ЦВД Графитни РТП РТА носач обложен силицијум карбидом (СиЦ).

Карактеристике производа

· Основна опрема:Дизајниран за системе брзог термичког жарења (РТА) и брзе термичке обраде (РТП).

· Примари Aапликација: Оптимизовано за процесе жарења полупроводничких плочица.

· Опeрејтинг Тетемпература:Стабилан рад од 200°Ц до 700°Ц.

· Eкцеллент Тхермала униформност: Осигурава равномерну дистрибуцију топлоте за конзистентну обраду вафла.

· Лов ПартицлеGенерација: Густи ЦВД СиЦ премаз минимизира контаминацију и побољшава принос производње.

· Супериорна хемијска отпорност:Отпоран на оксидацију и корозивне процесне гасове током термичке обраде.

· Изванреданг Тхермотпорност на ударце: Одржава структурни интегритет кроз поновљене брзе циклусе загревања и хлађења.

· Дуг радни век:СиЦ премаз отпоран на хабање значајно продужава животни век компоненти и смањује трошкове одржавања.

· ЦустомПроизводња:Доступан у различитим величинама и конфигурацијама како би одговарао различитој РТП/РТА опреми.

Техничке спецификације

Апликације

·Брзо термичко жарење (РТА)

· Брза термичка обрада (РТП)

· Жарење силицијумских плочица

· Допант Ацтиватион

· Оксидација

· Дифузија

·Производња сложених полупроводника

·МЕМС Фабрицатион

·Повер Семицондуцтор Процессинг

ФАК

1. Шта је РТП/РТА носилац?

РТП/РТА носач је компонента за подршку плочице која се користи унутар система за брзу термичку обраду и брзо термичко жарење. Он безбедно држи полупроводничке плочице док обезбеђује равномеран пренос топлоте током термичког циклуса.

2. Зашто је ЦВД СиЦ премаз пожељнији?

У поређењу са голим графитом, ЦВД СиЦ премаз нуди супериорну отпорност на оксидацију, ниже стварање честица, бољу хемијску стабилност и знатно дужи радни век.

3. Може ли ВЕТЕК да обезбеди прилагођене РТП/РТА носаче?

Да. ВЕТЕК нуди прилагођене РТП/РТА носаче на основу цртежа купаца.