Како одабрати моцвд графитни пладањ?

Питање 1: Шта је МОЦВД графитни пладањ и зашто је то толико важно за епитаксијални процес?

Графичка плоча метала-органског исхране (МОЦВД), такође позната и као МОЦВД графитно пладањ или моцвд графит суцепт, је компонента високе чистоће која се користи за решавање полуводичких вафера током епитаксијачког раста. У епитаксијалном процесу делује као грејни елемент и осигурава равномерну дистрибуцију температуре, која игра незамјењиву улогу у депоновању танких филмова у апликацијама као што су напредни полуводички уређаји, ЛЕД производна и соларна ћелија.

Графитна ладица може да издржи екстремне температуре (до 1.800 ° Ц) и окружења за корозивно гасово, што га чини неопходним материјалом за високу температуру, моквд отпорне на корозију. Његов перформанс директно утиче на усклађеност процеса и приноса од лима.

Питање 2: Које материјалне особине треба да буду приоритетне приликом одабира плочица МОЦВД графита?

Одабир праве графитне плоче захтева процену својих физичких и хемијских својстава:

● Висока чистоћа (преко 99.999%):

Обично нечистоће попут метала или пепела могу контаминирати епитаксијални процес. Одабир ГРАФИТЕРСКОГ ДОБИТАКА ГРАФИТЕРКА ГРАФИТЕР-а као што је ВетекЕктимицон осигурава минималне недостатке у полуводичком епилепту.

●  Одлична топлотна стабилност:

Током стварне обраде, графитне плоче морају да издрже одређене топлотне шокове и одржавају структурни интегритет у брзим циклусима температуре. ГРАФИТЕ ВЕТЕКСЕМЕМЕМОН ХИГХ-ГУЕНСИТИ ГРАФИТ осигурава уједначену дистрибуцију топлоте која је критична за равномерни раст филма.

●  Одлична отпорност на корозију:

У процесном окружењу МОЦВД графит је углавном изложен корозивним гасовима (нпр. Амонијак, водоник). Моцвд графитне плоче отпорне на високе температуре са финозрнастом структуром, минимизирају корозију и продужавају радни век.

●  Механичка снага високог перформанси:

У епитаксијалном процесу, МОЦВД графитни носачи морају да подрже више вафла без искривања. Према статистици ВетекСемимимима у стварној обради, снага савијања графитне плоче мора бити ≥50 МПа да спречи пуцање ладице.

К3: Како се сценариј апликације утиче на избор МОКВД графичних ладица?

Различити процеси МОЦВД-а захтевају прилагођене дизајне графитне плоче:

●  Епитаксијални раст ЛЕД / Пхотоницс:

Ултра-Смоотх Моцвд графитне плоче користе се у поступку епитаксије да би се смањила стварање честица и осигуравају слојеве без оштећења.

На пример, ВЕТЕКСЕМЕМИЦОН МОЦВД графитне плоче (или ВетекЕктимицон Грапхите плоче за МОЦВД) дизајнирани су за ЕПИТАКСИ ГАН и ГААС и омогућавају оптимизовано термичко управљање.

●  Поништи полуводича:

У комбинацији са експерименталним статистикама полуводичке полуводике, плоче са побољшаним оксидационим отпорностима углавном се преферирају за процесе силицијум карбида (СИЦ) или Галлиум Нитрид (ГАН).

●  Производња високе пропусности:

Мулти-вафли ладице захтијевају прецизну обраду за усклађивање са дизајном реактора. Прилагодљиве моцвд графитне ладице из поузданог добављача семицондуктор се полуводит може ускладити одређене конфигурације алата.

К4: Која су кључна разматрања за проналажење поузданог добављача МоцВД Графите плоча?

●  Сертификација и тестирање:

Проверите да добављач пружа сертификацију материјала (нпр. Извештај чистоће, тест густине) и омогућава поступак по порођању (нпр. Премаз да би се смањила порозност). Као водећи кинески полуводички премаз и произвођач опреме за епитакксију, ВЕТЕКСЕМЕМИЦОН МОЦВД ГРАПХИТЕ ПЛОПТИРАНЕ ОПРЕМЕНЕ ОСТАВЉАЊА РУДОРНИХ КРЕТНИХ ЕКСПЕРИМЕНТА, а резултати испитивања и тестирања густине њених производа далеко је испред својих вршњака.

●  Могућности прилагођавања:

Врхунски пафитни добављач високих чистоћа треба да прилагоде величину, образац рупе и премаза како би задовољили ваше захтеве реактора. И Семицондуктор Ветекстимицон и Семикера имају могућности прилагођавања услуга сродних производа и технологија и у потпуности су способни да испуне ваше различите прилагођене потребе.

●  Животни и економичност:

Иако је јефтини графит уштедети унапред трошкове, инфериорне графитне плоче довешће до честих замјена и застоја, озбиљно утичу на нормалну ефикасност производње. Одабир ВЕТЕКСЕМЕМИМОНА ГРАФИТЕНИХ ПЛОЗА И ДРУГИХ КВАЛИТЕТНИХ ПРОИЗВОДА омогућиће вашем послу да постигне дугорочну поуздану производњу.

К5: Како проширити радни век моцвд графитних ладица?

●  Спречити оксидацију: Користите инертну прочишћавање гаса током циклуса грејања / хлађења.

●  Редовно чисто: Користите не-абразивне методе (као што су суво јетковање) да бисте уклонили депоновани остаци.

●  Избегавајте механички стрес: Пажљиво ручите по пладњу током оптерећења / истовара.

Најбољи савет ВЕТЕКСЕМЕМИН-а:

За моцвд графитне плоче које су отпорне на високу температуру корозију, дају предност добављачима са стручношћу у материјалима за полуводиче.

Испитајте узорке под стварним условима процеса за верификацију перформанси.

Истражите напредне премазе (као што су СИЦ премаз, ТАЦ премаз) за унапређење трајности и поузданости у екстремним окружењима.

За више информација о СИЦ-овом превлаку МОЦВД графитна плоча, кликните овде.

За више информација о ТАЦ премаз Моцвд графитној плочи кликните овде.