Чврсти СиЦ фокусни прстен

6. Главна поља примене

7. Предности језгра фокусног прстена Ветексеми солид СиЦ

Одлична отпорност на корозију плазме

Под продуженим излагањем високо корозивној плазми велике густине као што су ЦФ4, О2 и Цл2, конвенционални материјали су подложни брзом хабању и контаминацији честицама. Наш чврсти СиЦ фокусни прстен показује одличну отпорност на корозију, са стопом корозије далеко нижом него код материјала попут кварца или глинице. То значи да одржава глатку површину током времена, значајно смањујући ризик од дефекта плочице узрокованих хабањем и хабањем компоненти, обезбеђујући континуирану и стабилну масовну производњу.

Одлична стабилност високе температуре и перформансе управљања топлотом

Процес нагризања полупроводника генерише значајну топлоту, због чега компоненте коморе доживљавају драматичне температурне флуктуације. Наши фокусни прстенови имају изузетно низак коефицијент топлотног ширења, способни да издрже пролазне температуре до 1600°Ц без пуцања или деформације. Штавише, њихова инхерентна висока топлотна проводљивост помаже у равномерној и брзој дисперзији топлоте, ефикасно побољшавајући расподелу температуре на ивици плочице, чиме се побољшаванг уједначеност и конзистентност критичних димензија по целој плочици.

Изванредна чистоћа материјала и структурна густина

Ми стриктно контролишемо чистоћу сировина од силицијум карбида (≥99,999%) и елиминишемо контаминацију метала током процеса синтеровања како бисмо испунили строге захтеве напредних производних процеса за контролу трагова нечистоћа. Густа структура формирана високотемпературним синтеровањем има изузетно ниску порозност, скоро потпуно блокирајући продор процесних гасова и нуспроизвода. Ово спречава деградацију перформанси и раст честица изазваних унутрашњом деградацијом материјала, обезбеђујући чисто окружење процесне коморе.

Дуготрајан механички век и свеобухватна исплативост

У поређењу са конвенционалним потрошним материјалом који захтева честу замену, Ветексеми чврсти СиЦ фокусни прстенови нуде изузетну издржљивост. Они одржавају стабилне перформансе током свог радног века, продужавајући циклусе замене неколико пута. Ово не само да директно смањује трошкове набавке резервних делова, већ и значајно побољшава искоришћеност машине смањујући време застоја опреме за одржавање, што резултира значајним укупним предностима у погледу трошкова за купце.

Прецизна контрола величине и флексибилне услуге прилагођавања

Разумемо прецизне захтеве различитих машина и процеса за потрошни материјал. Сваки фокусни прстен се подвргава прецизној машинској обради и ригорозном тестирању како би се осигурале критичне толеранције димензија унутар ±0,05 мм. Такође нудимо прилагођене услуге, укључујући прилагођене величине, завршне обраде површине (полирање до Ра ≤ 0,2 μм) и прилагођавања проводљивости како би савршено одговарале вашим специфичним захтевима процеса и сценаријима примене.

За детаљне техничке спецификације, беле књиге или аранжмане за тестирање узорака, контактирајте наш тим за техничку подршку да бисте истражили како Ветексеми може побољшати ефикасност вашег процеса.