Вести

Шта је ПЕЦВД графитни брод?

2025-03-04

Ⅰ. Који је материјал Пецвд графитног чамца?


Основни материјалПецвд графитни брод(Побољшана плазма побољшана хемијска паре графички брод) је направљен од велике чистоћеизотропни графитни материјал(Чистоћа је обично ≥99,999%) и модификована је посебним процесима (као што су ЦВД за таложење хемијског паре или површински премаз). ГРАФИТЕ ХИГХ-ХЕАРИТИ ГРАФИТЕ се широко користи у ПЕЦВД системима због своје одличне електричне проводљивости и високе топлотне проводљивости (80 ~ 150 в / м · к). ОвоГрафички материјал високе чистоћеМоже да одржава добру структурну стабилност и хемијску стабилност у окружењу високих температура и може се одупријети корозији из реактивних гасова и плазме.


Ⅱ. Која су физичка својства графитног чамца?


Физичка својства ПЕЦВД графитних бродица укључују:


● Електрична проводљивост: Изостатски графит има одличну електричну проводљивост, што омогућава да ефикасно управља електричном енергијом и промовише производњу и одржавање плазме током процеса ПЕЦВД-а.

●  Топлотна проводљивост: Висока топлотна проводљивост графита (око 80 ~ 150 в / м · к) помаже у одржавању стабилног температурног окружења током процеса ВЕЦВД-а и обезбеди уједначено одлагање танких филмова.

●  Густина: Густина комерцијалног поликристалног графита у распону од 1,30 г / цм³ до 1,88 г / цм³. Што је виша густина, то је боља физичка и механичка својства која могу побољшати радни век производа.


Ⅲ. Које су предности ПЕЦВД графитног чамца у поређењу са обичним графитним бродом?


У поређењу са обичним графитним бродицама, ПЕЦВД графички бродови имају следеће предности:


Димензије
Пецвд графитни брод
Обични графитски брод
Чистоћа и густина
≥99,99%, порозност <5%
Ниска чистоћа (95 ~ 99%), висока порозност (> 10%)
Трошак
Висока почетна цена, али ниска свеобухватна цена одржавања
Ниска иницијална цена, али учестала замена повећава укупне трошкове
Контрола загађења
Садржај нечистоће <1ппм, стопа лове честица
Високе нечистоће метала, висок ризик од контаминације честица
Отпорност на корозију
Заштита премаза од плазме / хемијске корозије
Лако се кородира реактивним гасовима (као што је ЦЛ₂, О₂)
Компатибилност процеса
Прилагођен нискотемпутној температури, високоенергетски плазми
Погодно само за ЦВД високотемперате или дифузијске процесе
Животни век
> 1000 циклуса процеса (премаз не успева)
Прашак и пуцање након <500 циклуса

Ⅳ. Зашто бирати Ветекстимицон-ов Пецвд Графитни брод?


Као што сви знамо, ВетекЕктимицон је водећи произвођач и добављач производа за облагање полуводича иГрафитни производиу Кини. НашПЕЦВД графитни бродовиуглавном се користе у полуводичкој и фотонапонским индустријама, посебно у процесима у Пецвд и ЦВД-у.


Графитни чамци се обично користе као превозници за ношење силицијума или другим материјалима како би се осигурало сигурно руковање и превоз ових материјала у окружењу високе температуре и у плазми. На пример, у процесу производње полуводича, ВетекстимицОн-ови ПЕЦВД графитске бродове дизајнирани су за побољшане процесе хемијских паре у плазми. Графички брод свира улогу депоновања силицијумног нитрида (синₓ) пасивизационих слојева и ниске диелектричне константе (лов-к) филмове.


У пољу фотонапонске поље, ПЕЦВД графички чамци користе се за припрему танковских соларних ћелија на бази силицијума (као што су аморфни силицијум А-СИ: Х) и перц ћелијски пасивизациони слојеви. ВЕТЕКСЕМЕМИЧКИ ПЕЦВД БИГХИТЕ БРОЈ оптимизује процес премаза ефикасно размаком силиконских вафера и изазвајући сјај сјаја да би се постигао јединствени таложни премаз.


Још важније, ВетекЕктимицон може да обезбеди прилагођене производе и техничке услуге и може да дизајнира и производи графитно бродски производи различитих спецификација у складу са вашим стварним захтевима процеса. Одабир ВетеКсемицон-а значи одабрати вођу индустрије са снажном снагом у полуводичкој и фотонапонским индустријама. Искрено се радујемо што ћемо постати ваш дугорочни партнер.


what is a PECVD graphite boat?

Повезане вести
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept