Вести

Шта је ПЕЦВД графитни брод?

Ⅰ. Који је материјал Пецвд графитног чамца?


Основни материјалПецвд графитни брод(Побољшана плазма побољшана хемијска паре графички брод) је направљен од велике чистоћеизотропни графитни материјал(Чистоћа је обично ≥99,999%) и модификована је посебним процесима (као што су ЦВД за таложење хемијског паре или површински премаз). ГРАФИТЕ ХИГХ-ХЕАРИТИ ГРАФИТЕ се широко користи у ПЕЦВД системима због своје одличне електричне проводљивости и високе топлотне проводљивости (80 ~ 150 в / м · к). ОвоГрафички материјал високе чистоћеМоже да одржава добру структурну стабилност и хемијску стабилност у окружењу високих температура и може се одупријети корозији из реактивних гасова и плазме.


Ⅱ. Која су физичка својства графитног чамца?


Физичка својства ПЕЦВД графитних бродица укључују:


● Електрична проводљивост: Изостатски графит има одличну електричну проводљивост, што омогућава да ефикасно управља електричном енергијом и промовише производњу и одржавање плазме током процеса ПЕЦВД-а.

●  Топлотна проводљивост: Висока топлотна проводљивост графита (око 80 ~ 150 в / м · к) помаже у одржавању стабилног температурног окружења током процеса ВЕЦВД-а и обезбеди уједначено одлагање танких филмова.

●  Густина: Густина комерцијалног поликристалног графита у распону од 1,30 г / цм³ до 1,88 г / цм³. Што је виша густина, то је боља физичка и механичка својства која могу побољшати радни век производа.


Ⅲ. Које су предности ПЕЦВД графитног чамца у поређењу са обичним графитним бродом?


У поређењу са обичним графитним бродицама, ПЕЦВД графички бродови имају следеће предности:


Димензије
Пецвд графитни брод
Обични графитски брод
Чистоћа и густина
≥99,99%, порозност <5%
Ниска чистоћа (95 ~ 99%), висока порозност (> 10%)
Трошак
Висока почетна цена, али ниска свеобухватна цена одржавања
Ниска иницијална цена, али учестала замена повећава укупне трошкове
Контрола загађења
Садржај нечистоће <1ппм, стопа лове честица
Високе нечистоће метала, висок ризик од контаминације честица
Отпорност на корозију
Заштита премаза од плазме / хемијске корозије
Лако се кородира реактивним гасовима (као што је ЦЛ₂, О₂)
Компатибилност процеса
Прилагођен нискотемпутној температури, високоенергетски плазми
Погодно само за ЦВД високотемперате или дифузијске процесе
Животни век
> 1000 циклуса процеса (премаз не успева)
Прашак и пуцање након <500 циклуса

Ⅳ. Зашто бирати Ветекстимицон-ов Пецвд Графитни брод?


Као што сви знамо, ВетекЕктимицон је водећи произвођач и добављач производа за облагање полуводича иГрафитни производиу Кини. НашПЕЦВД графитни бродовиуглавном се користе у полуводичкој и фотонапонским индустријама, посебно у процесима у Пецвд и ЦВД-у.


Графитни чамци се обично користе као превозници за ношење силицијума или другим материјалима како би се осигурало сигурно руковање и превоз ових материјала у окружењу високе температуре и у плазми. На пример, у процесу производње полуводича, ВетекстимицОн-ови ПЕЦВД графитске бродове дизајнирани су за побољшане процесе хемијских паре у плазми. Графички брод свира улогу депоновања силицијумног нитрида (синₓ) пасивизационих слојева и ниске диелектричне константе (лов-к) филмове.


У пољу фотонапонске поље, ПЕЦВД графички чамци користе се за припрему танковских соларних ћелија на бази силицијума (као што су аморфни силицијум А-СИ: Х) и перц ћелијски пасивизациони слојеви. ВЕТЕКСЕМЕМИЧКИ ПЕЦВД БИГХИТЕ БРОЈ оптимизује процес премаза ефикасно размаком силиконских вафера и изазвајући сјај сјаја да би се постигао јединствени таложни премаз.


Још важније, ВетекЕктимицон може да обезбеди прилагођене производе и техничке услуге и може да дизајнира и производи графитно бродски производи различитих спецификација у складу са вашим стварним захтевима процеса. Одабир ВетеКсемицон-а значи одабрати вођу индустрије са снажном снагом у полуводичкој и фотонапонским индустријама. Искрено се радујемо што ћемо постати ваш дугорочни партнер.


what is a PECVD graphite boat?

Повезане вести
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept