Порозни силицијум карбид (сиц) керамичке плоче: Материјали високог перформанси у производњи полуводича

Ⅰ. Шта је порозна сић керамичка плоча?

Порозна силиконска керамичка плоча је порозна структура керамичких материјала израђена од силицијум-карбида (СИЦ) посебним процесима (као што су пенање, 3Д штампање или додавање средстава за формирање пора намеран порама порекла). Њене основне карактеристике укључују:

● Порозност контроле: 30% -70% подесиво за задовољење потреба различитих сценарија апликације.

● Униформна дистрибуција величине пора: Осигурати стабилност преноса гаса / течности.

● Лаган дизајн: Смањите потрошњу енергије опреме и побољшати ефикасност рада.

Ⅱ.Фиве основна физичка својства и корисничка вредност порозних сиц керамичких плоча

1. Високо температурно отпорност на температуру и топлотно управљање (углавном да би се решили проблем топлотног квара)

● Екстремни отпор температуре: Континуирана радна температура достиже 1600 ° Ц (30% већа од алумина керамике).

● Топлотна проводљивост велике ефикасности: Коефицијент топлотне проводљивости је 120 В / (м · к), брзи дисипација топлоте штити осетљиве компоненте.

● Ултра-ниска топлотна експанзија: Коефицијент топлотне експанзије је само 4,0 × 10⁻⁶ / ° Ц, погодан за рад под екстремним високим температурама, ефикасно избегавајући високу деформацију температуре.

2 Хемијска стабилност (смањење трошкова одржавања у корозивним окружењима)

● Отпоран на јаке киселине и алкалије: Може да издржи корозивне медије као што су ХФ и Хонсо₄

● Отпоран на ерозију плазме: Живот у исцрпљивој опреми се повећава за више од 3 пута

3. Механичка чврстоћа (проширивање животне опреме)

● Велика тврдоћа: ММС Тврдоћа је чак 9.2, а отпорност на хабање је боља од нехрђајућег челика

● Снага савијања: 300-400 МПА, подршка вафлама без искривљавања

4. Функционализација порозних структура (побољшање приноса процеса)

● Уједначена дистрибуција гаса: ЦВД процесна филмска униформност је повећана на 98%.

● Прецизна контрола адсорпције: Тачност позиционирања електростатичког Цхуцка (ЕСЦ) је ± 0,01 мм.

5. Гаранција чистоће (у складу са стандардима полуводича)

● Загађење нула метала: чистоћа> 99,99%, избегавање контаминације резања

● Карактеристике самочишћења: микропорозна структура смањује таложење честица

ИИИ. Четири кључна примена порозних сичких плоча у производњи полуводича

Сценариј 1: Опрема за процесу високог температура (индулијска пећ за заштиту од дифузије / пећ за жарења)

● Поинт боли у кориснику: Традиционални материјали се лако деформишу, што резултира резином

● Решење: Као носач плоча делује стабилно испод 1200 ° Ц животне средине

● Поређење података: Топлотна деформација је 80% нижа од Алумина

Сценариј 2: Хемијска таложење паре (ЦВД)

● Поинт боли у кориснику: Неравномерна дистрибуција гаса утиче на квалитет филма

● Решење: Порозна структура чини да реактивна униформност дифузије гаса достигне 95%

● Случај индустрије: Примењено на 3Д НАНД Фласх меморијску танколошку талогу

Сценариј 3: Опрема за сушење јеткања

● Поинт боли у кориснику: Плазма ерозија схоРтенс Цомпонент Лифе

● Решење: Перформансе против плазме проширују циклус одржавања на 12 месеци

● економичност: Прекид опреме се смањује за 40%

СЦЕНАРИО 4: Систем за чишћење одлика

● Поинт боли у кориснику: Честа замена делова због киселине и алкалне корозије

● Решење: Отпорност на киселину ХФ-а чини да радни век достигне више од 5 година

● Подаци о верификацији: Стопа задржавања снаге> 90% након 1000 циклуса чишћења

ИВ. 3 Главна предности селекције у поређењу са традиционалним материјалима

В. ФАК за кориснике индустрије

К1: Да ли је порозна сичка керамичка плоча погодна за производњу уређаја за галијум нитрид (ГАН)?

Одговорити: Да, његов високи температурни отпор и висока топлотна проводљивост су посебно погодни за процес раста ГАН епитакксија и примењене су на 5Г базне производње чипова.

К2: Како одабрати параметар порозности?

Одговорити: Одаберите према сценарију апликације:

● Дистрибуциони гаснаметнути: 40% -50% Отворена порозност се препоручује

● Вакуумски адсорпција: Препоручује се 60% -70% висока порозност

К3: Која је разлика са осталим керамиком силицијума карбида?

Одговорити: У поређењу са густомСиц керамика, Порозне структуре имају следеће предности:

● 50% смањење тежине

● 20 пута повећање одређене површине

● 30% смањења топлотног стреса