Брод са високим чистоћима куартз

Високо чистоће са високим чистоћим вожњим вожњим вожњим одликом чистоће је направљен од ултра-високе чистоће кварц, који има карактеристике ниског хидроксилног садржаја, високе чистоће и јаке високе температуре отпорност на високу температуру. Овај материјал се такође широко користи у индустрији полуводича као материјал за дифузијске пећи и компоненте за ЦВД пећи. Као контејнер за ношење силицијумског трупа, широкоисточни куартз чувар се користи у полуводичкој, фотонапонским, хемијским и другим пољима.

Сценарији апликације

Прво је поље полупроводника. Процес топлотне обраде плочица је веома важан, укључујући термичку оксидацију, дифузију, жарење, итд. Процесом топлотне обраде дајемо плочицама нове карактеристике.

Цеви са језгром шаржне пећи се користе за процесе обраде полупроводничких плочица као што су термичка оксидација, дифузија на високим температурама, жарење и таложење танког филма. Пећ за серијско грејање се углавном користи за загревање тела пећи помоћу намотаја како би се завршила топлотна обрада. Према различитим радним структурама, цеви са језгром серијских пећи могу се поделити на хоризонталне пећи и вертикалне пећи:

(1) Кварцни чамац високе чистоће хоризонталне пећи постављен је хоризонтално, тако да се назива хоризонтална пећ.

У процесу пречишћавања топлоте, вафли се учитава на брзу чистоће кварцно платној чамци, полако је упућен у цев кварцне пећи, а вафли се поставља у константну температурну зону за прераду. Након што се чека да се процес буде завршен, половне куартз чамац се полако извлачи из кварцне пећи како би се спречило оштећења резања због наглих промена температуре. Хоризонталне пећи се широко користе у процесу дифузије интегрисаних кругова са пречником од важења мањим од 200 мм. 

Предности хоризонталних пећи су једноставан процес, добра уједначеност између обланда и могућност обраде више плочица у исто време. Недостаци су мала брзина загревања, велика величина опреме, потешкоће у аутоматизацији и лак улазак спољашњег ваздуха приликом утовара и истовара вафла.

(2) Велики чистоћи куартз чамац вертикалне пећи постављен је вертикално, тако да се зове вертикална пећ.

Облатна се убацује на кварцни торањ и полако се подиже до цеви кварцне пећи ради загревања. Током процеса загревања, кварцни чамац високе чистоће ће се полако ротирати како би се осигурало да се обланда загрева равномерно. Након обраде, кварцни торањ ће се полако спуштати како би се избјегле температурне промјене које могу узроковати оштећење плочице. Вертикалне пећи се углавном користе у процесу интегрисаног кола за плочице пречника 200 мм и 300 мм. Основна технологија вертикалних пећи лежи у високопрецизној контроли температурног поља, контроли честица, контроли микро-окружења и моторизацији. Предности вертикалних пећи су танак природни оксидни слој, добра униформност, лакша аутоматизација, мали отисак опреме и серијска обрада. Недостатак је што је брзина загревања мала.

У фотонапонском пољу, процес производње фотонапонских ћелија захтева кварцне чамце за ношење и транспорт силицијумских плочица у процесу дифузије при високим температурама. Високотемпературни третман у атмосфери азота, кисеоника или другог инертног гаса високе чистоће, као што је дифузија фосфора или дифузија бора, важан је корак у процесу производње соларних ћелија. Сврха је да се формира ПН спој на силиконској плочици.

Куартз Боат прецизно је дизајнирао утор за осигуравање да силицијум одржи тачан положај током дифузије високог температура и равномерно се загрева. Пошто кварцни материјал има добру отпорност на високу температуру и хемијску стабилност, неће загађивати силицијум резину, што погодује за одржавање високе чистоће производног окружења.

Као иноватор и лидер на кинеском тржишту кварцних чамаца за кварцне чамце, без обзира да ли сте ангажовани у индустрији полупроводника или фотонапонској индустрији, све док вам је потребан кварцни чамац високе чистоће, питајте нас за понуду и ми ћемо моћи да прилагодимо то за вас према вашим потребама.

ВеТек Семицондуцтор Продавнице производа: