Епитаксијална реакторска комора обложена СиЦ

Опште информације о производу

Услови пословања производа

Апликација: Ветексемицон СиЦ обложена епитаксијална реакторска комора је дизајнирана за захтевне епитаксијалне процесе полупроводника. Обезбеђивањем изузетно чистог и стабилног окружења при високим температурама, значајно побољшава квалитет СиЦ и ГаН епитаксијалних плочица, чинећи га кључним каменом темељцем за производњу енергетских чипова високих перформанси и РФ уређаја.

Услуге које се могу пружити: анализа сценарија апликације корисника, одговарајући материјали, решавање техничких проблема.

Профил компаније：Ветексемицон има 2 лабораторије, тим стручњака са 20 година искуства у материјалима, са могућностима истраживања и развоја, производње, тестирања и верификације.

Предности језгра епитаксијалне реакторске коморе обложене Ветексемицон СиЦ

1. Супер отпорност на корозију

Ветексемицонова реакциона комора користи заштићени ЦВД процес за наношење изузетно густог премаза од силицијум карбида високе чистоће на површини супстрата. Овај премаз ефикасно се одупире ерозији високотемпературних корозивних гасова као што су ХЦл и Х2, који се обично сусрећу у СиЦ епитаксијалним процесима, суштински решавајући проблеме површинске порозности и распадања честица који се могу појавити у традиционалним графитним компонентама након дуготрајне употребе. Ова карактеристика осигурава да унутрашњи зид реакционе коморе остане гладак чак и након стотина сати непрекидног рада, значајно смањујући дефекте плочице узроковане контаминацијом коморе.

2. Стабилност високе температуре

Захваљујући одличним термичким својствима силицијум карбида, ова реакциона комора може лако да издржи континуиране радне температуре до 1600°Ц. Његов изузетно низак коефицијент топлотног ширења осигурава да компоненте минимизирају акумулацију термичког напрезања током сталног брзог загревања и хлађења, спречавајући микропукотине или структурна оштећења узрокована термичким замором. Ова изванредна термичка стабилност обезбеђује кључни прозор процеса и гаранцију поузданости за епитаксијалне процесе, посебно СиЦ хомоепитаксију која захтева окружење високе температуре.

3. Висока чистоћа и ниско загађење

Веома смо свесни одлучујућег утицаја квалитета епитаксијалног слоја на коначни учинак уређаја. Због тога Ветексемицон тежи највишој могућој чистоћи премаза, осигуравајући да она достигне ниво од преко 99,9995%. Оваква висока чистоћа ефикасно потискује миграцију металних нечистоћа (као што су Фе, Цр, Ни, итд.) у процесну атмосферу на високим температурама, чиме се избегава фатални утицај ових нечистоћа на квалитет кристала епитаксијалног слоја. Ово поставља чврсту материјалну основу за производњу енергетских полупроводника високих перформанси и радио фреквенцијских уређаја високих перформанси.

4. Дизајн дугог века

У поређењу са непревученим или конвенционалним графитним компонентама, реакционе коморе заштићене СиЦ премазима нуде неколико пута дужи радни век. Ово је првенствено због свеобухватне заштите подлоге премазом, спречавајући директан контакт са корозивним процесним гасовима. Овај продужени животни век се директно претвара у значајне трошковне користи — купци могу значајно да смање време застоја опреме, набавку резервних делова и трошкове рада за одржавање повезане са периодичном заменом компоненти коморе, чиме ефективно смањују укупне оперативне трошкове производње.

5. Потврда верификације еколошког ланца

Верификација еколошког ланца епитаксијалне реакторске коморе са Ветексемицон СиЦ-ом покрива сировине до производње, прошла је сертификат међународног стандарда и има низ патентираних технологија које осигуравају његову поузданост и одрживост у областима полупроводника и нове енергије.

За детаљне техничке спецификације, беле књиге или аранжмане за тестирање узорака, контактирајте наш тим за техничку подршку да бисте истражили како Ветексемицон може побољшати ефикасност вашег процеса.