Производи

ВеТек Семицондуцтор'с Солид СиЦ додаци за Аиктрон Г10-СиЦ платформу су високе чистоће, потпуно густе компоненте силицијум карбида дизајниране за захтевно термичко и хемијско окружење СиЦ епитаксијалног раста. Ови делови пружају изванредну стабилност при високим температурама, хемијску отпорност и ултра-ниско стварање честица, подржавајући конфигурацију планетарног реактора велике пропусности 9×150 мм / 6×200 мм која се користи у производњи енергетских уређаја.

ВЕТЕК Профессионал Сервице Цлеанинг фор ЦВД СиЦ Цоатед Грапхите Партс је специјализована техничка служба дизајнирана за Аиктрон / Веецо МОЦВД опрему и графитне компоненте које се користе у ГаН / АлН / АлГаН епитаксијалним процесима. Наш власнички процес чишћења темељно елиминише ефекат површинске меморије, обнавља стабилан проток гаса у реактору и стриктно штити ЦВД СиЦ премаз од 100 µм са апсолутном нултом губитком дебљине и нултим остатком метала.

ВЕТЕК ЦВД СиЦ обложен графитни сусцептор за носач плочице је компонента за подршку плочице високих перформанси дизајнирана за процесе епитаксије полупроводника. Производ користи графит високе чистоће као подлогу и обложен је униформним ЦВД слојем силицијум карбида (СиЦ), пружајући одличну термичку стабилност, хемијску отпорност и контролу честица. Као критична компонента графита, он директно подржава плочице унутар реакционе коморе и помаже у одржавању уједначене дистрибуције температуре и стабилних услова епитаксијалног раста.

ВеТек Семицондуцтор испоручује висококвалитетни силицијум карбид (СиЦ) прах посебно скројен за високоприносни раст кристала СиЦ (ПВТ процес), производњу полупроводничких супстрата и напредну функционалну керамику. Обрађен кроз ултра-чисту технологију пречишћавања, наш СиЦ сирови материјал високе чистоће обезбеђује изузетно ниске нивое метала у траговима, поновљиве перформансе сублимације и високо конзистентан квалитет серије до серије како би се испунили ригорозни захтеви производње полупроводника.

ВЕТЕК Хигх Пурити Куартз Вафер Боат за ТЕЛ полупроводничку опрему је произведен од кварцног материјала полупроводничког квалитета и дизајниран је за руковање плочицама у високотемпературним процесима као што су дифузија, оксидација, жарење и ЦВД. Са одличном термичком стабилношћу, отпорношћу на хемикалије и ниским карактеристикама контаминације, пружа поуздану подршку за полупроводнике у производњи полупроводника.

ВЕТЕК порозни ТаЦ обложен графитни прстен је компонента термичког поља пројектована за раст монокристала СиЦ путем ПВТ (Пхисицал Вапор Транспорт) процеса. Произведен је од порозног графита високе чистоће и обложен тантал карбидом (ТаЦ) коришћењем ЦВД технологије. Дизајн циља стабилност на високим температурама, хемијску отпорност и контролисане перформансе термичког поља. Минимизирајући контаминацију и подржавајући конзистентност процеса, ова компонента доприноси поновљивим резултатима раста кристала СиЦ.