Пробој технологије танталума карбида, сић епитаксијално загађење смањено за 75%?

Недавно је немачки истраживачки институт Фраунхофер ИИСБ пробојан у истраживању и развојуТехнологија превлачења карбиде Тантеми развио је раствор за прекривање спреја који је флексибилнији и еколошки прихватљив од раствора за таложење ЦВД-а и комерцијализован је.

А домаћи ветек полуводич је такође направио пробој у овој области, погледајте доле за детаље.

Фраунхофер ИИСБ:

Развијање нове технологије ТАЦ премаз

5. марта, према медијима "Једињење полуводича", Фраунхофер ИИСБ је развио новоТАНТАЛУМ ЦАРБИДЕ (ТАЦ) технологија премаза-Таццотта. Технолошка лиценца је пребачена у Ниппон КорнМеиер карбонска група (НКЦГ), а НКЦГ је почео да пружа папирне делове пресвучене за своје купце.

Традиционална метода израде ТАЦ премаза у индустрији је хемијска таложење паре (ЦВД), који се суочава са недостацима као што су високи трошкови производње и дуготрајно време испоруке. Поред тога, ЦВД метода је такође склона пуцању ТАЦ-а током поновљеног грејања и хлађења компоненти. Ове пукотине излажу основни графит, који озбиљно разграђује и потребно је заменити.

Иновација ТАЦТОТТА је да користи водену методу премаз на бази у води након чега следи температурни третман да би се формирао ТАЦ премаз са високом механичком стабилношћу и подесивом дебљиномГрафитни подложак. Дебљина премаза може се подесити са 20 микрона на 200 микрона да одговарају различитим захтевима апликације.

Технологија процеса ТАЦ коју је развила Фраунхофер ИИСБ може подесити потребна својства премаза, као што су дебљине, као што је приказано у доље у опсегу од 35 μм до 110 ум.

Конкретно, таццотта прекривач прскања такође има следеће кључне карактеристике и предности:

● Погодније еколошки прихватљиве: са превлаком на распршивима на бази воде, ова метода је еколошки прихватљивија и једноставна за индустријализација;

● Флексибилност: ТАЦЦОТТА технологија може се прилагодити компонентама различитих величина и геометрија, омогућавајући делимично превлачење и обнову компонената, што није могуће у ЦВД-у.

● Смањење загађења танталом: графитне компоненте са таццотта премазом се користе у производњи суштине СИЦ, а загађење танталума се смањује за 75% у поређењу са постојећимЦВД премази.

● Отпорност на хабање: Испитивања за огреботине показују да повећање дебљине премаза може значајно побољшати отпорност на хабање.

Огреботина

Извештава се да је технологија промовисана за комерцијализацију НКЦГ, заједничко улагање фокусирајући на пружање високих перформанси графитског материјала и сродних производа. НКЦГ ће такође учествовати у развоју ТАЦЦОТТА технологије у будућности. Компанија је почела да пружа графитне компоненте засноване на ТАЦЦОТТА технологији својим купцима.

Семицондуктор Ветек-а промовише локализацију ТАЦ-а

Почетком 2023. године, Семицондуктор Ветека покренуо је нову генерацијуРаст система на сићуТермички теренски материјал-Порозни танталумски карбид.

Према извештајима, Сетек Семицондуцтор је покренуо пробој у развојуПорозни танталумски карбидса великом порозношћу кроз независну технологију истраживања и развоја. Порозност може достићи до 75%, постизање међународног лидерства.