МОЦВД СиЦ пресвучени сусцептор

Тецхницал Параметерс

ЦВД СИЦ ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

Дефиниција и састав производа

ВЕТЕК МОЦВД СиЦ Цоатед Сусцептор је врхунска компонента која носи плочице, пројектована посебно за епитаксијалну обраду полупроводника треће генерације, као што су ГаН и СиЦ. Овај производ интегрише супериорна физичка својства два материјала високих перформанси:

Графитна подлога високе чистоће: Произведен коришћењем технологије изостатичког пресовања како би се осигурало да основни материјал поседује изузетан структурални интегритет, високу густину и стабилност термичке обраде.

ЦВД СиЦ премаз: Густи заштитни слој силицијум карбида (СиЦ) без стреса се узгаја на површини графита кроз напредну технологију хемијског таложења паром (ЦВД).

Зашто је ВЕТЕК Ваша гаранција приноса

Врхунска прецизност у контроли термичке униформности: За разлику од конвенционалних носача, ВЕТЕК сусцептори постижу високо синхронизован пренос топлоте преко целе површине кроз нанометарску прецизну контролу дебљине премаза и топлотне отпорности. Ово софистицирано управљање топлотом ефикасно минимизира стандардну девијацију таласне дужине (СТД) на површини плочице, значајно повећавајући квалитет једне плочице и укупну конзистентност серије.

Дуготрајна заштита са нултом контаминацијом честицама: У МОЦВД реакционим коморама које садрже веома корозивне гасове, обични графитни постољи су склони љуштењу честица. ВЕТЕК-ов ЦВД СиЦ премаз поседује изузетну хемијску инертност, делујући као непробојни штит који затвара графитне микропоре. Ово обезбеђује потпуну изолацију нечистоћа супстрата, спречавајући било какву контаминацију епитаксијалних слојева ГаН или СиЦ.

Изузетна отпорност на замор и радни век:Захваљујући ВЕТЕК-овом власничком процесу третмана интерфејса, наш СиЦ премаз постиже оптимално подударање термичког ширења са графитном подлогом. Чак и под високофреквентним термичким циклусом између екстремних температура, премаз одржава супериорну адхезију без љуштења или развоја микро-пукотина. Ово значајно смањује учесталост одржавања резервних делова и смањује укупне трошкове поседовања.

Наша радионица