајном побољшању приноса и оптимизацији оперативних трошкова које може довести до произвођача чипова.

СКУПРОЛУРНЕ КАРАКТРСКЕ КАРАКТЕРИСТИКЕ СИЦ ЕДГЕ

СИЛИЦОН ЦАРБИДЕ ЕДГЕ Прстенови су кључне потрошне компоненте у полуводичкој опреми за структори и израђени су од силицијум-карбида високог чистоће силицијум карбида који су припремљени од стране хемијских таложења (ЦВД) метода паре. Пречник његове прстене структуре је обично 200-450 мм, а дебљина се контролише у року од 5-15 мм, која садржи следеће карактеристике:

1.Ектреме Толеранција: Може да издржи високотемпортско окружење од 1500 ℃

2 Плазма стабилност: Диелектрична константа 9.7, напон кварова 3МВ / цм

3. Геометријска тачност: Грешка око округлих ≤0,05 мм, храпавост површине РА <0,2 уМ

Пробој у производном процесу

Савремени процес припреме усваја тростепену методу:

1. матрица која се формира: изостатско прешање формирање осигурава униформну густину

2 Синтеринг високих температура: третман гунСифицатион у инертној атмосфери на 2100 ℃

3. Модификација површине: Наноскални заштитни слојеви се формирају кроз реактивни ЈОН ЕТЦХИНГ (РИЕ). Најновије истраживање показују да је радни век прстенова ивице силицијумског карбида допед са 3% борона повећан за 40%, а стопа контаминације лима се своди на ниво 0,01 ппм

Сценарији апликације

Показује неравност у процесима испод 5НМ:

2. Једишна униформност: Може да одступа одступање стопе за струју од ± 1,5% на ивици резина

3. Контрола загађења: Смањује загађење метала за 92% у поређењу са традиционалним квартз материјалима

4. Циклус одржавања: Може да ради непрекидно током 1500 сати у плазми ЦФ4 / О2

Ветексемицон је постигао пробој у домаћој производњи прстенова ивице СИЦ-а, што може да уштеде пуно трошкова трошкова. Добродошли да нас контактирате у било које време!