СиЦ обложен графитни пријемник за АСМ

Опште информације о производу

Услови пословања производа

✔ Апликација: Ветексемицон СиЦ обложен графитни супстрат је кључни потрошни материјал за епитаксијалну опрему АСМ серије. Он директно подржава плочицу и обезбеђује једнообразно и стабилно топлотно поље током епитаксије на високим температурама, што га чини основном компонентом за обезбеђивање висококвалитетног раста напредних полупроводничких материјала као што су ГаН и СиЦ.

✔ Услуге које се могу пружити: анализа сценарија апликације корисника, одговарајући материјали, решавање техничких проблема. 

✔ Профил компаније：Ветексемицон има 2 лабораторије, тим стручњака са 20 година искуства у материјалима, са могућностима истраживања и развоја, производње, тестирања и верификације.

Тецхницал Параметерс

Ветексемицон СиЦ обложен графитни пријемник за предности АСМ језгра

1. Екстремна чистоћа и ниска стопа дефекта

Користећи специјалну графитну подлогу високе чистоће, финих честица, у комбинацији са нашим строго контролисаним процесом наношења премаза хемијском паром (ЦВД), обезбеђујемо да је премаз густ, без рупица и нечистоћа. Ово значајно смањује ризик од контаминације честицама током епитаксијалног процеса, обезбеђујући чисто окружење супстрата за раст висококвалитетних епитаксијалних слојева.

2. Одлична отпорност на корозију и отпорност на хабање

Пиролитички премаз од силицијум карбида поседује изузетно високу тврдоћу и хемијску инертност, ефикасно се одупире ерозији извора силицијума (као што су СиХ4, СиХЦл3), извора угљеника (као што је Ц3Х8) и гасова за нагризање (као што су ХЦл, Х2) на високим температурама. Ово значајно продужава циклус одржавања базе и смањује време застоја машине узроковано заменом компоненти.

3. Одлична термичка униформност и стабилност

Оптимизирали смо дистрибуцију топлотног поља у опсегу радне температуре кроз прецизан дизајн структуре подлоге и контролу дебљине премаза. Ово се директно преводи у одличну униформност дебљине и отпорности у епитаксијалној плочици, доприносећи побољшаном приносу производње чипова.

4. Одлична чврстоћа пријањања премаза

Јединствена предтретман површине и технологија градијентног премаза омогућавају премазу од силицијум карбида да формира јак везивни слој са графитном подлогом, ефикасно спречавајући проблеме љуштења премаза, љуштења или пуцања који се могу јавити током дуготрајног термичког циклуса.

5. Прецизна величина и структурна репликација

Поседујемо зреле ЦНЦ могућности обраде и тестирања, што нам омогућава да у потпуности реплицирамо сложену геометрију, димензије шупљина и интерфејсе за монтажу оригиналне базе, обезбеђујући савршено усклађивање и функционалност плуг-анд-плаи са платформом корисника.

6. Потврда верификације еколошког ланца

Ветексемицон СиЦ обложен графитни пријемник за верификацију еколошког ланца АСМ-а покрива сировине до производње, прошао је сертификат међународног стандарда и има низ патентираних технологија које осигуравају његову поузданост и одрживост у областима полупроводника и нове енергије.

За детаљне техничке спецификације, беле књиге или аранжмане за тестирање узорака, контактирајте наш тим за техничку подршку да бисте истражили како Ветексемицон може побољшати ефикасност вашег процеса.

Главна поља примене

Ветексемицон продавница производа